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AuGeNi/n—InP欧姆接触研究
1
作者
盛永喜
茅保华
鲍希茂
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期386-391,共6页
本文对金属—n型Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体欧姆接触的接触电阻进行了理论分析,研究了AuGeNi/n-InP欧姆接触的电学特性、冶金性质和组分分布,其最佳工艺条件已用于器件制造.
关键词
augeni/n-inp
欧姆接触
接触电阻
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职称材料
n-InP在浓电解质溶液中的光电化学稳定性
2
作者
张国栋
陈兵
《华东冶金学院学报》
1990年第3期69-74,共6页
本文研究了支持电解质KCl浓度对n—InP光电化学稳定性的影响,指出在pH=1的饱和KCl溶液中,光照时能够形成1—2个分子层厚度的表面氧化膜,这层膜的存在能够保护电极免受光腐蚀,而不降低光生空穴的界面迁移速度。
关键词
n-inp
KCL溶液
光电化学
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职称材料
用复阻抗法研究光照下n-InP/溶液界面的扩散过程
3
作者
张倩文
钱道荪
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1989年第4期483-486,共4页
近年来,一些作者测定了半导体电极的复阻抗,而n-InP的复阻抗至今未见报道。本文测定了n-InP在Fe<sup>3+</sup>/Fe<sup>2+</sup>溶液中的复平面图,它在低频区为一直线,应用Randles频谱图,证明其符合混合控制机理...
近年来,一些作者测定了半导体电极的复阻抗,而n-InP的复阻抗至今未见报道。本文测定了n-InP在Fe<sup>3+</sup>/Fe<sup>2+</sup>溶液中的复平面图,它在低频区为一直线,应用Randles频谱图,证明其符合混合控制机理,研究了电极电位及光强对频谱图的影响,并用理论模型对实验结果进行了解释。理论部分n型半导体当电极电位负于平带电位时,表面为反型层,则氧化剂阴极还原过程为O+ne→R若反应完全不可逆,则电流密度J符合下列关系式:
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关键词
n-inp
半导体电极
界面扩散
复阻抗
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职称材料
以n-InP为基的光电化学电池的研究
4
作者
张国栋
王大璞
+1 位作者
钱道荪
孙璧媃
《太阳能学报》
EI
CAS
1983年第1期1-8,共8页
本文对以n-InP为基的再生式光电化学电池进行了多方面的探讨。研究了电极的掺杂浓度、晶面、溶液中的氧化还原对、酸碱度以及光强对电池性能的影响,还研究了电极的稳定性。研制的电池性能指标如下:n-InP[N_D=10^(16)cm^(-3),(100)面]在0...
本文对以n-InP为基的再生式光电化学电池进行了多方面的探讨。研究了电极的掺杂浓度、晶面、溶液中的氧化还原对、酸碱度以及光强对电池性能的影响,还研究了电极的稳定性。研制的电池性能指标如下:n-InP[N_D=10^(16)cm^(-3),(100)面]在0.001MFe^(2+)+0.5MFe^(3+)+3MHCl溶液中,光强为65mW/cm^2时,转换效率η=18%;n-InP[N_D=10^(18)cm^(-3),(100)面]在0.5MFe^(2+)+0.4MFe^(3+)+1.5MHCl溶液中,光强为50mW/cm^2,η=6—8%,转换效率稳定性超过90小时;n-InP[N_D=10^(18)cm^(-3),(?)面]在2MS+1.5MNa_2S+1MNaOH溶液中,光强为50mW/cm^2,短路150小时后,电极完全稳定,η=3.1%。
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关键词
n-inp
CM
极化曲线
占据态
价带
光强
能带结构
太阳能电池
光电化学电池
掺杂浓度
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职称材料
n型GaAs欧姆接触电极制备工艺
被引量:
1
5
作者
左芬
翟章印
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2022年第4期606-610,共5页
目前,n型GaAs欧姆接触电极的制备方法以蒸镀法为主,然而该方法具有设备价格高、浪费电极材料的缺点。本文采用离子溅射法制备了n型GaAs的欧姆接触电极AuGeNi/Au,通过优化制备过程,可获得表面光滑平整、成分均匀无偏析的电极层。400℃氩...
目前,n型GaAs欧姆接触电极的制备方法以蒸镀法为主,然而该方法具有设备价格高、浪费电极材料的缺点。本文采用离子溅射法制备了n型GaAs的欧姆接触电极AuGeNi/Au,通过优化制备过程,可获得表面光滑平整、成分均匀无偏析的电极层。400℃氩气气氛下退火处理后,电极与GaAs之间由肖特基接触变为欧姆接触,极间电阻降为原来的1/20。退火温度在400~500℃时可得到很小的比接触电阻率(10^(-6)Ω·cm^(2)),有利于半导体器件工作稳定性的提高,降低能耗。退火温度低于400℃或高于500℃后比接触电阻率都较大,这分别与欧姆接触未形成以及Au-Ge合金的“球聚”有关。该制备方法和过程的优点为:设备成本低、流程简便、节省电极材料,具有良好的经济效益和实用价值,适合科研实验室使用。
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关键词
砷化镓
半导体
欧姆接触
金锗镍合金
电极材料
离子溅射
比接触电阻率
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职称材料
在n—InP(100)衬底上低温液相外延生长1.55μm GaInAsP双异质结构层的研究
6
作者
邢启江
王舒民
+2 位作者
陈娓兮
章蓓
王若鹏
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期324-328,332,共6页
在590℃温度下,不使用1.3μm GaInAsP 防回熔层,直接在 n-InP(100)衬底上液相外延生长出1.55μm InP/GaInAsP/InP 双异质结构外延片。对这种外延片的生长情况及其特性和 InP 衬底的热损伤情况,本文作了详细的分析和讨论。
关键词
GAINASP
异质结构
液相外延
n-inp
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职称材料
Ni含量对PHEMT欧姆接触的影响
7
作者
张书敬
杨瑞霞
+1 位作者
崔玉兴
杨克武
《电子器件》
CAS
2007年第5期1539-1541,共3页
研究了AuGeNi/Au金属系统中Ni含量对n-GaAs欧姆接触的影响,用传输线法对接触电阻进行了测试,在原子力显微镜观测了合金表面形貌,测试了高温存储后接触电阻的变化.结果表明:Ni含量占AuGe的8%wt左右,Ge与Ni的厚度比在1.6:1左右时,可以得...
研究了AuGeNi/Au金属系统中Ni含量对n-GaAs欧姆接触的影响,用传输线法对接触电阻进行了测试,在原子力显微镜观测了合金表面形貌,测试了高温存储后接触电阻的变化.结果表明:Ni含量占AuGe的8%wt左右,Ge与Ni的厚度比在1.6:1左右时,可以得到相对比较好的欧姆接触.
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关键词
augeni/
Au
砷化镓
欧姆接触
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职称材料
Ni对AuGe_(12)合金组织和性能的影响
被引量:
9
8
作者
谢宏潮
阳岸恒
+2 位作者
庄滇湘
李曲波
贺晓燕
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期35-39,共5页
通过测试Au88Ge12、(Au88Ge12)99Ni1、(Au88Ge12)97Ni3、(Au88Ge12)95Ni5合金铸态、均匀化态、热加工态、加工态的硬度,加工态抗拉强度,合金熔化温度范围,X射线衍射(XRD)和扫描电镜(TEM)分析,结果表明,在AuGe12合金加入Ni,Ni与Ge形成粗...
通过测试Au88Ge12、(Au88Ge12)99Ni1、(Au88Ge12)97Ni3、(Au88Ge12)95Ni5合金铸态、均匀化态、热加工态、加工态的硬度,加工态抗拉强度,合金熔化温度范围,X射线衍射(XRD)和扫描电镜(TEM)分析,结果表明,在AuGe12合金加入Ni,Ni与Ge形成粗大GeNi化合物,扰乱Ge在金中均匀分布,使Ge颗粒变得粗大。随Ni加入量增加,产生GeNi化合物集聚,AuGeNi合金金相组织粗大,合金的硬度、强度降低,加工性能变差,合金熔化温度范围变宽。
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关键词
金属材料
金锗合金
金锗镍合金
蒸发材料
机械性能
显微组织
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职称材料
题名
AuGeNi/n—InP欧姆接触研究
1
作者
盛永喜
茅保华
鲍希茂
机构
南京电子器件研究所
南京大学物理系
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期386-391,共6页
文摘
本文对金属—n型Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体欧姆接触的接触电阻进行了理论分析,研究了AuGeNi/n-InP欧姆接触的电学特性、冶金性质和组分分布,其最佳工艺条件已用于器件制造.
关键词
augeni/n-inp
欧姆接触
接触电阻
分类号
TN305.93 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
n-InP在浓电解质溶液中的光电化学稳定性
2
作者
张国栋
陈兵
机构
华东冶金学院化学工程系
出处
《华东冶金学院学报》
1990年第3期69-74,共6页
文摘
本文研究了支持电解质KCl浓度对n—InP光电化学稳定性的影响,指出在pH=1的饱和KCl溶液中,光照时能够形成1—2个分子层厚度的表面氧化膜,这层膜的存在能够保护电极免受光腐蚀,而不降低光生空穴的界面迁移速度。
关键词
n-inp
KCL溶液
光电化学
Keywords
n-inp
Concentrated electrolyte
Photoelectrochemical stabilization
分类号
TF111.52 [冶金工程—冶金物理化学]
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职称材料
题名
用复阻抗法研究光照下n-InP/溶液界面的扩散过程
3
作者
张倩文
钱道荪
机构
上海交通大学应用化学系
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1989年第4期483-486,共4页
基金
国家自然科学基金
文摘
近年来,一些作者测定了半导体电极的复阻抗,而n-InP的复阻抗至今未见报道。本文测定了n-InP在Fe<sup>3+</sup>/Fe<sup>2+</sup>溶液中的复平面图,它在低频区为一直线,应用Randles频谱图,证明其符合混合控制机理,研究了电极电位及光强对频谱图的影响,并用理论模型对实验结果进行了解释。理论部分n型半导体当电极电位负于平带电位时,表面为反型层,则氧化剂阴极还原过程为O+ne→R若反应完全不可逆,则电流密度J符合下列关系式:
关键词
n-inp
半导体电极
界面扩散
复阻抗
分类号
O646.22 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
以n-InP为基的光电化学电池的研究
4
作者
张国栋
王大璞
钱道荪
孙璧媃
机构
上海交通大学应用化学系
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
1983年第1期1-8,共8页
文摘
本文对以n-InP为基的再生式光电化学电池进行了多方面的探讨。研究了电极的掺杂浓度、晶面、溶液中的氧化还原对、酸碱度以及光强对电池性能的影响,还研究了电极的稳定性。研制的电池性能指标如下:n-InP[N_D=10^(16)cm^(-3),(100)面]在0.001MFe^(2+)+0.5MFe^(3+)+3MHCl溶液中,光强为65mW/cm^2时,转换效率η=18%;n-InP[N_D=10^(18)cm^(-3),(100)面]在0.5MFe^(2+)+0.4MFe^(3+)+1.5MHCl溶液中,光强为50mW/cm^2,η=6—8%,转换效率稳定性超过90小时;n-InP[N_D=10^(18)cm^(-3),(?)面]在2MS+1.5MNa_2S+1MNaOH溶液中,光强为50mW/cm^2,短路150小时后,电极完全稳定,η=3.1%。
关键词
n-inp
CM
极化曲线
占据态
价带
光强
能带结构
太阳能电池
光电化学电池
掺杂浓度
分类号
O64 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
n型GaAs欧姆接触电极制备工艺
被引量:
1
5
作者
左芬
翟章印
机构
淮阴师范学院物理系
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2022年第4期606-610,共5页
基金
江苏省自然科学基金(BK20140450)
江苏省高校自然科学基金重大项目(19KJA150011)。
文摘
目前,n型GaAs欧姆接触电极的制备方法以蒸镀法为主,然而该方法具有设备价格高、浪费电极材料的缺点。本文采用离子溅射法制备了n型GaAs的欧姆接触电极AuGeNi/Au,通过优化制备过程,可获得表面光滑平整、成分均匀无偏析的电极层。400℃氩气气氛下退火处理后,电极与GaAs之间由肖特基接触变为欧姆接触,极间电阻降为原来的1/20。退火温度在400~500℃时可得到很小的比接触电阻率(10^(-6)Ω·cm^(2)),有利于半导体器件工作稳定性的提高,降低能耗。退火温度低于400℃或高于500℃后比接触电阻率都较大,这分别与欧姆接触未形成以及Au-Ge合金的“球聚”有关。该制备方法和过程的优点为:设备成本低、流程简便、节省电极材料,具有良好的经济效益和实用价值,适合科研实验室使用。
关键词
砷化镓
半导体
欧姆接触
金锗镍合金
电极材料
离子溅射
比接触电阻率
Keywords
GaAs
semiconductor
ohmic contact
augeni
alloy
electrode material
ion sputtering
contact resistivity
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
在n—InP(100)衬底上低温液相外延生长1.55μm GaInAsP双异质结构层的研究
6
作者
邢启江
王舒民
陈娓兮
章蓓
王若鹏
机构
北京大学物理系
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期324-328,332,共6页
文摘
在590℃温度下,不使用1.3μm GaInAsP 防回熔层,直接在 n-InP(100)衬底上液相外延生长出1.55μm InP/GaInAsP/InP 双异质结构外延片。对这种外延片的生长情况及其特性和 InP 衬底的热损伤情况,本文作了详细的分析和讨论。
关键词
GAINASP
异质结构
液相外延
n-inp
Keywords
Low Temperature LPE
GaInAsP/InP Double Heterostructure
Thermal Damage
分类号
TN248.404 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Ni含量对PHEMT欧姆接触的影响
7
作者
张书敬
杨瑞霞
崔玉兴
杨克武
机构
河北工业大学信息工程学院
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《电子器件》
CAS
2007年第5期1539-1541,共3页
文摘
研究了AuGeNi/Au金属系统中Ni含量对n-GaAs欧姆接触的影响,用传输线法对接触电阻进行了测试,在原子力显微镜观测了合金表面形貌,测试了高温存储后接触电阻的变化.结果表明:Ni含量占AuGe的8%wt左右,Ge与Ni的厚度比在1.6:1左右时,可以得到相对比较好的欧姆接触.
关键词
augeni/
Au
砷化镓
欧姆接触
Keywords
augeni/
Au
GaAs
ohmic contact
分类号
TN325 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
Ni对AuGe_(12)合金组织和性能的影响
被引量:
9
8
作者
谢宏潮
阳岸恒
庄滇湘
李曲波
贺晓燕
机构
贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
出处
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期35-39,共5页
基金
国家科技支撑计划项目(2007BAE26B03)
文摘
通过测试Au88Ge12、(Au88Ge12)99Ni1、(Au88Ge12)97Ni3、(Au88Ge12)95Ni5合金铸态、均匀化态、热加工态、加工态的硬度,加工态抗拉强度,合金熔化温度范围,X射线衍射(XRD)和扫描电镜(TEM)分析,结果表明,在AuGe12合金加入Ni,Ni与Ge形成粗大GeNi化合物,扰乱Ge在金中均匀分布,使Ge颗粒变得粗大。随Ni加入量增加,产生GeNi化合物集聚,AuGeNi合金金相组织粗大,合金的硬度、强度降低,加工性能变差,合金熔化温度范围变宽。
关键词
金属材料
金锗合金
金锗镍合金
蒸发材料
机械性能
显微组织
Keywords
metal materials
AuGe alloy
augeni
alloy
evaporation materials
mechanical properties
microstructure
分类号
TG146.32 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AuGeNi/n—InP欧姆接触研究
盛永喜
茅保华
鲍希茂
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1990
0
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职称材料
2
n-InP在浓电解质溶液中的光电化学稳定性
张国栋
陈兵
《华东冶金学院学报》
1990
0
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职称材料
3
用复阻抗法研究光照下n-InP/溶液界面的扩散过程
张倩文
钱道荪
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1989
0
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职称材料
4
以n-InP为基的光电化学电池的研究
张国栋
王大璞
钱道荪
孙璧媃
《太阳能学报》
EI
CAS
1983
0
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职称材料
5
n型GaAs欧姆接触电极制备工艺
左芬
翟章印
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2022
1
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职称材料
6
在n—InP(100)衬底上低温液相外延生长1.55μm GaInAsP双异质结构层的研究
邢启江
王舒民
陈娓兮
章蓓
王若鹏
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1990
0
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职称材料
7
Ni含量对PHEMT欧姆接触的影响
张书敬
杨瑞霞
崔玉兴
杨克武
《电子器件》
CAS
2007
0
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职称材料
8
Ni对AuGe_(12)合金组织和性能的影响
谢宏潮
阳岸恒
庄滇湘
李曲波
贺晓燕
《贵金属》
CAS
CSCD
北大核心
2011
9
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职称材料
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