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基于BSIM-CMG紧凑模型的不同沟道外壳厚度n型核/壳NSFET的SPICE建模
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作者 王悦杨 马英杰 +4 位作者 白永林 吴佳颖 廉浩哲 唐敏 刘伟景 《半导体技术》 北大核心 2025年第4期339-344,共6页
对一种新型的Si/Ge-核/壳纳米片场效应晶体管(NSFET)进行了SPICE建模。使用TCAD仿真获得器件特性数据,结合伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管公共多栅(BSIM-CMG)紧凑模型,完成不同沟道外壳厚度的n型Si/Ge-核/壳NSFET的直流特性建模。通过... 对一种新型的Si/Ge-核/壳纳米片场效应晶体管(NSFET)进行了SPICE建模。使用TCAD仿真获得器件特性数据,结合伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管公共多栅(BSIM-CMG)紧凑模型,完成不同沟道外壳厚度的n型Si/Ge-核/壳NSFET的直流特性建模。通过分析核壳结构沟道的材料与结构设计特点及其导通原理,确立并修正了部分相关的物理参数,准确地描述了沟道外壳厚度改变引起的器件特性变化,完成核/壳NSFET的SPICE模型构建及验证。结果表明,单器件的直流特性参数的平均提取误差小于3%,验证误差小于5%。所建模型可以准确描述不同沟道外壳厚度的n型核/壳NSFET的器件特性,为核/壳NSFET的研发及仿真应用提供参考。 展开更多
关键词 核壳结构 纳米片场效应晶体管(NSFET) TCAD 伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管公共多栅(bsim-CMG)紧凑模型 SPICE建模
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BSIM Model Research and Recent Progress 被引量:5
2
作者 何进 陈文新 +4 位作者 奚雪梅 宛辉 品书 阿里.力克纪达 胡正明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期388-396,共9页
The continued development of CMOS technology and the emergence of new applications demand continued improvement and enhancement of compact models. This paper outlines the recent work of the BSIM project at the Univers... The continued development of CMOS technology and the emergence of new applications demand continued improvement and enhancement of compact models. This paper outlines the recent work of the BSIM project at the University of California, Berkeley,including BSIM5 research, BSIM4 enhancements, and BSIMSOI development. BSIM5 addresses the needs of nano-CMOS technology and RF high-speed CMOS circuit simulation. BSIM4 is a mature industrial standard MOSFET model with several improvements to meet the technology requirements. BSIMSOI is developed into a generic model framework for PD and FD SOI technology. An operation mode choice,via the calculation of the body potential △Vbi and body current/charge,helps circuit designers in the trend of the coexistence of PD and FD devices. 展开更多
关键词 compact modeling bsim5 bsim4 bsimSOI device physics MOSFETS
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基于BSIM⁃CMG紧凑模型的NSFET直流特性建模 被引量:1
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作者 陈光前 王悦杨 +1 位作者 唐敏 刘伟景 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第5期442-448,共7页
随着半导体制造工艺技术的发展,纳米片场效应晶体管(NSFET)成为下一代集成电路的核心器件,建立能准确描述NSFET特性的SPICE模型对提高基于NSFET的集成电路设计的成功率和缩短先进工艺的开发周期至关重要。结合Sentaurus TCAD仿真与伯克... 随着半导体制造工艺技术的发展,纳米片场效应晶体管(NSFET)成为下一代集成电路的核心器件,建立能准确描述NSFET特性的SPICE模型对提高基于NSFET的集成电路设计的成功率和缩短先进工艺的开发周期至关重要。结合Sentaurus TCAD仿真与伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管公共多栅(BSIM⁃CMG)紧凑模型,对NSFET进行直流特性建模。使用器件模型提取工具XModel提取器件的直流特性参数,包括单器件参数提取、温度及自热效应参数提取。结果表明,单器件直流特性参数提取平均误差小于5%,温度及自热效应的参数提取结果精准度较好,验证了模型的准确性。最后,构建并验证分组模型与工艺角模型。这些模型能准确描述不同尺寸和工艺波动对NSFET器件特性的影响,为加快高性能、低功耗NSFET的开发提供理论参考和实践指导。 展开更多
关键词 纳米片场效应晶体管(NSFET) TCAD 伯克利短沟道绝缘栅场效应晶体管公共多栅(bsim⁃CMG)紧凑模型 直流特性 参数提取
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基于BSIM3模型的毫米波MOS变容管建模 被引量:3
4
作者 夏立诚 王文骐 胡嘉杰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期833-837,共5页
提出了应用于毫米波段的MOS变容管的建模方法。针对标准0.18μm CMOS工艺,采用2D器件仿真软件MINIMOS,设计实现了积累型MOS变容管;并提出和分析了基于标准BSIM3模型的MOS变容管的等效电路模型;通过MINIMOS仿真,直接提取电路模型各寄生... 提出了应用于毫米波段的MOS变容管的建模方法。针对标准0.18μm CMOS工艺,采用2D器件仿真软件MINIMOS,设计实现了积累型MOS变容管;并提出和分析了基于标准BSIM3模型的MOS变容管的等效电路模型;通过MINIMOS仿真,直接提取电路模型各寄生参数。该模型能方便地在电路设计软件中实现,并能预测最高达40 GHz频率范围内的变容管特性。 展开更多
关键词 毫米波 CMOS 建模 MOS变容管 bsim3
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深亚微米CMOS器件建模与BSIM模型 被引量:1
5
作者 陈志坚 郑学仁 +1 位作者 姚若河 李斌 《微纳电子技术》 CAS 2004年第6期44-48,共5页
介绍了深亚微米CMOS器件基于电荷模型、基于表面势模型和基于电导模型的建模方法及其优缺点,并以BSIM系列模型为例,讨论了BSIM系列模型特点及半导体工艺发展对CMOS器件建模方法的影响。
关键词 深亚微米 CMOS bsim 电荷模型 表面势模型 电导模型
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一种新的SPICE BSIM3v3 HCI可靠性模型的建立及参数优化 被引量:1
6
作者 禹玥昀 林宏 +2 位作者 赵同林 狄光智 石艳玲 《电子器件》 CAS 北大核心 2014年第6期1049-1053,共5页
研究中提出了用于描述HCI(热载流子注入)效应的MOSFET可靠性模型及其建模方法,在原BSIM3模型源代码中针对7个主要参数,增加了其时间调制因子,优化并拟合其与HCI加压时间(Stress time)的关系式,以宽长比为10μm/0.5μm5 V的MOSFET为研究... 研究中提出了用于描述HCI(热载流子注入)效应的MOSFET可靠性模型及其建模方法,在原BSIM3模型源代码中针对7个主要参数,增加了其时间调制因子,优化并拟合其与HCI加压时间(Stress time)的关系式,以宽长比为10μm/0.5μm5 V的MOSFET为研究对象,在开放的SPICE和BSIM3源代码对模型库文件进行修改,实现了该可靠性模型。实验表明,该模型的测量曲线与参数提取后的I-V仿真曲线十分吻合,因而适用于预测标准工艺MOS器件在一定工作电压及时间下性能参数的变化,进而评估标准工艺器件的寿命。 展开更多
关键词 SPICE模型 bsim3v3模型 热载流子注入(HCI) 可靠性 参数
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基于BSIM深亚微米级MOSFET短沟道效应建模和特征提取方法研究 被引量:2
7
作者 赵阳 Parke Stephen Burke Franklyn 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期841-844,共4页
本文基于BSIM标准研究了现代深亚微米级MOSFET器件的建模和特征提取方法 ,着重在于短沟道效应方面 ,其中测试样品由MicronTM公司提供 ,最短沟道长度仅为 0 16微米 .内容包括一般短沟道效应、基板效应和漏极感应势垒降低效应 (简称DIBL... 本文基于BSIM标准研究了现代深亚微米级MOSFET器件的建模和特征提取方法 ,着重在于短沟道效应方面 ,其中测试样品由MicronTM公司提供 ,最短沟道长度仅为 0 16微米 .内容包括一般短沟道效应、基板效应和漏极感应势垒降低效应 (简称DIBL效应 )等 .研究表明 ,实验数据和BSIM模型结果较好吻合 ,证明文中方法的有效性以及较好的应用前景 . 展开更多
关键词 MOSFET器件 建模与特征提取 短沟道效应 bsim模型
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基于BSIM3的低温MOSFET模型及参数提取 被引量:2
8
作者 邓旭光 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1051-1054,共4页
器件模型作为工艺与设计之间的接口,对保证集成电路设计成功具有决定意义。本文介绍了BSIM3模型的原理,并完成了低温下(77K)BSIM3模型的参数提取。同时探讨了使用参数提取软件的具体工作步骤。
关键词 MOSFET bsim3 参数提取
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基于BSIM4模型的不对称性研究及改进
9
作者 李斌 潘元真 许跃彬 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期102-105,共4页
以BSIM4模型为基础,从沟道电荷密度、有效源漏电压、载流子速度饱和及阈值电压等几个方面出发,找出BSIM4模型中导致不对称的因素,给出了对称的沟道电荷密度公式、源漏有效电压公式和载流子速度饱和公式;同时通过在源端和漏端分别计算的... 以BSIM4模型为基础,从沟道电荷密度、有效源漏电压、载流子速度饱和及阈值电压等几个方面出发,找出BSIM4模型中导致不对称的因素,给出了对称的沟道电荷密度公式、源漏有效电压公式和载流子速度饱和公式;同时通过在源端和漏端分别计算的方法,抵消源/漏电压处理方式不同所带来的不对称性;最后推导出新的对称的沟道电流公式.模型验证表明:改进后的模型不但可以准确地模拟器件的特性,而且拥有更高的对称性.改进模型拓宽了BSIM4模型的运用范围,可以更有效地运用于RF集成电路设计和仿真. 展开更多
关键词 集成电路 bsim4模型 RF集成电路设计 对称性 仿真
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BSIM-CMG Compact Model for IC CAD: from FinFET to Gate-All-Around FET Technology 被引量:1
10
作者 Avirup Dasgupta Chenming Hu 《Journal of Microelectronic Manufacturing》 2020年第4期2-11,共10页
We discuss the BSIM-CMG compact model for SPICE simulations of any common multi-gate(CMG)device.This is an industry standard model which has been used extensively for FinFETs IC design and simulation,and has now been ... We discuss the BSIM-CMG compact model for SPICE simulations of any common multi-gate(CMG)device.This is an industry standard model which has been used extensively for FinFETs IC design and simulation,and has now been extended to accurately model gate-allaround FET(GAAFET).We present the core framework of BSIM-CMG and discuss the latest updates that capture various physical phenomena originating from the quantum confinement of electrons by the small cross section of the GAAFET channel.Special attention is paid to providing suitable model parameters that can be adjusted using software tools to match the model with manufactured transistors very accurately.Furthermore,the model’s speed allows the use of Monte Carlo circuit simulation to account for random device variations encountered in manufacturing.This model is the industry standard compact model for GAAFETs and will help bridge the wide divide between GAA IC manufacturing and design,starting at 3nm/2nm technologies. 展开更多
关键词 GATE-ALL-AROUND GAAFET FINFET bsim bsim-CMG Compact model Quantum NANOSHEET 3D TRANSISTOR
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SOI技术问题和BSIM3SOIv1.3模型参数特点
11
作者 顾爱军 孙锋 《电子与封装》 2007年第11期31-34,38,共5页
SOI器件具有高速、低压、低功耗、抗辐照、耐高温等体硅器件不具备的优点,SOI CMOS技术开始用于深亚微米高速、低功耗、低电压大规模集成电路应用。但SOI技术还面临浮体效应、自加热效应等问题的挑战。作为SOI模型国际标准,BSIM3SOIv1.... SOI器件具有高速、低压、低功耗、抗辐照、耐高温等体硅器件不具备的优点,SOI CMOS技术开始用于深亚微米高速、低功耗、低电压大规模集成电路应用。但SOI技术还面临浮体效应、自加热效应等问题的挑战。作为SOI模型国际标准,BSIM3SOIv1.3提出了新的模型参数解决方案。BSIMPDSPICE器件模型是基于物理意义的模型,是在体硅MOS器件模型工业标准(BSIM3V3)的基础上开发而成,BSIMPD针对SOI固有的浮体效应引起的动态特性,自加热和体接触提出相应的模型参数。 展开更多
关键词 PD SOI 体效应 自加热效应 bsim3SOI
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优化的BSIM3V3模型参数提取策略 被引量:5
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作者 李海 王纪民 刘志宏 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期387-390,共4页
采用 Silvoca公司的 UTMOST模型参数提取程序对 BSIM3V3模型参数进行提取 ,得出了BSIM3V3模型参数随器件尺寸变化的规律 ,并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线 1 .0 μm工艺 ,给出此工艺下的多尺寸器件的 BSIM3V3模型参数。同时 ,... 采用 Silvoca公司的 UTMOST模型参数提取程序对 BSIM3V3模型参数进行提取 ,得出了BSIM3V3模型参数随器件尺寸变化的规律 ,并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线 1 .0 μm工艺 ,给出此工艺下的多尺寸器件的 BSIM3V3模型参数。同时 ,对该方法的准确性进行了分析。 展开更多
关键词 bsim3模型 模型参数提取策略 集成电路
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基于BSIM3的超深亚微米器件建模及模型参数提取 被引量:4
13
作者 陈松涛 刘晓彦 +1 位作者 杜刚 韩汝琦 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期406-411,共6页
对适用于超深亚微米电路模拟的 MOSFET器件模型进行了研究 ,完成计入量子效应、多晶硅耗尽效应等基于 BSIM3的 MOSFET模型。针对阈值电压模型以及 I- V模型中的参数编写了模型参数提取程序 ,采用最小二乘法原理 ,并采用麦夸脱算法以降... 对适用于超深亚微米电路模拟的 MOSFET器件模型进行了研究 ,完成计入量子效应、多晶硅耗尽效应等基于 BSIM3的 MOSFET模型。针对阈值电压模型以及 I- V模型中的参数编写了模型参数提取程序 ,采用最小二乘法原理 ,并采用麦夸脱算法以降低参数提取结果对初值的依赖 ,对已有参数进行了修正。模型以及参数提取结果都分别进行了验证。 展开更多
关键词 bsim3 超深亚微米器件 器件模型 参数提取 微电子技术
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基于BSIM3v3模型参数提取
14
作者 杨兵 《电子世界》 2011年第6期20-23,共4页
对于当前的集成电路设计技术,计算机辅助模拟已成为一种不可缺少的工具。电路模拟器能否用于大规模集成电路的设计和分析取决于模拟器中所采用的器件模型参数的准确性。本论文选取目前业界占主流地位的BSIM3(Berkeley Short—channel ... 对于当前的集成电路设计技术,计算机辅助模拟已成为一种不可缺少的工具。电路模拟器能否用于大规模集成电路的设计和分析取决于模拟器中所采用的器件模型参数的准确性。本论文选取目前业界占主流地位的BSIM3(Berkeley Short—channel IGFET Model)为将要提取的模型, 展开更多
关键词 模型参数提取 bsim3V3 集成电路设计 计算机辅助模拟 大规模集成电路 CHANNEL 电路模拟器 器件
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亚微米MOSFET的BSIM3模型参数提取 被引量:3
15
作者 夏增浪 胡贵才 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1999年第4期8-9,共2页
文章采用HP的IC-CAP对亚微米MOSFET模型参数进行提取,给出了器件结构、测试系统及提取结果,并对提取模型的精确性进行了分析。
关键词 MOSFET bsim3模型 参数提取 亚微米
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BSIM3v3模型关键参数提取的研究 被引量:1
16
作者 李盛峰 李斌 郑学仁 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2008年第7期116-118,122,共4页
BSIM3v3是现在业界普遍使用的MOSFET模型,用它仿真电路能够得到准确的结果,但这个复杂的模型给电路设计者的手算过程带来了相当大的困难.为得到更为准确的关键参数,对用HSPICE从BSIM3v3模型提取关键参数的方法进行了改进,并以一个运放... BSIM3v3是现在业界普遍使用的MOSFET模型,用它仿真电路能够得到准确的结果,但这个复杂的模型给电路设计者的手算过程带来了相当大的困难.为得到更为准确的关键参数,对用HSPICE从BSIM3v3模型提取关键参数的方法进行了改进,并以一个运放设计为例进行比较,该方法提取的关键参数的手算结果比其他方法更接近仿真结果. 展开更多
关键词 MOSFET bsim3V3 参数提取 HSPICE 运放
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一种基于BSIM4的屏蔽栅沟槽MOSFET紧凑型模型 被引量:1
17
作者 江逸洵 乔明 +4 位作者 高文明 何小东 冯骏波 张森 张波 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第17期201-212,共12页
提出了一种基于BSIM4的屏蔽栅沟槽MOSFET紧凑型模型.在直流模型中使用两端电势建立JFET区等效电阻模型,并引入电子扩散区等效电阻,解决了因忽视JFET区源端电势导致的电流存在误差的问题.在电容模型中,漏源电容模型在BSIM4的基础上添加... 提出了一种基于BSIM4的屏蔽栅沟槽MOSFET紧凑型模型.在直流模型中使用两端电势建立JFET区等效电阻模型,并引入电子扩散区等效电阻,解决了因忽视JFET区源端电势导致的电流存在误差的问题.在电容模型中,漏源电容模型在BSIM4的基础上添加了屏蔽栅-漏等效电容模型,栅漏电容模型将栅漏偏置电压修改为栅极同栅-漂移区重叠区末端节点的电势差.使用泊松方程求解该节点电势,并引入栅氧厚度因子k1、屏蔽栅氧化层厚度因子k2、等效栅-漂移区重叠长度Lovequ和等效屏蔽栅长LSHequ对栅和屏蔽栅的结构进行等效,以简化泊松方程的计算并确保该节点电势曲线的光滑性.使用Verilog-A编写模型程序,搭建实验平台测试屏蔽栅沟槽MOSFET的直流特性、电容特性和开关特性,模型仿真结果与测试数据有较好的拟合,验证了所建模型的有效性. 展开更多
关键词 屏蔽栅沟槽MOSFET 紧凑型模型 bsim4 VERILOG-A
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BSIM4和ULTRA-BULK模型对称性和连续性的检验
18
作者 李博 牛旭东 +2 位作者 宋岩 何进 林信南 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期27-31,共5页
以对比的形式用GUMMEL对称测试电路的模拟结果检验了伯克利大学的BSIM4和北京大学的ULTRA-BULK两个CMOS器件模型的对称性和连续性特性。SPICE模拟结果表明:工业标准模型BSIM4在电荷、电流高阶导数以及电容等的连续性和对称性上具有一系... 以对比的形式用GUMMEL对称测试电路的模拟结果检验了伯克利大学的BSIM4和北京大学的ULTRA-BULK两个CMOS器件模型的对称性和连续性特性。SPICE模拟结果表明:工业标准模型BSIM4在电荷、电流高阶导数以及电容等的连续性和对称性上具有一系列的缺陷,而最新发展的基于表面势的MOSFET解析模型ULTRA-BULK却表现出必需的连续性和对称性。既然这些属性对于模拟电路和射频电路设计都是非常重要的,那么新一代CMOS模型采用基于表面势的各种MOSFET解析模型将是必然的发展。 展开更多
关键词 解析模型 bsim4 ULTRA—BULK 电路设计和模拟 连续性 对称性
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一种基于BSIM-CMG的FinFET变容管模型
19
作者 朱袁科 李文钧 +1 位作者 陆海燕 刘军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期42-47,共6页
提出了一种适用于FinFET变容管的建模方法。在BSIM-CMG的基础上,模型采用衬底模型和外围寄生模型来表征变容管的射频寄生效应。提出了具体的参数提取方法,将测试的S参数导入到安捷伦IC-CAP建模软件提取参数,测试结构引入高频寄生采用(o... 提出了一种适用于FinFET变容管的建模方法。在BSIM-CMG的基础上,模型采用衬底模型和外围寄生模型来表征变容管的射频寄生效应。提出了具体的参数提取方法,将测试的S参数导入到安捷伦IC-CAP建模软件提取参数,测试结构引入高频寄生采用(open+short)去嵌方法进行去嵌。通过调节模型参数拟合测试曲线得到FinFET变容管模型。该模型可精确表述FinFET变容管全工作区域特性,解决传统MOS变容管模型无法准确描述三维FinFET器件变容特性的问题。模型和模型参数提取方法采用20个硅鳍、16个栅指、158 nm栅长、578 nm栅宽的FinFET变容管进行建模验证,模型仿真和测试所得C-V,R-V和S参数特性吻合良好。 展开更多
关键词 FINFET 变容管 bsim-CMG 参数提取 模型
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基于PSP-SOI,BSIM-IMG和HiSIM-SOTB的DG SOI建模与仿真 被引量:1
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作者 汪国芳 刘军 +1 位作者 吴钰鑫 罗琳 《杭州电子科技大学学报(自然科学版)》 2020年第3期7-13,共7页
基于p型衬底的DG SOI MOSFET器件,分析了PSP-SOI,BSIM-IMG和HiSIM-SOTB模型器件建模的可适用性。对3种模型的物理机理和数学方程进行研究,提取器件的直流特性及参数值。实验数据对比结果表明:相比PSP-SOI和HiSIM-SOTB,BSIM-IMG的仿真精... 基于p型衬底的DG SOI MOSFET器件,分析了PSP-SOI,BSIM-IMG和HiSIM-SOTB模型器件建模的可适用性。对3种模型的物理机理和数学方程进行研究,提取器件的直流特性及参数值。实验数据对比结果表明:相比PSP-SOI和HiSIM-SOTB,BSIM-IMG的仿真精度分别提高了2.08%和7.10%。所以,BSIM-IMG更适用于DG SOI MOSFET器件直流特性建模。 展开更多
关键词 PSP-SOI bsim-IMG HiSIM-SOTB 双栅 MOSFET 直流特性
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