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基于改进ALNS的无人机-车辆应急物流路径规划
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作者 唐新贵 沈正邦 《物联网技术》 2025年第18期65-69,73,共6页
为解决洪涝灾害下传统车辆因道路中断导致的配送效率低下问题,通过优化无人机-车辆协同路径规划来最小化受灾点的最大救援时间。构建融合水深、降雨、风速等动态约束的协同配送模型;提出改进的自适应大规模邻域搜索(ALNS)算法,引入强化... 为解决洪涝灾害下传统车辆因道路中断导致的配送效率低下问题,通过优化无人机-车辆协同路径规划来最小化受灾点的最大救援时间。构建融合水深、降雨、风速等动态约束的协同配送模型;提出改进的自适应大规模邻域搜索(ALNS)算法,引入强化学习(RL)代理智能调度ALNS核心步骤,动态集成禁忌搜索(TS)与变邻域搜索(VNS),平衡全局探索与局部开发。基于Solomon RC算例灾情模拟,改进ALNS算法124次迭代达最优202.24 min,显著优于标准ALNS及遗传算法(GA),车辆路径缩短且起降点选择更合理。改进ALNS算法通过RL驱动的多策略协同机制,为应急物流提供了一种可行的决策工具,具有提升救援效率与覆盖范围的应用前景。 展开更多
关键词 无人机-车辆 多策略协同机制 alns 洪涝应急 强化学习 路径优化
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基于改进ALNS算法的大规模多目标轨道交通运行图协调控制研究
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作者 侯蓉华 邓雪 陈泓旭 《自动化与仪器仪表》 2025年第3期224-227,232,共5页
针对大规模轨道交通运行图协调控制问题,将乘客出行过程中最少换乘等待时间和最小参数调整幅度问题转化为多目标优化求解问题。首先,构建多目标轨道交通运行图协调控制优化模型,然后提出一种结合自适应大规模邻域搜索算法与模拟退火算... 针对大规模轨道交通运行图协调控制问题,将乘客出行过程中最少换乘等待时间和最小参数调整幅度问题转化为多目标优化求解问题。首先,构建多目标轨道交通运行图协调控制优化模型,然后提出一种结合自适应大规模邻域搜索算法与模拟退火算法的混合求解算法对构建的多目标优化模型进行求解。实验结果表明,提出的求解算法在经过300次迭代后便开始收敛并趋于平稳,求解出乘客最少换乘时间在5 min左右,具有可行性和有效性;提出优化模型对轨道交通运行图进行协调控制优化后,原本的交通运行图乘客出行需要花费的最少换乘等待时间为36 min降低为6 min,优化幅度达到了83.33%,参数调整幅度仅为8%,能够实现对换乘站的列车衔接进行优化,即对大规模轨道交通运行协调控制优化的目的,且不会对交通运行图中单线路原有的运行计划造成过多影响。 展开更多
关键词 改进alns算法 轨道交通运行图 模拟退火算法 多目标优化
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双源双能量CT定量评价预测乳腺癌腋窝淋巴结(ALNs)转移 被引量:2
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作者 谷红玉 李勇刚 +2 位作者 沈瑞 邓小毅 滕跃 《中国CT和MRI杂志》 2023年第5期72-75,共4页
目的 评价双能量CT定量参数对乳腺癌患者转移性腋窝淋巴结(ALNs)的诊断效能。方法 连续收集2018年6月至2021年03月期间于张家港澳洋医院行双能量增强CT检查的26名女性乳腺癌患者的资料。采用卡方检验及计量资料统计方法分析比较转移性... 目的 评价双能量CT定量参数对乳腺癌患者转移性腋窝淋巴结(ALNs)的诊断效能。方法 连续收集2018年6月至2021年03月期间于张家港澳洋医院行双能量增强CT检查的26名女性乳腺癌患者的资料。采用卡方检验及计量资料统计方法分析比较转移性和非转移性ALNs的双能量CT定量参数和形态学表现。通过受试者工作特征曲线(ROC曲线)分析形态学和定量参数的诊断效能,计算其敏感性、特异性及准确性。使用多因素logistic回归模型分析ALNs的危险因素。结果 研究共纳入26名女性乳腺癌患者,共纳入141个ALNs,根据组织病理学结果分为两组:转移性ALNs (59个)和非转移性ALNs (82个)。转移性ALNs的静脉期能量曲线斜率(λHu)、静脉期标准化碘浓度(nIC)及静脉期标准化有效原子数(nZeff)均高于非转移性ALNs。ROC曲线分析显示,CT定量参数中的静脉期能量曲线斜率(λHu)对乳腺癌ALNs转移的诊断效能高于常规形态学参数。Logistic回归分析表明,静脉期λHu与静脉期nIC是预测转移性ALNs的最佳参数指标。结论 双能量CT定量参数可作为鉴别乳腺癌患者ALNs的一种补充的非侵入性检查方法。 展开更多
关键词 双能量成像 双能量定量参数 计算机体层摄影 腋窝淋巴结(alns) 乳腺癌
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改进的ALNS算法求解MDVRPTW问题 被引量:2
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作者 李琳 赵雄 郑学东 《沈阳航空航天大学学报》 2024年第2期86-96,共11页
研究了带时间窗多车场车辆路径问题(multi-depots vehicle routing problem with time windows,MDVRPTW),建立MDVRPTW模型,设计了结合混合高斯模型(Gaussian mixture model,GMM)聚类算法的自适应大邻域搜索(adaptive large neighborhood... 研究了带时间窗多车场车辆路径问题(multi-depots vehicle routing problem with time windows,MDVRPTW),建立MDVRPTW模型,设计了结合混合高斯模型(Gaussian mixture model,GMM)聚类算法的自适应大邻域搜索(adaptive large neighborhood search,ALNS)算法。通过在邻域变换前将客户集进行分类,优化初始解,提高算法运算效率。算法使用6种不同变换因子,采用得分系统对变换因子进行评价,使算法能够在迭代的不同阶段自适应地选择合适的变换因子。分析了参数设置值的合理性,设计了3组仿真实验,实验结果验证了算法的高效性。 展开更多
关键词 多车场车辆路径问题 时间窗 改进的alns算法 GMM聚类算法 邻域变换
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冷却速率和氮含量对高锰无磁钢中AlN夹杂物析出和长大行为的影响
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作者 杨新龙 张涛 +4 位作者 赵健 陈粤 成国光 陈兴润 潘吉祥 《特殊钢》 2026年第1期12-21,共10页
研究了冷却速率和氮含量对Fe-23Mn-2Al-0.08V钢中AlN夹杂物析出和长大的影响。AlN形貌主要为六边形和针状。随着冷却速率从36.66 K/s降低到0.71 K/s,AlN的等效直径从7.56μm增加到24.20μm,AlN的数量密度从203.01 mm^(-2)减少到60.00 mm... 研究了冷却速率和氮含量对Fe-23Mn-2Al-0.08V钢中AlN夹杂物析出和长大的影响。AlN形貌主要为六边形和针状。随着冷却速率从36.66 K/s降低到0.71 K/s,AlN的等效直径从7.56μm增加到24.20μm,AlN的数量密度从203.01 mm^(-2)减少到60.00 mm^(-2)。冷却速率与AlN数量密度的关系为lnNv=29.848+0.453lnRC(R2=0.97)。元素的显微偏析分析表明,铝浓度在枝晶间区域较低,而在枝晶内较高,铝的偏析非常弱,几乎没有氮的偏析。热力学计算表明,当w[N]高于58×10^(-6)时,AlN可以在凝固前析出。对AlN长大的预测结果可以很好地揭示其长大规律。当冷却速率为3.02、0.71 K/s时,w[N]≥58×10^(-6)对AlN的尺寸影响可忽略不计,而冷却速率对AlN的尺寸有显著影响。 展开更多
关键词 Fe-23Mn-2Al-0.08V钢 ALN 冷却速率 氮含量 微观偏析
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网状AlN/Al复合涂层的原位构筑及其抗激光烧蚀性能
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作者 高珊 于振宇 +4 位作者 贺志帅 朱文辉 殷凤仕 马霞 赵永峰 《表面技术》 北大核心 2026年第1期217-230,共14页
目的提升军事装备在高温环境下的激光防护性能。方法利用超音速火焰喷涂技术,在7A52铝合金表面制备一种三维网状AlN/Al复合涂层。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪等表征工具,对涂层的物相组成、微观结构、元素分布进行表征。... 目的提升军事装备在高温环境下的激光防护性能。方法利用超音速火焰喷涂技术,在7A52铝合金表面制备一种三维网状AlN/Al复合涂层。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪等表征工具,对涂层的物相组成、微观结构、元素分布进行表征。使用密度计、激光导热仪、显微硬度计及拉伸试验机等设备,对涂层的物理性能和力学性能进行测试。利用光纤激光器,测试涂层的抗激光烧蚀性能。结果制备的三维网状AlN/Al复合涂层组织致密,AlN粒子为纳米级,且彼此相连,呈三维网状分布。涂层的厚度在64~188μm范围内,硬度在130.7HV~201.3HV范围内,与基板的界面结合强度高于61.3 MPa。激光烧蚀结果显示,在激光辐照初期,涂层内网状Al N形成了连续的热传导通道,使热量均匀分布,抗激光烧蚀性能良好;随着激光辐照时间的延长,累积热输入超过了网状AlN散热阈值,涂层受热变形,但厚涂层中网状AlN的骨架支撑作用仍得以保持,可继续保护基板;在激光辐照后期,涂层中的Al N高温粗化呈棒状形貌,三维网状构型被破坏,涂层彻底失效。结论较厚的三维网状AlN/Al复合涂层可保持涂层的结构完整性,从而提高涂层的激光防护性能,可为新一代军事装备的防护涂层设计提供理论依据。 展开更多
关键词 激光防护 超音速火焰喷涂 三维网状AlN 复合涂层 抗激光烧蚀性能
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MOCVD冷却通道换热及优化研究
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作者 李超 李辉 +1 位作者 张凡 张龙 《中国新技术新产品》 2026年第2期11-15,共5页
氮化铝镓(AlGaN)与氮化铝(AlN)属于第三代半导体材料,广泛应用于发光二极管(LED)和功率电子器件领域。金属有机化学气相沉积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)是制备这些半导体材料的关键。当应用预混喷淋式MOCVD时,在... 氮化铝镓(AlGaN)与氮化铝(AlN)属于第三代半导体材料,广泛应用于发光二极管(LED)和功率电子器件领域。金属有机化学气相沉积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)是制备这些半导体材料的关键。当应用预混喷淋式MOCVD时,在高温条件下,预反应会对薄膜的均匀性产生不利影响,降低混合腔的温度可以解决这个问题。对混合腔下盘、喷淋口上盘和盘体组成的通道进行冷却,可以使混合腔处于低温状态。笔者对原有冷却通道进行分析,发现温度分布均匀性较差。为了解决以上问题,本文提出多扇区通道冷却和多平行通道冷却方式,研究结果表明,八扇区B模型可以更好地冷却混合腔,冷却均匀性更高。 展开更多
关键词 MOCVD设备 第三代半导体 ALN薄膜
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V分布特性对新型980 MPa级海工特厚板用钢淬透性的影响 被引量:1
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作者 傅万堂 王薇 +5 位作者 任利国 白兴红 吕知清 李荣斌 刘浩楠 齐建军 《金属学报》 北大核心 2025年第9期1344-1352,共9页
提高淬透性以使板厚方向组织性能均匀化是海洋工程用高品级特厚钢板生产的技术关键和难点。本工作通过热膨胀和Jominy末端淬火实验,并结合铝固氮处理,研究了V分布状态对一种新型980 MPa级海工特厚板用钢在850和910℃奥氏体化后的淬透性... 提高淬透性以使板厚方向组织性能均匀化是海洋工程用高品级特厚钢板生产的技术关键和难点。本工作通过热膨胀和Jominy末端淬火实验,并结合铝固氮处理,研究了V分布状态对一种新型980 MPa级海工特厚板用钢在850和910℃奥氏体化后的淬透性及显微组织的影响规律。采用EPMA、SEM和TEM等手段表征了钢的显微组织和V原子的分布特性。结果表明,910℃奥氏体化过程中AlN的产生能够促进V原子在原奥氏体晶界上的偏聚,提高过冷奥氏体的稳定性并延缓先共析铁素体的转变,从而有效提高海工钢特厚板的淬透性,使其在更宽的冷速范围(对应于更厚的钢板截面)内组织与性能均匀性更好、强韧性匹配度更高。 展开更多
关键词 特厚板 淬透性 V偏聚 AlN Jominy实验
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Vehicle and onboard UAV collaborative delivery route planning:considering energy function with wind and payload 被引量:1
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作者 GUO Jingfeng SONG Rui HE Shiwei 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 2025年第1期194-208,共15页
The rapid evolution of unmanned aerial vehicle(UAV)technology and autonomous capabilities has positioned UAV as promising last-mile delivery means.Vehicle and onboard UAV collaborative delivery is introduced as a nove... The rapid evolution of unmanned aerial vehicle(UAV)technology and autonomous capabilities has positioned UAV as promising last-mile delivery means.Vehicle and onboard UAV collaborative delivery is introduced as a novel delivery mode.Spatiotemporal collaboration,along with energy consumption with payload and wind conditions play important roles in delivery route planning.This paper introduces the traveling salesman problem with time window and onboard UAV(TSPTWOUAV)and emphasizes the consideration of real-world scenarios,focusing on time collaboration and energy consumption with wind and payload.To address this,a mixed integer linear programming(MILP)model is formulated to minimize the energy consumption costs of vehicle and UAV.Furthermore,an adaptive large neighborhood search(ALNS)algorithm is applied to identify high-quality solutions efficiently.The effectiveness of the proposed model and algorithm is validated through numerical tests on real geographic instances and sensitivity analysis of key parameters is conducted. 展开更多
关键词 vehicle and onboard unmanned aerial vehicle(UAV)collaborative delivery energy consumption function route planning mixed integer linear programming model adaptive large neighborhood search(alns)algorithm
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铝灰直接氮化法增氮过程实验研究
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作者 丁万武 袁浩登 +3 位作者 魏国立 余海存 安家志 朱小峰 《矿冶工程》 北大核心 2025年第3期173-179,共7页
针对铝冶炼过程中产生的危险废物铝灰堆存量大、环境污染风险高的问题,提出一种铝灰增氮处理后应用于炼钢过程促进钒氮微合金化的新思路。将铝灰在氮气气氛下加热炒灰,使铝灰与氮气反应,从而提高铝灰氮含量。研究了反应温度、铝含量和... 针对铝冶炼过程中产生的危险废物铝灰堆存量大、环境污染风险高的问题,提出一种铝灰增氮处理后应用于炼钢过程促进钒氮微合金化的新思路。将铝灰在氮气气氛下加热炒灰,使铝灰与氮气反应,从而提高铝灰氮含量。研究了反应温度、铝含量和颗粒尺度等因素对铝灰增氮效果的影响,并对增氮后铝灰进行XRD、SEM-EDS表征。结果表明,适宜的增氮条件为:反应温度880℃、初始铝含量45%(铝粉)、氮气流量4 L/min,此条件下铝灰中氮含量由1.18%增加至11.90%。增氮过程主要是铝灰中的金属铝与氮气反应生成AlN,且AlN在氧化铝颗粒表面生成。 展开更多
关键词 铝灰 氮化 增氮 ALN 炼钢 钒氮合金化
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Cu/AlN/Cu功能梯度电极材料的制备及其应用
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作者 孙静 罗洁 +1 位作者 吕薪羽 张宗仁 《中国陶瓷》 北大核心 2025年第8期31-37,共7页
采用放电等离子烧结(SPS)技术制备了Cu/AlN/Cu功能梯度电极材料,并成功实现了与CoSb_(3)热电材料的高效连接。通过扫描电镜(SEM)和能谱分析(EDS),在Cu/AlN/Cu与CoSb_(3)的界面处检测到Cu_(3)Sb、Cu_(3.3)Sb、(Ag,In)、Cu、CuIn及Cu2In... 采用放电等离子烧结(SPS)技术制备了Cu/AlN/Cu功能梯度电极材料,并成功实现了与CoSb_(3)热电材料的高效连接。通过扫描电镜(SEM)和能谱分析(EDS),在Cu/AlN/Cu与CoSb_(3)的界面处检测到Cu_(3)Sb、Cu_(3.3)Sb、(Ag,In)、Cu、CuIn及Cu2In等多种物相,这些相的分布与局部元素分布高度吻合。研究表明,焊接温度显著影响过渡层的结构和均匀性,较低的焊接温度(500℃)有利于形成均匀稳定的过渡层,减少孔洞生成,提升界面连接质量。此外,Cu、Ag、In、Ti等元素在界面区域展现出复杂的扩散行为,尤其是Ti元素的偏析,显著增强了界面的润湿性和结合强度。然而,不对称的扩散速率引发了Kirkendall效应,进一步影响了过渡层的微观结构。X射线衍射(XRD)结果显示,SPS连接后界面处相结构连续,缺乏明显的界面分界线。 展开更多
关键词 放电等离子烧结 功能梯度材料 Cu/AlN/Cu CoSb_(3) 界面连接
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乡镇即时零售下的陆空无人协同配送路径优化
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作者 魏雅琪 王银格蓝 +3 位作者 王福丹 张学乐 陈文浩 王子博 《企业科技与发展》 2025年第11期14-20,共7页
针对乡镇即时零售中存在的配送成本高、协同效率低的问题,文章构建了一种陆空无人协同配送路径优化混合整数规划模型。该模型采用“无人车干线运输+无人机支线配送”的分工模式,在满足客户时间窗约束的前提下,以最小化总成本为目标进行... 针对乡镇即时零售中存在的配送成本高、协同效率低的问题,文章构建了一种陆空无人协同配送路径优化混合整数规划模型。该模型采用“无人车干线运输+无人机支线配送”的分工模式,在满足客户时间窗约束的前提下,以最小化总成本为目标进行优化。为高效求解该模型,文章还提出了一种改进的自适应大邻域搜索(ALNS)算法,通过设计启发式初始解生成规则、定制化的破坏与修复算子,并引入模拟退火机制与动态权重更新机制,有效提升了算法的求解质量与收敛效率。仿真结果表明,所提算法在小规模场景下的求解结果与精确解一致,在大规模问题中能够显著降低成本,并且优化性能优于原始算法,为乡镇即时零售的协同配送优化提供了可行方案。 展开更多
关键词 即时零售 协同配送 路径优化 乡镇物流 alns算法
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AlN陶瓷与Al低温钎焊钎料设计及接头组织性能研究 被引量:2
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作者 周航泽 龙飞 +4 位作者 徐瑞 王策 何鹏 施清清 赵岩 《稀有金属材料与工程》 北大核心 2025年第2期453-462,共10页
针对目前缺乏适合AlN陶瓷和Al低温钎焊的钎料的问题,通过向AgCuTi钎料中加入In和Sn元素来降低钎料熔点,制备了新型低温钎料Ag-28Cu-35In-2Ti和Sn-19Ag-14.35Cu-17.5In-1Ti(质量分数),从而实现AlN/Al接头的良好连接。探究了两种钎料对Al... 针对目前缺乏适合AlN陶瓷和Al低温钎焊的钎料的问题,通过向AgCuTi钎料中加入In和Sn元素来降低钎料熔点,制备了新型低温钎料Ag-28Cu-35In-2Ti和Sn-19Ag-14.35Cu-17.5In-1Ti(质量分数),从而实现AlN/Al接头的良好连接。探究了两种钎料对AlN陶瓷和Al的低温钎焊工艺和接头组织形貌及性能影响。结果表明:Sn-19Ag-14.35Cu-17.5In-1Ti钎料在钎缝处形成了InSn3、TiAl_(3)等相对稳定的化合物。Ag-28Cu-35In-2Ti钎料在钎缝处生成Al_(2)Cu、AgIn_(2)和TiAl_(3)等相对稳定的化合物,随着焊接温度的增加,接头强度随之提高。为阻止In的扩散析出,选择在Al表面镀Ni,但镀Ni使接头导热性能有所下降。发现使用Ag-28Cu-35In-2Ti钎料进行焊接,在640℃保温30 min的条件下,接头强度最高,为20.28 MPa;在620℃保温15 min的条件下,热扩散系数可达到65.941 m^(2)/s。该钎料为AlN陶瓷/Al的高可靠连接提供了一种新的方法。 展开更多
关键词 低温钎料 AlN/Al 组织性能 表面改性
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空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展 被引量:1
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作者 陶桂龙 支国伟 +3 位作者 罗添友 欧阳佩东 衣新燕 李国强 《无机材料学报》 北大核心 2025年第2期128-144,共17页
随着通信技术升级以及5G通信应用的驱动,各种智能设备所需的滤波器数量激增,促进了滤波器市场的繁荣,但对其性能要求也越来越高,例如大带宽、高频率、高功率容量、微型化、集成化以及低成本等指标是学术界与产业界重点关注的方向,而基... 随着通信技术升级以及5G通信应用的驱动,各种智能设备所需的滤波器数量激增,促进了滤波器市场的繁荣,但对其性能要求也越来越高,例如大带宽、高频率、高功率容量、微型化、集成化以及低成本等指标是学术界与产业界重点关注的方向,而基于薄膜体声波谐振器(Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)技术的FBAR滤波器已成为最有前景的滤波器之一。另外,当前空腔型FBAR滤波器已取得了一定的商业成功,但是仍面临性能不足、工艺复杂、成本略高、技术受限等困境。为此,本文试图从器件理论研究与结构优化、高性能压电材料制备与优化、新型工艺开发及技术融合三方面对FBAR滤波器的相关问题与关键技术进行综述,旨在为该研究领域的学者梳理FBAR滤波器技术进阶与迭代的脉络,以期为未来研究的路径与方向提供若干启发性思考。 展开更多
关键词 FBAR滤波器 理论研究 AlN压电薄膜 技术融合 综述
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添加SiC对C/C复合材料与AlN陶瓷钎焊接头组织及性能的影响
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作者 傅孟春 吴畏 +3 位作者 林盼盼 林铁松 何鹏 邵天巍 《焊接学报》 北大核心 2025年第11期36-43,52,共9页
为了构建C/C复合材料与AlN陶瓷的热适配接头,采用AgCuTi+SiC复合钎料实现了二者的活性钎焊连接.研究了SiC添加量对界面组织及力学性能的影响规律,对界面反应和应力缓释机理进行分析.钎焊接头典型组织为C/C复合材料/TiC/Cu(s,s)+Ag(s,s)+... 为了构建C/C复合材料与AlN陶瓷的热适配接头,采用AgCuTi+SiC复合钎料实现了二者的活性钎焊连接.研究了SiC添加量对界面组织及力学性能的影响规律,对界面反应和应力缓释机理进行分析.钎焊接头典型组织为C/C复合材料/TiC/Cu(s,s)+Ag(s,s)+SiC+Ti_(3)SiC_(2)+Ti_(5)Si_(3)+TiC/TiN/AlN,接头抗剪强度随着SiC第二相含量的增加呈现先增大后减小的变化规律,当SiC添加含量为3%(质量分数)、钎焊工艺参数为820℃/15 min时,抗剪强度达到最大值为27 MPa.结果表明,SiC增强相的引入可以调控钎料热膨胀系数,在钎缝与母材间形成梯度过渡,有效缓解钎缝中心区域与两侧母材之间因热膨胀系数不匹配而导致的较大残余应力,从而提升接头强度. 展开更多
关键词 C/C复合材料 ALN陶瓷 复合钎料 界面组织 力学性能
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AlN介质层对GaN表面生长金刚石钝化膜的影响研究
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作者 梁礼峰 郁鑫鑫 +4 位作者 李忠辉 刘金龙 李成明 王鑫华 魏俊俊 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第8期1417-1425,共9页
GaN表面生长金刚石钝化膜可用于改善器件传热能力,提升器件功率特性及可靠性。在GaN和金刚石层中间的介质层,对于实现高质量的GaN表面金刚石(Diamond-on-GaN)至关重要。本研究采用原子层沉积(ALD)技术在GaN表面预先沉积了10 nm的晶态/... GaN表面生长金刚石钝化膜可用于改善器件传热能力,提升器件功率特性及可靠性。在GaN和金刚石层中间的介质层,对于实现高质量的GaN表面金刚石(Diamond-on-GaN)至关重要。本研究采用原子层沉积(ALD)技术在GaN表面预先沉积了10 nm的晶态/非晶态混合的AlN介质层,并通过氧终端金刚石悬浮液在AlN层上实现了高密度静电自组装播种;随后通过优化的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)工艺再生长约120 nm厚的纳米晶金刚石(NCD)薄膜。表面氧终端调控的纳米金刚石悬浮液可以在AlN介质层表面实现高密度播种,结合梯度甲烷的MPCVD金刚石生长工艺,制备出了具有高结晶度、低粗糙度(Ra=15.2 nm)和低残余应力(0.84 GPa)的NCD薄膜。时域热反射(TDTR)测量表明,NCD薄膜的热导率约为123.85 W·m^(-1)·K^(-1),GaN与NCD之间的有效界面热阻(TBReff)为(9.78±0.27) m^(2)·K·GW^(-1)。透射电子显微镜(TEM)分析表明,AlN介质层有效保护了GaN免受等离子体刻蚀,并实现了金刚石和GaN之间的光滑界面。本研究表明,采用薄的ALD AlN作为在GaN表面生长金刚石的介质层可以与氧终端金刚石籽晶实现静电自组装,从而提高金刚石形核密度,再通过梯度甲烷金刚石沉积工艺,能够在GaN上沉积出高质量的NCD薄膜并降低金刚石与GaN的界面热阻。 展开更多
关键词 纳米晶金刚石 GAN AlN介质层 热导率 界面热阻 原子层沉积 静电自组装播种
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高品质氮化铝粉体材料制备工艺及应用性能研究 被引量:1
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作者 李宽宽 李玉宁 +5 位作者 赵煜 肖汉宁 高鹏召 覃航 吴明远 李俊芳 《西安文理学院学报(自然科学版)》 2025年第2期90-95,共6页
本研究聚焦于采用碳热还原法制备高品质氮化铝(AlN)粉体的工艺及其产品性能分析.通过系统考察不同碳前驱体在碳化裂解过程中的行为、氮化温度的选择以及保温时长对最终粉体性能的影响,得出以下关键发现:多种碳前驱体在约800℃的温度下... 本研究聚焦于采用碳热还原法制备高品质氮化铝(AlN)粉体的工艺及其产品性能分析.通过系统考察不同碳前驱体在碳化裂解过程中的行为、氮化温度的选择以及保温时长对最终粉体性能的影响,得出以下关键发现:多种碳前驱体在约800℃的温度下基本完成碳化裂解过程.进一步地,当氮化反应温度设定为1650℃,并维持3~5 h的保温时间时,所制备的AlN粉体展现出均匀的粒度分布及高纯度,无显著杂质.采用自主研发的动态高温反应器进行实验,所制备的AlN粉体在性能上表现优异,其整体性能指标不仅优于国内同类产品,还达到了甚至在某些方面超越了日本德山E级粉的标准.具体而言,利用该粉体通过干压工艺制成的基片,其热导率高达184 W/(m·K),这一性能水平与采用德山E级粉制备的基片相当. 展开更多
关键词 AlN粉体 工艺温度 动态高温反应器
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