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面向原子传感器的芯片级原子气室研究进展
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作者 候建伟 臧法珩 +3 位作者 李德钊 李铁 郭小军 杨卓青 《功能材料与器件学报》 2026年第1期39-52,共14页
高灵敏度传感器在基础物理研究、空间磁场探测、地质监测及生物医学领域具有重要应用价值。基于量子力学原理的原子传感器(如原子磁力仪、原子钟和原子陀螺仪等)凭借高灵敏度、低功耗及长期稳定性优势,已成为精密测量领域的关键技术装... 高灵敏度传感器在基础物理研究、空间磁场探测、地质监测及生物医学领域具有重要应用价值。基于量子力学原理的原子传感器(如原子磁力仪、原子钟和原子陀螺仪等)凭借高灵敏度、低功耗及长期稳定性优势,已成为精密测量领域的关键技术装备。此类传感器的核心部件原子气室通过塞曼效应实现量子态操控,其微型化集成不仅推动了原子磁力仪向便携式方向发展,还为原子钟的芯片化突破以及原子陀螺仪导航精度的提升奠定了基础。本文综述了芯片级原子气室在近年的研究进展。通过优化碱金属引入工艺、抗弛豫表面涂层技术及微纳加工技术,可实现高性能微型原子气室的设计,为量子传感技术在多领域的应用开辟了新路径。未来,原子气室的多功能集成与材料创新将进一步拓展其在时频基准、惯性导航及弱磁测量中的应用。 展开更多
关键词 原子传感器 原子气室 光泵浦 塞曼效应 原子钟 原子陀螺仪
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前沿科研成果融入研究生《仪器分析技术》课程教学——构筑基于Mn单原子电化学传感器用于药品中对乙酰氨基酚的分析检测
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作者 韦娟 郭亮 +3 位作者 金忠秀 任玲玲 梁春梅 姬艳丽 《广东化工》 2026年第1期156-160,共5页
以构筑Mn单原子电化学传感器用于对乙酰氨基酚的检测案例为例,将前沿科研成果融入研究生《仪器分析技术》课程教学中。通过Mn单原子的制备,Mn/GCE的构筑,电化学表征以及在对乙酰氨基酚检测中的应用。通过开展本实验,可以让研究生掌握各... 以构筑Mn单原子电化学传感器用于对乙酰氨基酚的检测案例为例,将前沿科研成果融入研究生《仪器分析技术》课程教学中。通过Mn单原子的制备,Mn/GCE的构筑,电化学表征以及在对乙酰氨基酚检测中的应用。通过开展本实验,可以让研究生掌握各种分析仪器的基本原理、仪器组成部分和应用技术,提高研究生的动手操作的实践及科研能力,还可以系统培养学生的科研思维,拓宽学生的学科视野。对于培养高科研素养,高创新能力的医学专业人才具有重要的意义。 展开更多
关键词 电化学传感器 Mn单原子 对乙酰氨基酚检测 研究生教学 仪器分析
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原子层沉积在气体传感器中的应用研究进展
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作者 宋法余 张菁源 +1 位作者 李伟金 涂敏 《功能材料与器件学报》 2026年第1期20-38,共19页
原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)是一种高精度薄膜沉积技术,不仅能够实现亚纳米级厚度的均匀薄膜沉积,而且具备优异的三维保形覆盖能力,可实现在复杂纳米结构及异质界面上的均匀生长。随着气体传感器技术的发展,ALD在气敏材料... 原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)是一种高精度薄膜沉积技术,不仅能够实现亚纳米级厚度的均匀薄膜沉积,而且具备优异的三维保形覆盖能力,可实现在复杂纳米结构及异质界面上的均匀生长。随着气体传感器技术的发展,ALD在气敏材料的制备与性能调控等方面展现出广阔的应用前景,特别是在薄膜、纳米结构、异质结以及纳米颗粒负载结构的制备方面。通过精确控制薄膜厚度和成分,ALD技术能够显著提升气体传感器的灵敏度、选择性和稳定性。本文系统综述ALD技术在气体传感器领域的研究进展,详细分析当前研究中存在的主要问题,并对其未来在气体传感领域的应用前景进行展望。 展开更多
关键词 原子层沉积 气体传感器 纳米结构 异质结 纳米颗粒负载
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Microwave field sensor based on cold cesium Rydberg three-photon electromagnetically induced spectroscopy 被引量:1
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作者 Yuan-Yuan Wu Yun-Hui He +1 位作者 Yue-Chun Jiao Jian-Ming Zhao 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第11期249-254,共6页
We present the electromagnetically induced transparency(EIT)spectra of cold Rydberg four-level cascade atoms consisting of the 6S_(1/2)→6P_(3/2)→7S_(1/2)→60P_(3/2) scheme.A coupling laser drives the Rydberg transit... We present the electromagnetically induced transparency(EIT)spectra of cold Rydberg four-level cascade atoms consisting of the 6S_(1/2)→6P_(3/2)→7S_(1/2)→60P_(3/2) scheme.A coupling laser drives the Rydberg transition,a dressing laser couples two intermediate levels and a weak probe laser probes the EIT signal.We numerically solve the Bloch equations and investigate the dependence of the probe transmission rate signal on the coupling and dressing lasers.We find that the probe transmission rate can display an EIT or electromagnetically induced absorption(EIA)profile,depending on the Rabi frequencies of the coupling and dressing lasers.When we increase the Rabi frequency of the coupling laser and keep the Rabi frequency of the probe and dressing laser fixed,flipping of the EIA to EIT spectrum occurs at the critical coupling Rabi frequency.When we apply a microwave field coupling the transition 60P_(3/2)→61S_(1/2),the EIT spectrum shows Autler–Townes splitting,which is employed to measure the microwave field.The theoretical measurement sensitivity can be 1.52×10^(−2) nV・cm^(−1)・Hz−^(1/2) at the EIA–EIT flipping point. 展开更多
关键词 Rydberg atoms atomic microwave sensor electromagnetically induced transparency and absorption
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热阻式热流传感器在超高速低密度风洞中的应用
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作者 杨凯 王宏宇 +4 位作者 朱新新 朱涛 陈曦 陶伯万 李杰 《实验流体力学》 北大核心 2025年第5期80-87,共8页
在超高速低密度风洞试验中,通常采用薄壁量热计、同轴热电偶和红外热图等测试热流。这些测热方式都存在测试结果易受噪声干扰、不确定度高等问题,其原因主要在于数据处理方式复杂。同时,这些测热方式的灵敏度系数较低,也不利于测试低密... 在超高速低密度风洞试验中,通常采用薄壁量热计、同轴热电偶和红外热图等测试热流。这些测热方式都存在测试结果易受噪声干扰、不确定度高等问题,其原因主要在于数据处理方式复杂。同时,这些测热方式的灵敏度系数较低,也不利于测试低密度风洞试验中的低热流。原子层热电堆(Atomic Layer Thermopile, ALTP)热流传感器和小尺寸Schmidt–Boelter热流传感器具有灵敏度系数高、简单易用等特点,通过风洞试验验证了这2种热阻式热流传感器应用于超高速低密度风洞长时间低热流测试的可行性,以补充超高速低密度风洞试验的测热手段。针对常规ALTP热流传感器尺寸较大等问题,以导电膜首尾串联敏感薄膜,在ALTP热流传感器使用尺寸不变的前提下,成倍提高了其灵敏度系数,为下一阶段ALTP热流传感器的小型化奠定了基础。 展开更多
关键词 原子层热电堆 Schmidt–Boelter热流传感器 灵敏度系数 超高速低密度风洞 同轴热电偶
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Pt原子修饰棒状二氧化锡的制备及其氢气敏感性能
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作者 徐甲强 贾欣 张子旋 《宁波大学学报(理工版)》 2025年第6期22-30,共9页
采用一步水热法合成了纳米棒组成的SnO_(2)纳米花,并用高温还原法合成了不同分散状态的Pt-SnO_(2)复合材料。采用XRD、HRTEM和XPS等表征技术对Pt原子在复合材料表面的分散状态进行了解析。将复合材料构建为MEMS气体传感器并评估了其氢... 采用一步水热法合成了纳米棒组成的SnO_(2)纳米花,并用高温还原法合成了不同分散状态的Pt-SnO_(2)复合材料。采用XRD、HRTEM和XPS等表征技术对Pt原子在复合材料表面的分散状态进行了解析。将复合材料构建为MEMS气体传感器并评估了其氢敏性能,结果显示原子级分散的Pt atm-SnO_(2)材料氢敏性能最佳,其最佳工作温度为250℃,从纯相SnO_(2)的310℃降低了60℃,在最佳工作温度下对氢气的检测限低达5×10^(-6),对200×10^(-6)体积分数氢气的响应值为3.81,且响应时间为7.2 s,恢复时间为4.8 s。相比于纯相的SnO_(2)和Pt NPs(纳米颗粒)-SnO_(2),该复合材料在检测限、氢气响应值、响应时间和恢复时间等方面均有显著的改善。 展开更多
关键词 棒状SnO_(2) 贵金属修饰 氢气传感器 Pt单原子
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基于红外及脉动热流的壁面喷气诱导转捩试验研究 被引量:1
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作者 曾炜一 徐洋 +3 位作者 乐嘉陵 杨凯 解福田 巢根明 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第8期96-105,共10页
针对前体压缩面喷气诱导转捩试验难以控制喷注压力、壁温高于传统脉动压力传感器工作温度上限的问题,提出了一种结合红外热图与脉动热流数据的喷气诱导转捩的试验方法。首先,首次结合红外与原子层热电堆测试方法,从频域和时域角度研究... 针对前体压缩面喷气诱导转捩试验难以控制喷注压力、壁温高于传统脉动压力传感器工作温度上限的问题,提出了一种结合红外热图与脉动热流数据的喷气诱导转捩的试验方法。首先,首次结合红外与原子层热电堆测试方法,从频域和时域角度研究了类飞行器前体模型的转捩诱导问题;其次,设计了基于高压储存-底压喷注的0.5 mm孔径的微喷流试验方案,开展了基于喷流喷注压比/喷注介质等多干扰因素的转捩诱导风洞试验;最后,针对前体压缩面转捩阵面不规则不易定量评估问题,提出了基于平均转捩起始位置及平均临界雷诺数的转捩评估方法。试验结果表明:随着喷注压比从40增加到200,平均转捩起始位置前移10%;当喷注流量和喷注压比相同时,平均转捩起始位置随喷注介质分子量增加前移。此次试验不仅理清了喷注压比、喷注介质等参量对促进转捩效果的影响,还完善了转捩试验分析时的测试手段,为后续转捩机制研究提供了参考。 展开更多
关键词 红外热图 原子层热电堆传感器 微喷流 转捩
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Design of omnidirectional Rydberg atomic sensors loaded with electric field enhancement structure using characteristic mode analysis
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作者 Zhenke DING Yi LIU +4 位作者 Bo WU Kai YANG Ruibing RAN Yi LIN Yunqi FU 《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》 2025年第8期1461-1472,共12页
The integration of electric field enhancement structures(EFESs)with Rydberg atomic sensors(RASs)has garnered considerable interest due to their potential to enhance detection sensitivity in quantum measurement systems... The integration of electric field enhancement structures(EFESs)with Rydberg atomic sensors(RASs)has garnered considerable interest due to their potential to enhance detection sensitivity in quantum measurement systems.Despite this,there is a dearth of research on the directional response of EFES,and the analysis of the three-dimensional(3D)patterns of RAS remains a formidable challenge.RASs are employed in non-destructive measurement techniques,and are responsive to electric fields,primarily serving as reception devices.However,analyzing their reception patterns is a complex task that requires a sophisticated approach.To address this,we adopt characteristic mode(CM)analysis to illustrate the omnidirectional performance of RAS.According to the CM theory,the reception pattern can be calculated by a series of modal currents and their corresponding coefficients.The analytical representation of these coeficients negates the need for time-consuming full-wave(FW)numerical simulations,which are typically required to generate EFES patterns due to the necessity of scanning numerous angle parameters.This approach significantly reduces the complexity of solving EFES patterns,and provides insightful guidance for the design process.To validate the efficacy of our proposed method,we construct three prototypes.The results indicate that the final model resonates at 1.96 GHz,achieving an electric field gain of 25 dB and an out-of-roundness of 2.4 dB.These findings underscore the effectiveness of our method in analyzing EFES patterns,highlighting its potential for future applications in the field. 展开更多
关键词 Rydberg atomic sensor Characteristic mode Electric field enhancement structure
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切削液雾化污染的多模态感知与动态通风控制系统
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作者 张欣阳 胡丽珍 周光耀 《江苏工程职业技术学院学报》 2025年第4期15-19,共5页
在机械加工中切削液应用广泛,但切削液的雾化污染给作业人员健康和生产环境带来危害。基于多模态感知理论、动态通风控制理论及切削液雾化污染治理机理提出一种协同治理系统,利用多模态传感器进行数据融合,通过部署轻量化深度学习模型... 在机械加工中切削液应用广泛,但切削液的雾化污染给作业人员健康和生产环境带来危害。基于多模态感知理论、动态通风控制理论及切削液雾化污染治理机理提出一种协同治理系统,利用多模态传感器进行数据融合,通过部署轻量化深度学习模型实现对污染的实时监测与精准治理,具有应用推广价值。 展开更多
关键词 切削液 雾化污染 多模态传感器 动态通风
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里德堡原子EIT与EIA中间态对故障电弧感应增强的研究
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作者 王恩惠 耿佳琪 +6 位作者 赵龙 仇茹嘉 田腾 宋东波 杨海涛 胡啸宇 陈嘉 《量子光学学报》 北大核心 2025年第2期35-44,共10页
故障电弧作为一种常见的电力设施故障,其检测方法近年来被广泛研究讨论,然而由于测量环境往往电场强度极大,许多测量手段望而却步。里德堡原子传感系统作为一种卓越的可以做到全光学探头的检测手段,是检测故障电弧电磁信号的优秀平台之... 故障电弧作为一种常见的电力设施故障,其检测方法近年来被广泛研究讨论,然而由于测量环境往往电场强度极大,许多测量手段望而却步。里德堡原子传感系统作为一种卓越的可以做到全光学探头的检测手段,是检测故障电弧电磁信号的优秀平台之一。然而,里德堡原子系统检测故障电弧时采用的非共振探测方法往往在接收带宽与灵敏度等参数上偏低,在寻找最佳工作点的过程中,系统参数优化必不可少。本文主要对里德堡原子的电磁诱导透明(EIT)谱图的线型进行研究,预测了EIT与电磁诱导吸收(EIA)中间态的存在,并在实验上通过改变探测光拉比频率使原子处于性能最佳的中间态,信噪比提升了7.8 dBm以上,在1.5 MHz的范围内能够保持10 dB以上的信噪比,为利用里德堡原子系统检测故障电弧的手段提供了优化路径和方案。 展开更多
关键词 故障电弧 里德堡原子 微波电场 量子传感器 EIT-EIA中间态
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基于原子层沉积ZnO的CO_(2)气体传感器研究
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作者 刘昊东 仝召民 《微纳电子技术》 2025年第6期68-75,共8页
为了实现对高体积分数二氧化碳(CO_(2))的检测,以二乙基锌(DEZ)和去离子水作为前驱体,在自主设计的叉指电极上利用原子层沉积(ALD)技术沉积氧化锌(ZnO)纳米薄膜,研究了其薄膜特性,并制作了气体传感器。通过研究不同沉积参数和后处理参... 为了实现对高体积分数二氧化碳(CO_(2))的检测,以二乙基锌(DEZ)和去离子水作为前驱体,在自主设计的叉指电极上利用原子层沉积(ALD)技术沉积氧化锌(ZnO)纳米薄膜,研究了其薄膜特性,并制作了气体传感器。通过研究不同沉积参数和后处理参数对传感器性能的影响,表明ZnO纳米薄膜在具有(002)优选取向、高氧空位占比和5 nm厚度下,可实现对于高体积分数CO_(2)的快速检测。制备的气体传感器在0.25%~2%的CO_(2)体积分数下,响应时间的最高值和最低值分别为14和6.4 s,相较于传统光学传感器和同类型传感器,响应时间均有所缩短,且在保持快速响应的同时保持了较好的灵敏度。此外对气敏反应机理进行了分析探讨。 展开更多
关键词 ZNO 原子层沉积(ALD) CO_(2)气体传感器 耗尽层 氧空位
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核磁共振微陀螺的现状与发展 被引量:11
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作者 李攀 刘元正 王继良 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第12期769-774,785,共7页
基于核磁共振的微型陀螺仪以其小体积、低功耗、低成本等优势成为了惯性传感器领域新的研究热点。回顾了核磁共振陀螺仪的发展历程,并跟踪了国际上基于核磁共振的微型陀螺仪的最新研究动态。从核磁共振、光抽运和自旋交换碰撞三个方面... 基于核磁共振的微型陀螺仪以其小体积、低功耗、低成本等优势成为了惯性传感器领域新的研究热点。回顾了核磁共振陀螺仪的发展历程,并跟踪了国际上基于核磁共振的微型陀螺仪的最新研究动态。从核磁共振、光抽运和自旋交换碰撞三个方面介绍了核磁共振微陀螺的理论基础和主要涉及的物理效应。针对核磁共振微陀螺的不同结构对其进行分类,并从工作原理和性能参数等方面分别进行了阐述。最后,分析了核磁共振微陀螺的应用领域,对其发展趋势和实际应用所面临的挑战进行了展望,并指出磁抑制和磁屏蔽技术将会成为制约核磁共振微陀螺实际应用的难点。 展开更多
关键词 微型陀螺仪 核磁共振(NMR) 原子自旋 原子传感器 微电子机械系统(MEMS)
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795nm单模垂直腔面发射激光器 被引量:5
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作者 张岩 王彦照 +2 位作者 宁吉丰 杨红伟 陈宏泰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期17-22,共6页
针对铷原子能级跃迁对光谱的特殊需求,设计并制备了795 nm单模垂直腔面发射激光器(VCSEL)。根据对VCSEL的光场和模式的分析和计算结果,设计了单模VCSEL芯片结构。采用MOCVD技术生长了外延结构,制备了不同有源区直径的氧化限制型VCSEL芯... 针对铷原子能级跃迁对光谱的特殊需求,设计并制备了795 nm单模垂直腔面发射激光器(VCSEL)。根据对VCSEL的光场和模式的分析和计算结果,设计了单模VCSEL芯片结构。采用MOCVD技术生长了外延结构,制备了不同有源区直径的氧化限制型VCSEL芯片并进行了测试。当有源区直径从6μm减小到3μm时,VCSEL芯片的边模抑制比(SMSR)由8.76 d B增加到34.05 d B,阈值电流由0.77 m A减小到0.35 m A。有源区直径为6,5,4和3μm的VCSEL芯片的输出功率分别为0.37,0.46,0.58和0.44 m W,有源区直径为4μm的VCSEL芯片的远场为圆形光束,发散角为15°。85℃时3.5μm有源区直径的VCSEL芯片输出功率为0.125 m W,激射波长为795.3 nm。室温3 d B带宽大于8 GHz,满足了铷原子传感器对VCSEL单模光谱、输出功率及调制速率的要求。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 单模 原子传感器 调制带宽
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原子磁传感器原子气室无磁控温技术 被引量:7
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作者 张鹏 陈洪娟 +3 位作者 桂永雷 孙立凯 邵志强 崔洪亮 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第6期18-21,25,共5页
针对原子磁传感器碱金属原子气室对无磁加热的需求,解决磁力仪共振谱线信号信噪比低的问题,使用了差分对的布线方法,采用微加工膜工艺,在陶瓷基板上制备了方形纯铜材质的无磁加热线圈。使用COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件分析了... 针对原子磁传感器碱金属原子气室对无磁加热的需求,解决磁力仪共振谱线信号信噪比低的问题,使用了差分对的布线方法,采用微加工膜工艺,在陶瓷基板上制备了方形纯铜材质的无磁加热线圈。使用COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件分析了线圈在2.2 mA直流条件下产生的附加稳态磁场分布情况,结合Pro/Engineer软件构建的铜质气室固定支架及其热仿真分析结果,得到了比较理想的加热线圈固定位置。进一步分析确定了20 kHz交流加热方案,最终制作完成了具有3W加热功率和0.1℃控温精度的无磁加热器。实验结果表明:该加热器瞬时磁扰动为2.24 pT,满足原子气室无磁加热要求。其结果对原子磁传感器气室的设计及工作参数的优化改进具有一定的参考意义。 展开更多
关键词 原子磁传感器 原子气室 无磁加热 加热线圈 磁扰动
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基于VRML的网络交互式虚拟现实建模研究 被引量:14
15
作者 叶艳青 邵建龙 念晓 《系统仿真学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期2827-2831,共5页
提出了结合3DSMAX7.0、Vrmlpad2.1进行VRML三维建模的方法,建立了基于VRML的Web三维虚拟原子吸收实验室,研究了提高网络浏览及显示速度的几个关键技术,如通过降低纹理图分辨率、使用Billboard节点、节约线面、优化压缩等以优化文件;使... 提出了结合3DSMAX7.0、Vrmlpad2.1进行VRML三维建模的方法,建立了基于VRML的Web三维虚拟原子吸收实验室,研究了提高网络浏览及显示速度的几个关键技术,如通过降低纹理图分辨率、使用Billboard节点、节约线面、优化压缩等以优化文件;使用硬件渲染方式使虚拟场景显示快速、平滑;用VRML节点实现了更多的交互功能,如信息提示,活动门窗,自动漫游,可从多视点观看;运用Octaga插件实现火焰特效的输出与浏览。 展开更多
关键词 虚拟现实造型语言 3DS MAX 7.0 Vrmlpad 2.1 传感器 原子吸收
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基于里德堡原子的无线电技术 被引量:11
16
作者 付云起 林沂 +2 位作者 武博 安强 刘燚 《电波科学学报》 CSCD 北大核心 2022年第2期279-287,共9页
里德堡原子是一种处于高能态的原子,拥有较大的跃迁偶极矩.利用原子的电磁感应透明和Autler-Townes分裂效应可实现微波频段电磁场的测量和接收.近年来,基于里德堡原子的无线电技术在通信、雷达等电子信息技术领域崭露头角,基于里德堡原... 里德堡原子是一种处于高能态的原子,拥有较大的跃迁偶极矩.利用原子的电磁感应透明和Autler-Townes分裂效应可实现微波频段电磁场的测量和接收.近年来,基于里德堡原子的无线电技术在通信、雷达等电子信息技术领域崭露头角,基于里德堡原子的无线电接收机实现了对调幅信号、调频信号的解调;同时,具备对脉冲信号及微波场相位信息的测量能力.文中主要综述基于里德堡原子的无线电技术研究,详细介绍了里德堡原子接收机的基本原理与研究进展,并简单讨论了其未来发展方向. 展开更多
关键词 里德堡原子 原子传感器 原子无线电 电磁诱导透明 Autler Townes(AT)分裂
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原子分辨显微分析技术研究进展 被引量:6
17
作者 袁秉凯 陈鹏程 +3 位作者 仉君 程志海 裘晓辉 王琛 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1370-1384,共15页
非接触原子力显微技术(NC-AFM)近年来发展迅速.NC-AFM对单个分子的成像和谱学实现了原子分辨和单个化学键分辨.NC-AFM自身功能的拓展及其与不同探针技术的联用将为材料、物理、化学和生命科学有关的研究提供崭新的思路.本文首先介绍NC-... 非接触原子力显微技术(NC-AFM)近年来发展迅速.NC-AFM对单个分子的成像和谱学实现了原子分辨和单个化学键分辨.NC-AFM自身功能的拓展及其与不同探针技术的联用将为材料、物理、化学和生命科学有关的研究提供崭新的思路.本文首先介绍NC-AFM和qPlus传感器的基本原理,然后讨论原子尺度的相互作用力和短程力的精确测量,总结近年来NC-AFM在原子尺度的化学结构成像、化学识别、电子结构性质分析以及原子操纵技术中的研究进展,并讨论了开尔文探针力显微技术(KPFM)在局域接触势差(LCPD)测量方面的应用.最后展望了NC-AFM面临的挑战和发展机遇. 展开更多
关键词 扫描探针显微技术 非接触原子力显微技术 qPlus传感器 化学识别 原子操纵 电子结构 开尔文探针力显微技术
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微PNT与综合PNT 被引量:47
18
作者 杨元喜 李晓燕 《测绘学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第10期1249-1254,共6页
综合定位导航授时是后GNSS(全球卫星导航系统)发展的必然趋势。本文侧重梳理微PNT发展需求和发展现状,分析与之关联的核心关键技术,论述综合PNT与微PNT的关系。强调综合PNT需要大量基础设施投入与建设,而微PNT侧重高技术传感器的集成应... 综合定位导航授时是后GNSS(全球卫星导航系统)发展的必然趋势。本文侧重梳理微PNT发展需求和发展现状,分析与之关联的核心关键技术,论述综合PNT与微PNT的关系。强调综合PNT需要大量基础设施投入与建设,而微PNT侧重高技术传感器的集成应用。与现有文献思路不同的是,我们认为,为了实现各类传感器PNT输出结果的坐标基准统一和时间尺度一致,微PNT应包含多模GNSS和芯片级惯性导航和芯片级原子钟等定位定时组件,微PNT强调小型化、个性化、组合化服务终端;微PNT除各PNT组件的小型化外,还包括各组件的深度集成,各类数据的自适应融合和各组件的自主标校;当然,微PNT也强调各传感器信息的时空基准的统一。 展开更多
关键词 定位导航授时 微型惯导组件 芯片级原子钟 传感器集成 数据融合 综合PNT
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基于原子力显微镜的微悬臂传感器测定溶菌酶 被引量:5
19
作者 王赪胤 王德艳 +1 位作者 汪国秀 胡效亚 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1771-1775,共5页
提出了一种基于原子力显微镜AFM技术的微悬臂检测溶菌酶的新型传感器技术。通过利用AFM激光束对溶菌酶吸附前后的微悬臂形变程度进行检测,研究了溶菌酶在正十二硫醇修饰微悬臂上的吸附。在最佳条件下,溶菌酶浓度在0.01~100μg/L范围内... 提出了一种基于原子力显微镜AFM技术的微悬臂检测溶菌酶的新型传感器技术。通过利用AFM激光束对溶菌酶吸附前后的微悬臂形变程度进行检测,研究了溶菌酶在正十二硫醇修饰微悬臂上的吸附。在最佳条件下,溶菌酶浓度在0.01~100μg/L范围内,其浓度的对数值与微悬臂偏转值呈良好的线性关系,相关系数达到0.998;检出限5.0ng/L。将该法用于药物制剂中溶菌酶含量的测定,获得了满意的结果。 展开更多
关键词 原子力显微镜 微悬臂 传感器技术 含量的测定 溶菌酶 atomIC Force MICROSCOPY 正十二硫醇 最佳条件 药物制剂 相关系数 线性关系 酶吸附 酶浓度 检测 检出限 激光束 AFM 形变 数值 结果
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原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究 被引量:2
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作者 薛实福 徐毓娴 +3 位作者 李庆祥 王晓晔 刘永生 于水 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1997年第2期43-49,共7页
分析了现有的AFM力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用KOH溶液两步法P+自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁;以SiO2为掩模,SF6刻蚀硅,用RIE与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿... 分析了现有的AFM力传感器的工艺特点及问题。在此基础上研究用KOH溶液两步法P+自停止腐蚀制作厚度精确可控的单晶硅悬臂梁;以SiO2为掩模,SF6刻蚀硅,用RIE与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针,针尖半径约50nm。制定了适于批量生产的AFM力传感器加工工艺。 展开更多
关键词 微机械加工 原子力 显微镜 力传感器
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