极高真空电离规的校准实验研究 被引量：3

1

作者 成永军 李得天 《真空与低温》 2009年第4期199-206,共8页

介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^(-9)～10^(-1)Pa,实验气体为N_2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来... 介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^(-9)～10^(-1)Pa,实验气体为N_2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度(修正因子)的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。 展开更多

关键词 反磁控型冷阴极极高真空电离规 热阴极极高真空电离规 校准 实验

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超高/极高真空校准装置的研制 被引量：38

2

作者 李得天 李正海 +3 位作者 郭美如 成永军 张涤新 冯焱 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期92-96,共5页

超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限... 超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10Pa的极高真空;提出了分流法校准真空规的方法,使校准下限延伸到10-10Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;提出了采用线性真空计测量激光小孔分子流流导的方法,减小了小孔流导的测量不确定度。校准装置复合了分流法、压力衰减法和直接测量法对真空规进行校准,压力校准范围为10-1Pa^10-10Pa,合成标准不确定度为0.41%~3.5%。 展开更多

关键词 超高真空 极高真空 校准装置 校准方法

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极高真空校准室内残余气体的成分分析 被引量：41

3

作者 成永军 李得天 +4 位作者 张涤新 冯焱 卢耀文 赵澜 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期54-59,共6页

用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、C... 用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、CO、H2、CH4和CO2。烘烤后,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有CO、H2、CO2和CH4。整个烘烤过程完成后2h,XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10-9Pa,用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H2和CO。整个烘烤过程完成后4h,打开非蒸散型吸气剂泵(NEGP)对XHV校准室抽气,结果表明NEGP对H2具有较大的抽速,但对碳氢类化合物(如CH4)和惰性气体几乎没有抽速。用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后,XHV校准室内的压力从8.34×10-9Pa下降到9.12×10-10Pa。不锈钢XHV校准室内的残余气体成分中大量的CO和CO2主要来自于四极质谱计。 展开更多

关键词 不锈钢 极高真空 残余气体 四极质谱计 非蒸散型吸气剂泵

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极高真空环境下软金属刀口密封研究 被引量：15

4

作者 付朝晖 许旻 +2 位作者 杜永刚 刘轶鑫 杨震春 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期221-224,共4页

密封是保证航天器发射、运行可靠性及寿命的关键环节之一,随着月球及深空探测技术发展需求,迫切需要解决在极高真空环境下设备的密封技术。本文根据空间环境的适应要求,研制设计一种采用软金属合金作为填料,多层密封材料配合的密封技术... 密封是保证航天器发射、运行可靠性及寿命的关键环节之一,随着月球及深空探测技术发展需求,迫切需要解决在极高真空环境下设备的密封技术。本文根据空间环境的适应要求,研制设计一种采用软金属合金作为填料,多层密封材料配合的密封技术。对照空间环境密封漏率指标要求,对密封材料种类、成分配比、微观结构、刀口和预紧力等关键参数进行了分析和实验研究,在高真空条件下通过实验测试了软金属材料密封装置漏率情况和温度环境的稳定性。实验结果表明,软金属材料和基体材料匹配良好,刀口结构密封装置在高真空环境下的漏率小于5×10-11 Pa·m3/s,高低温度循环后漏率稳定,可以满足未来航天器在极高真空环境下的长期稳定可靠密封使用要求。 展开更多

关键词 软金属合金 刀口挤压密封 极高真空 漏率 航天器

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超高/极高真空校准研究进展 被引量：6

5

作者 李得天 成永军 +3 位作者 冯焱 赵澜 卢耀文 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期641-648,共8页

本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展。介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点。从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表... 本文概述了在超高/极高真空校准方面的研究进展。介绍了采用分子束法、压力衰减法、流导调制法以及分流法校准超高/极高真空规的原理、校准系统的结构及性能,并分析了它们的优缺点。从中可以看出,近年来随着真空材料处理技术、容器内表面处理技术和真空获得技术的进展,在10-10Pa^10-8Pa压力范围的超高/极高真空校准技术也取得了可喜的进展,校准系统的研制、维护成本日趋低廉,校准方法更为简单,校准结果更为准确。 展开更多

关键词 超高/极高真空校准 分子束法 压力衰减法 流导调制法 分流法

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分流法超高/极高真空校准装置性能研究 被引量：9

6

作者 李得天 郭美如 +6 位作者 邱家稳 李正海 成永军 冯焱 张涤新 赵光平 孙海 《真空》 CAS 北大核心 2007年第6期1-6,共6页

分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延... 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延伸到了10-10 Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;校准装置的校准范围为(10-4～10-10)Pa,合成标准不确定度为1.5%～3.5%。 展开更多

关键词 分流法 超高真空 极高真空 校准装置

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空间行波管极高真空的获得与测量 被引量：12

7

作者 刘燕文 孟宪展 +5 位作者 田宏 李芬 石文奇 朱虹 谷兵 王小霞 《真空》 CAS 2018年第5期25-28,共4页

空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是空间行波管工作的基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于5×10^(-9)Pa的空间行波管;采用四级质谱计分析了空间行波管的排气过程和极限真空状态下的... 空间行波管广泛应用于雷达、卫星通信等方面,在器件制造过程中,真空是空间行波管工作的基础条件。利用极高真空排气设备获得了极限真空优于5×10^(-9)Pa的空间行波管;采用四级质谱计分析了空间行波管的排气过程和极限真空状态下的残气质谱,并由此确定了空间行波管经济可行的烘烤排气时间。利用四极质谱计对空间行波管进行了检漏实验,结果表明四极质谱计具有很高的灵敏度,非常适合极高真空的检漏。建立了放气量极低的测量空间行波管真空度的测试平台。对空间行波管的老练、高低温实验、存储等过程的真空度进行了测试。空间行波管在进行老练时,管内真空度下降约一个数量级,经过140h老练后,在老练离子泵的抽气作用下,管内真空度上升到5.0×10^(-8)Pa,这时去掉老练离子泵,其真空度基本保持不变。最后进行了高低温冲击实验,并在室温下存储6个月,真空保持良好。这些结果为分析空间行波管质量提供了很好的依据。 展开更多

关键词 空间行波管 极高真空 四极质谱计 残余气体 真空测量

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低轨道带可变翼的平板型极高真空分子屏 被引量：4

8

作者 达道安 张华林 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期44-49,共6页

本文计算了在低轨道自由飞行的平板型分子屏（ＷａｋｅＳｈｉｅｌｄＦａｃｉｌｉｔｙ）加了可变翼后，分子屏后实验区的压力分布。计算中考虑了分子屏和翼材料出气对实验区压力的影响。本文并对加可变翼和不加可变翼、考虑出气和不考虑... 本文计算了在低轨道自由飞行的平板型分子屏（ＷａｋｅＳｈｉｅｌｄＦａｃｉｌｉｔｙ）加了可变翼后，分子屏后实验区的压力分布。计算中考虑了分子屏和翼材料出气对实验区压力的影响。本文并对加可变翼和不加可变翼、考虑出气和不考虑出气几种情形进行了计算和比较。我们的结果表明：给轨道分子屏加上可变翼后，其实验区的压力可比不加可变翼降低一个数量级以上，压力达１０－１３Ｐａ。本文的研究表明，这种给轨道分子屏加可变翼的模型对更好的利用分子屏环境是非常有利的。 展开更多

关键词 轨道分子屏 可变翼 航天 极高真空 低轨道

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轨道分子屏极高真空系统的抽气方程 被引量：2

9

作者 达道安 杨亚天 阎少光 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期367-371,共5页

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,真空系统的抽气方程式是:P=Q/S;轨道分子屏系统是开放的,或者说具有部分真空容器,相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?本文提出了一个物理模型,推导出了半球型及球冠型轨道分子... 地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,真空系统的抽气方程式是:P=Q/S;轨道分子屏系统是开放的,或者说具有部分真空容器,相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?本文提出了一个物理模型,推导出了半球型及球冠型轨道分子屏极高真空系统的抽气方程。通过解含时间的微分方程,可得到相同的抽气方程。该方程适用于其它形状的轨道分子屏极高真空系统。 展开更多

关键词 极高真空 轨道分子屏 抽气方程

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极高真空技术的发展 被引量：3

10

作者 李得天 成永军 《宇航计测技术》 CSCD 2009年第5期71-76,共6页

总结了极高真空(XHV低于10-9Pa的压力范围)获得和测量方法以及获得和测量极高真空的限制因素,描述了降低XHV系统器壁和元件(包括真空规或残余气体分析器)出气率采用的技术。

关键词 极高真空 真空泵 电离规 出气率

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极高真空测量中微小离子流检测技术研究 被引量：2

11

作者 孙健 李得天 +2 位作者 王永军 张虎忠 张琦 《真空与低温》 2016年第2期75-80,共6页

为解决极高真空测量中电离真空计微小离子流的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术,实现了10^(-14)A微小离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空计进行试验测试,... 为解决极高真空测量中电离真空计微小离子流的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术,实现了10^(-14)A微小离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空计进行试验测试,验证了该设计电路能够准确检测10^(-9)Pa极高真空下的电离真空计离子流,为实现极高真空测量设备国产化提供了技术参考。 展开更多

关键词 极高真空 测量 微小离子流 检测

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可变翼极高真空轨道分子屏研究

12

作者 达道安 张华林 闫少光 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期79-82,92,共5页

本文提出可变翼极高真空轨道分子屏的概念,建立了理论模型,推导出了压力表达式,计算了该分子屏的极限压力及压力曲线,翼长、翼角和压力的关系曲线。结果表明可变翼极高真空轨道分子屏选择一定长度的翼及适当的翼角,可获得比普通分子屏... 本文提出可变翼极高真空轨道分子屏的概念,建立了理论模型,推导出了压力表达式,计算了该分子屏的极限压力及压力曲线,翼长、翼角和压力的关系曲线。结果表明可变翼极高真空轨道分子屏选择一定长度的翼及适当的翼角,可获得比普通分子屏低一个多量级的极限压力,达到10-13Pa,低压工作区域也扩大了4～5倍。可变翼极高真空轨道分子屏理论的建立,会推动分子屏技术应用的发展。 展开更多

关键词 轨道分子屏 极高真空 可变 极限压力 理论模型 压力曲线 关系曲线 工作区域 技术应用 表达式 翼角

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轨道分子屏极高真空实验室设计技术研究

13

作者 达道安 崔志云 杨亚天 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期121-125,167,共6页

给出了一种新型的近地轨道极高真空分子屏实验室设计。作者计算了可变翼分子屏周围大气分子的入射及散射、分子屏材料放气在屏内的分子数流密度。通过调整分子屏的翼角,分子屏内的压力可以达到10-12Pa。计算结果指出:在近地轨道选择合... 给出了一种新型的近地轨道极高真空分子屏实验室设计。作者计算了可变翼分子屏周围大气分子的入射及散射、分子屏材料放气在屏内的分子数流密度。通过调整分子屏的翼角,分子屏内的压力可以达到10-12Pa。计算结果指出:在近地轨道选择合适的分子屏参数,可以在极高真空环境下加工超纯材料。 展开更多

关键词 极高真空 轨道分子屏 材料加工

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200-1000km轨道极高真空分子屏尾区压力的数值计算

14

作者 达道安 张华林 +3 位作者 朱小兰 张志远 鲁淼 陈珍 《航天器环境工程》 1995年第4期56-60,共5页

计算了在200～1000 km 低轨道自由飞行的平板型分子屏后实验区的压力分布。计算中考虑了分子屏和翼材料出气对实验区压力的影响。结果表明:分子屏提供了非常好的极高真空环境。但轨道高度从200 km 升高到1000 km 时,压力降低不大。

关键词 轨道分子屏 材料出气 极高真空

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基于冷原子的超高/极高真空测量机理研究进展 被引量：3

15

作者 张苏钊 孙雯君 +4 位作者 董猛 吴成耀 刘国庭 罗洪刚 成永军 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期391-402,共12页

长期以来,随着原子的激光冷却和俘获技术的发展,利用超冷原子在磁阱中与背景气体碰撞的损失率以精确测量超高/极高真空度的新方法正在国内外深入研究,该方法将宏观物理量与微观参数相联系,可实现气体密度的精密测量和真空度的准确反演... 长期以来,随着原子的激光冷却和俘获技术的发展,利用超冷原子在磁阱中与背景气体碰撞的损失率以精确测量超高/极高真空度的新方法正在国内外深入研究,该方法将宏观物理量与微观参数相联系,可实现气体密度的精密测量和真空度的准确反演。然而,目前对于冷原子碰撞损失过程的非理想损失机制以及其它附加效应对测量过程的影响尚缺乏详细的分析,这些因素都制约着基于冷原子的超高/极高真空测量技术的发展。本文首先从冷原子的超高/极高真空测量基本原理出发,概述了冷原子真空度测量过程关键参数的不同确定方法和各自优缺点,随后,针对影响冷原子测量不确定度的各种附加损失,在相关研究基础上对其物理或数学模型进行分类讨论,分析为减小测量不确定度可采取的相应措施。最后,从关键参数的确定方法和其它测量过程的影响因素两方面,对冷原子超高/极高真空测量技术进行了总结和展望。 展开更多

关键词 超高/极高真空 冷原子 测量机理 损失机制

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强流重离子加速器BRing-HFRS超高/极高真空过渡研究 被引量：1

16

作者 柴振 蒙峻 +3 位作者 罗成 朱小荣 谢文君 郑亚军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期805-809,共5页

针对强流重离子加速器(HIAF)中增强器(BRing)和放射性次级束流分离器(HFRS)之间的BRing引出线真空系统进行极高真空到超高真空的过渡研究。研究表明,为不使处于极高真空状态下的BRing环真空系统受到来自HFRS和高能束运线的影响,通过烘... 针对强流重离子加速器(HIAF)中增强器(BRing)和放射性次级束流分离器(HFRS)之间的BRing引出线真空系统进行极高真空到超高真空的过渡研究。研究表明,为不使处于极高真空状态下的BRing环真空系统受到来自HFRS和高能束运线的影响,通过烘烤段加非烘烤段的方式以及快关阀的作用,可有效地解决真空系统从极高真空到超高真空的过渡问题,并且能够有效地起到对BRing主真空的保护作用。通过对BRing引出线真空系统进行真空压力分布的模拟计算,从侧面更加验证了真空过渡方案的可行性。 展开更多

关键词 极高真空系统 真空压力分布 真空过渡

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极高真空溅射离子泵的研制 被引量：1

17

作者 吴魁 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第A10期8-11,共4页

研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。... 研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。 展开更多

关键词 极高真空 潘宁放电 抽束曲线 溅射离子泵

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空间行波管专用排气工艺极高真空系统的研制 被引量：5

18

作者 卢少波 姚铮 +3 位作者 宋艳鹏 韩永超 张吉峰 唐榕 《真空》 CAS 2022年第5期50-54,共5页

空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域,极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键,因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义。极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行,真空排气工艺是微波真... 空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域,极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键,因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义。极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行,真空排气工艺是微波真空电子器件制造工艺中最重要的一种技术。极高真空的获得和维持涉及多种技术,包含材料的选择、真空室的设计、真空泵的选择、极高真空的获得和测量、真空除气、高灵敏度真空检漏技术和残余气体分析技术等。本文介绍了空间行波管极高真空系统工艺设备研制过程及其在科研生产中的应用。该真空系统实现了空载真空度优于1×10^(-9)Pa,多路带载真空度优于5×10^(-9)Pa,对超高真空、极高真空的获得和真空排气设备制造工艺及应用等具有一定的参考价值。 展开更多

关键词 极高真空 空间行波管 真空排气 出气速率

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极高真空规新进展

19

作者 黄春江 齐京 《真空》 CAS 北大核心 1999年第3期1-7,共7页

本文分析了影响极高真空规测量下限的几个限制因素，介绍国外极高真空测量技术的最新发展状况。阐述了具有贝塞尔盒离子能量过滤器的Ａ－Ｔ电离规、球栅型离子谱电离规、离子引出型电离规、ＣＳＬ静电透镜电离规等的结构及性能，并分析... 本文分析了影响极高真空规测量下限的几个限制因素，介绍国外极高真空测量技术的最新发展状况。阐述了具有贝塞尔盒离子能量过滤器的Ａ－Ｔ电离规、球栅型离子谱电离规、离子引出型电离规、ＣＳＬ静电透镜电离规等的结构及性能，并分析了它们的优缺点。介绍了利用激光电离技术测量极高真空度的最新动态。最后提出一种极高真空鞍场规，与上述几种电离规相比，具有电极尺寸小、灵敏度高、吸放气率低等优点。用Ｍｏｎｔｅ－Ｃａｒｌｏ模拟方法计算了极高真空鞍场规的电场分布、电子轨迹和灵敏度。 展开更多

关键词 极高真空 电离规 激光电离 测量技术 真空观

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球形轨道分子屏极高真空系统的抽气方程

20

作者 阎少光 达道安 《航天器环境工程》 2000年第3期11-17,25,共8页

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,压力 P 与抽速 S 的关系是:P=OIS;轨道分子屏极高真空系统是开放的(或者说具有部分真空容器),相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?文章提出了一个物理模型,推导出了球形轨道分... 地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,压力 P 与抽速 S 的关系是:P=OIS;轨道分子屏极高真空系统是开放的(或者说具有部分真空容器),相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?文章提出了一个物理模型,推导出了球形轨道分子屏极高真空系统的抽气方程。 展开更多

关键词 轨道分子屏 极高真空 抽气方程 真空系统

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