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Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影响 被引量：1
1
作者 袁红梅 杨兵 +2 位作者 李佳 吴明晶 陈利 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2013年第1期139-143,共5页
采用阴极弧蒸发技术在Al2O3、低合金钢和硬质合金刀片上沉积Ti与Al原子比相近的Al-Ti-N和Al-Ti-Si-N涂层,借助X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕、划痕实验和氧化实验,研究Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影... 采用阴极弧蒸发技术在Al2O3、低合金钢和硬质合金刀片上沉积Ti与Al原子比相近的Al-Ti-N和Al-Ti-Si-N涂层,借助X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕、划痕实验和氧化实验,研究Si掺杂对Al-Ti-N涂层的结构、力学性能和抗氧化性能的影响。结果表明:Al-Ti-N涂层为以立方为主的立方和六方的两相结构,Si掺杂可降低TiN中Al的固溶度,使涂层转化为以六方为主的六方和立方的两相结构;Si的加入导致涂层硬度由34.5 GPa降到28.7 GPa;Si掺杂引起涂层的应力增加,从而导致涂层与基体的结合强度降低;Al-Ti-N涂层的抗氧化性能随Si的加入而显著改善,抗氧化温度提高到1 000℃以上。 展开更多
关键词 al-ti-n Al-Ti-Si-N 硬度 抗氧化性 涂层
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激光熔覆AlN/TiAl制备Ti-Al-N复合涂层及其摩擦性能研究
2
作者 黄飞龙 肖华强 +1 位作者 林波 莫太骞 《激光技术》 北大核心 2025年第2期188-194,共7页
为了制备耐磨钛基涂层,采用激光熔覆技术在TC4表面制备了Ti-Al-N涂层,对不同激光功率下涂层的物相组成、组织演变、硬度进行观察分析,再对复合涂层在空气环境中的摩擦学性能进行分析。结果表明,涂层增强相主要由Ti_(2)AlN,TiN,TiAl及Ti_... 为了制备耐磨钛基涂层,采用激光熔覆技术在TC4表面制备了Ti-Al-N涂层,对不同激光功率下涂层的物相组成、组织演变、硬度进行观察分析,再对复合涂层在空气环境中的摩擦学性能进行分析。结果表明,涂层增强相主要由Ti_(2)AlN,TiN,TiAl及Ti_(x)Al_(y)等组成,各物相衍射峰强度随激光功率的增加而改变,基体相则由(γ-TiAl+α_(2)-Ti_(3)Al)组成;涂层与基体冶金结合,随着激光功率的增加,组织由弥散分布的柱状晶逐渐变成粗大树枝晶,但在2.4 kW功率时,组织又变得细小;复合涂层的显微硬度可以达到基体的2.14倍;在空气摩擦环境中,不同试样均以磨粒磨损为主,其中基体磨损严重;不同激光功率下的涂层均大幅度提高了基体的耐磨性,涂层中有增强相的存在,涂层的最小磨损率为0.786×10^(-4) mm^(3)·N^(-1)·min^(-1),基体为1.34×10^(-4) mm^(3)·N^(-1)·min^(-1);通过控制激光功率可以调节涂层性能。这一研究可以对激光熔覆制备高耐磨钛基复合涂层在航天、海工设备中的应用提供基础支持。 展开更多
关键词 激光技术 钛合金 激光熔覆 Ti-Al-N复合涂层 干摩擦磨损
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纳米复合涂层技术的最新发展与思考
3
作者 毛延发 宫永辉 +2 位作者 韩培刚 兰新哲 周廉 《科技创新导报》 2008年第10期3-4,共2页
本文介绍了纳米复合涂层技术的发展,介绍了Ti-Al-N纳米复合硬质涂层技术的最新进展,就该类涂层在精密模具加工刀具和精密汽车配件加工刀具上的应用及其在中国制造业发展中的作用和意义做出了评述。
关键词 超硬涂层 Ti--AI—N al-ti-n 进展
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TiN涂层电化学腐蚀行为研究 Ⅱ.添加Al对TiN涂层保护性能与失效机制的影响 被引量：22
4
作者 李瑛 屈力 +1 位作者 王福会 邵忠宝 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 2003年第3期134-138,共5页
利用电化学方法以及扫描电镜 (SEM)、扫描隧道显微镜 (STM )技术等 ,研究了添加Al对离子镀TiN薄膜涂层在 0 5mol/LNaCl和 1mol/LH2 SO4溶液中的保护性能和失效机制的影响 ,发现铝的添加使TiN涂层在中性和酸性溶液中的耐蚀性能明显改善 .
关键词 A1元素 TIN涂层 保护性能 失效机制
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电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究 被引量：34
5
作者 李明升 王福会 +3 位作者 王铁钢 宫骏 孙超 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期55-60,共6页
利用电弧离子镀设备在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)N薄膜;X射线衍射分析表明,x在0-0.5之间时,薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出现B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增... 利用电弧离子镀设备在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)N薄膜;X射线衍射分析表明,x在0-0.5之间时,薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出现B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增加,晶格常数减小,B1结构的薄膜择优取向由(111)向(220)转变.力学性能测试表明,适当Al含量可以提高薄膜的硬度、膜基结合强度及抗磨损性能; B1结构(Ti,Al)N薄膜的氧化实验表明,随着Al含量的增加,薄膜抗氧化性能显著提高. 展开更多
关键词 复合薄膜 电弧离子镀 结构 力学性能
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Al含量对(Ti,Al)N涂层结构性能的影响 被引量：20
6
作者 李佳 夏长清 +1 位作者 刘昌斌 戴晓元 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第12期29-31,35,共4页
(Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层... (Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层的晶体结构、抗高温氧化、硬度和耐磨性的影响。指出当Ti和Al的比例近似为1:1时,(Ti,Al)N涂层将获得优越的综合使用性能。 展开更多
关键词 多元涂层材料 (TI AL)N 硬度 耐磨性
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(Ti,Al)N涂层的微观组织和性能 被引量：20
7
作者 陈利 吴恩熙 +2 位作者 尹飞 王社权 汪秀全 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期279-283,共5页
采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于... 采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于固溶了Al元素,(Ti,A l)N涂层呈(200)面择优生长;(Ti,Al)N涂层在硬质合金基体上无外延生长;(Ti,Al)N涂层在800℃氧化后形成Al2O3/TiO2/(Ti,Al)N的分层结构;(Ti,Al)N涂层具有更高的硬度和更好的切削性能。 展开更多
关键词 (TI AL)N涂层 硬质合金 外延生长 氧化性能 切削性能
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Si含量对Ti-Al-Si-N薄膜微结构与力学性能的影响 被引量：16
8
作者 喻利花 薛安俊 +1 位作者 董松涛 许俊华 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期140-145,共6页
采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜。采用能谱仪、X射线衍射仪、三维轮廓仪、原子力显微镜和显微硬度仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜微结构和力学性能的影响。结果表明:用Ti0.33 Al0... 采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜。采用能谱仪、X射线衍射仪、三维轮廓仪、原子力显微镜和显微硬度仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜微结构和力学性能的影响。结果表明:用Ti0.33 Al0.67合金靶制备的Ti-Al-N复合膜呈双相共存结构(fcc+hcp),Si的加入,促进了六方相的生长,细化了晶粒,降低了表面粗糙度。随着Si含量的增加,Ti-Al-Si-N复合膜的硬度逐渐增大,在Si含量为16.69 at%时,达到最大硬度32.3 GPa,继续增加Si含量,薄膜硬度降低。 展开更多
关键词 Ti-Al-Si-N 磁控溅射 微结构 显微硬度
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(Ti,Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备 被引量：10
9
作者 赵升升 程毓 +2 位作者 常正凯 王铁钢 孙超 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期277-282,共6页
利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了(Ti,Al)N涂层,研究了N_2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N_2分压下,(Ti,Al)N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N_2分压的增加,涂层应力沿层深呈"钟罩型&q... 利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了(Ti,Al)N涂层,研究了N_2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N_2分压下,(Ti,Al)N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N_2分压的增加,涂层应力沿层深呈"钟罩型"分布,且全膜厚的应力值也明显增大;通过对涂层生长结构及微观成分分析,初步探讨了应力分布机理.随N_2分压的增加,涂层硬度会显著增加,而膜/基结合力则大幅下降;采用改变N_2分压工艺制备(Ti,Al)N涂层,可有效调整涂层残余应力沿层深分布趋势,改善其力学性能,并可成功制备厚度在130μm以上的硬质涂层. 展开更多
关键词 (Ti A1)N 硬质涂层 应力分布 调整应力 N_2分压
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电弧离子镀梯度(Ti，Al)N薄膜的结构与抗氧化性能 被引量：7
10
作者 冯长杰 辛丽 +2 位作者 李明升 朱圣龙 王福会 《中国腐蚀与防护学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期1-6,共6页
采用电弧离子镀(AIP)技术在航空发动机压气机用1Cr11Ni2W2MoV不锈钢上沉积(Ti,Al)N梯度薄膜,并研究其微观结构和高温抗氧化性能。结果表明,薄膜均匀致密,与基体结合良好;薄膜为B1型(NaCl)单相结构,具有(220)择优取向;薄膜是内层富TiN、... 采用电弧离子镀(AIP)技术在航空发动机压气机用1Cr11Ni2W2MoV不锈钢上沉积(Ti,Al)N梯度薄膜,并研究其微观结构和高温抗氧化性能。结果表明,薄膜均匀致密,与基体结合良好;薄膜为B1型(NaCl)单相结构,具有(220)择优取向;薄膜是内层富TiN、外层富(Ti,Al)N的梯度薄膜;梯度薄膜在700℃和800℃氧化后,表层形成富Al2O3的保护膜,在700℃较长时间内和800℃短时间内对不锈钢基体具有良好的保护作用。 展开更多
关键词 电弧离子镀 梯度(Ti Al)N薄膜 结构 氧化
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(Ti,Al)N镀层的结构及氧化行为 被引量：8
11
作者 丁晖 刘颂 陈可炜 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2001年第1期4-6,共3页
介绍了一种新型防护镀层—— (Ti,Al)N镀层 .镀层中铝含量对薄膜的化学成分、微观结构 (相组成， 结构取向， 致密性等 )、力学性能及抗氧化性能的影响明显 .综合 (Ti1－ xAlx)N薄膜的力学性能和抗氧化性能得出， 铝含量大于 25％时， ... 介绍了一种新型防护镀层—— (Ti,Al)N镀层 .镀层中铝含量对薄膜的化学成分、微观结构 (相组成， 结构取向， 致密性等 )、力学性能及抗氧化性能的影响明显 .综合 (Ti1－ xAlx)N薄膜的力学性能和抗氧化性能得出， 铝含量大于 25％时， 可得到性能较优的薄膜 . 展开更多
关键词 结构 氧化行为 氮化钛 氮化铝 镀层 力学性能
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脉冲偏压对(Ti，Al)N／TiN／(Ti，Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响 被引量：11
12
作者 毛延发 唐为国 +2 位作者 兰新哲 周廉 韩培刚 《稀有金属快报》 CSCD 2008年第6期12-16,共5页
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影... 采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150V时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的Vickers硬度达2750MPa左右,10层复合膜的硬度约2880MPa。 展开更多
关键词 多弧离子膜 (Ti Al)N/TiN/(Ti Al)N 多声能复合涂层 维氏硬度
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Al、Ti共掺杂CrN基镀层的结构调变和摩擦学性能 被引量：5
13
作者 于磊 鲍明东 应鹏展 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2008年第24期45-48,共4页
利用闭合场非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上制备具有不同结构的CrAlTiN镀层,采用XRD、SEM等手段对镀层微观组织结构进行了分析,并测试了其力学性能和摩擦学性能。结果表明:与传统的硬质镀层CrN、TiN相比,掺杂Al和Ti元素后的四元CrAlTi... 利用闭合场非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上制备具有不同结构的CrAlTiN镀层,采用XRD、SEM等手段对镀层微观组织结构进行了分析,并测试了其力学性能和摩擦学性能。结果表明:与传统的硬质镀层CrN、TiN相比,掺杂Al和Ti元素后的四元CrAlTiN镀层,无论形成多层结构,还是共沉积复合结构,都具有良好的力学性能和低的摩擦系数以及高耐磨损性能。 展开更多
关键词 CrAlTiN镀层 多层结构 共沉积结构 摩擦学性能
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真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究 被引量：12
14
作者 付志强 蔡育平 +1 位作者 袁镇海 林松盛 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2001年第8期25-26,42,共3页
为了提高TiN涂层刀具的耐磨性 ,采用钛铝合金靶 ,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究 ,并试验了 (Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。结果表明 :(Ti ,Al)N涂层... 为了提高TiN涂层刀具的耐磨性 ,采用钛铝合金靶 ,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究 ,并试验了 (Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。结果表明 :(Ti ,Al)N涂层硬度高达HV0 .1,15370 0 ,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高。 展开更多
关键词 真空阴极电弧沉积 涂层刀具 氮化铝 氮化钛
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Ti-Al-N薄膜的性能及应用 被引量：14
15
作者 陈建国 尹瑞洁 +2 位作者 乔学亮 王向丽 杨守银 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2001年第2期50-52,共3页
利用多弧离子沉积技术在 W18Cr4V高速钢表面沉积 (Ti,Al) N薄膜 ,实验结果表明 (Ti,Al) N薄膜的硬度和抗氧化性能明显优于 Ti N薄膜 ,(Ti,Al) N膜层刀具的寿命大大高于 Ti
关键词 刀具 多弧离子沉积 高速钢 涂层刀具
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直流磁控溅射沉积（Ti，Al）N膜的研究 被引量：10
16
作者 蒋生蕊 彭栋梁 +2 位作者 赵学应 谢亮 李强 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第5期B232-B237,共6页
研究了用直流磁控反应性溅射法在Ａｒ＋Ｎ２气氛中沉积（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜的工艺。（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜具有比ＴｉＮ膜高的耐磨性、硬度和高温抗氧化性。ＡＥＳ深度分析表明，由Ａｌ的选择性氧化形成的Ａｌ２Ｏ３保护层，是（Ｔｉ，Ａｌ... 研究了用直流磁控反应性溅射法在Ａｒ＋Ｎ２气氛中沉积（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜的工艺。（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜具有比ＴｉＮ膜高的耐磨性、硬度和高温抗氧化性。ＡＥＳ深度分析表明，由Ａｌ的选择性氧化形成的Ａｌ２Ｏ３保护层，是（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ膜具有优良高温抗氧化性能的原因． 展开更多
关键词 磁控溅射 高温氧化 (Ti Al)N膜
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多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系双层膜的结构与力学性能 被引量：2
17
作者 赵时璐 张震 +2 位作者 张钧 王双红 张正贵 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1320-1324,共5页
采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备了（Ti,Al,Zr）N/（Ti,Al,Zr,Cr）N和Cr N/（Ti,Al,Zr,Cr）N 2种四元双层氮化物膜。利用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）和X射线衍射仪（XRD）分析2种双层膜... 采用多弧离子镀技术和Ti-Al-Zr合金靶及Cr单质靶,在WC-8%Co硬质合金基体上制备了（Ti,Al,Zr）N/（Ti,Al,Zr,Cr）N和Cr N/（Ti,Al,Zr,Cr）N 2种四元双层氮化物膜。利用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）和X射线衍射仪（XRD）分析2种双层膜的微观组织、成分和结构;利用划痕仪和显微硬度计对比2种双层膜的力学性能。结果表明,获得的2种双层膜均具有B1-NaCl型的TiN面心立方结构;双层膜的组织均是典型的柱状晶结构;沉积偏压为–50-–200 V时,双层膜的力学性能均优于（Ti,Al,Zr,Cr）N单层膜,并与Ti-Al-Zr-Cr-N系梯度膜的力学性能相当,同时（Ti,Al,Zr）N/（Ti,Al,Zr,Cr）N双层膜可获得更高的硬度（HV（0.01）最高值为41 GPa）,而CrN/（Ti,Al,Zr,Cr）N双层膜可获得更强的膜层与基体间结合力（所有值均大于200 N）。 展开更多
关键词 多弧离子镀 (Ti Al Zr)N/(Ti Al Zr Cr)N CrN/(Ti Al Zr Cr)N 显微硬度 结合力
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添加Y对炮钢表面电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜氧化性能的影响 被引量：5
18
作者 张健 韩继龙 +3 位作者 郭策安 卢旭东 金浩 郭秋萍 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第13期13144-13147,共4页
利用电弧离子镀技术,在炮钢表面沉积TiAlN和TiAlYN两种薄膜,研究添加1%(原子分数)Y对(Ti,Al)N薄膜氧化性能的影响。两种沉积薄膜的样品在空气中850℃下氧化10h,用SEM、EDAX和XRD分别分析两种薄膜的形貌、成分及相组成。结果表明,在空气... 利用电弧离子镀技术,在炮钢表面沉积TiAlN和TiAlYN两种薄膜,研究添加1%(原子分数)Y对(Ti,Al)N薄膜氧化性能的影响。两种沉积薄膜的样品在空气中850℃下氧化10h,用SEM、EDAX和XRD分别分析两种薄膜的形貌、成分及相组成。结果表明,在空气中850℃下氧化10h后,两种薄膜的氧化产物均为Al2O3和TiO2的混合氧化物;TiAlN薄膜的动力学曲线呈近似直线规律,而TiAlYN薄膜动力学曲线符合抛物线规律;前者表面氧化物晶粒粗大,而后者表面氧化物晶粒细小,且氧化膜厚度不足前者的一半;添加Y可以减少膜层表面液滴的数量,提高膜层的抗氧化性能。 展开更多
关键词 炮钢 Y (TI AL)N 电弧离子镀 氧化
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PCVD制备Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜的结构与硬度 被引量：9
19
作者 马胜利 徐健 +3 位作者 介万奇 徐可为 M.G.J.Veprek-Heijman S.Veprek 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期669-672,共4页
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti_(1-x)Al_xN薄膜由3—10nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时... 用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti_(1-x)Al_xN薄膜由3—10nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时,硬度开始急剧下降;结构分析证实x小于0.83,Ti_(1-x)Al_xN薄膜是固溶强化;x=0.83,薄膜中出现六方氨化铝相(h—AlN).热稳定性实验表明,Ti_(1-x)Al_xN薄膜的纳米结构和硬度在N_2环境下可以维持到900℃. 展开更多
关键词 (Ti A1)N硬质薄膜 微观结构 硬度 热稳定性
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射频反应溅射(Al,Ti)N涂层的微结构与力学性能 被引量：2
20
作者 赵文济 梅芳华 +1 位作者 董云杉 李戈扬 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期48-52,共5页
采用Al-Ti镶嵌复合靶在不同氮分压下制备了一系列(Al,Ti)N涂层,并采用EDS,AFM,XRD,TEM和微力学探针表征了涂层的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能,研究了氮分压对涂层的影响。结果表明,氮分压对(Al,Ti)N涂层影响显著:合适的氮分压... 采用Al-Ti镶嵌复合靶在不同氮分压下制备了一系列(Al,Ti)N涂层,并采用EDS,AFM,XRD,TEM和微力学探针表征了涂层的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能,研究了氮分压对涂层的影响。结果表明,氮分压对(Al,Ti)N涂层影响显著:合适的氮分压可以得到化学计量比的(Al,Ti)N涂层,涂层为单相组织,并呈现(111)择优取向,最高硬度和弹性模量分别达到36.9GPa和476GPa。过低的氮分压不但会造成涂层贫氮,而且涂层中的Al含量偏低,硬度不高。氮分压过高,由于存在“靶中毒”现象,尽管涂层的成分无明显变化,但会大大降低其沉积速率,并使涂层形成纳米晶或非晶态结构,涂层的硬度也较低。 展开更多
关键词 (Al Ti)N涂层 反应溅射 微结构 力学性能
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