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题名基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计
被引量：6
- 1
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作者
刘民杰
刘云峰
董景新
赵常德
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机构
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2010年第2期236-239,共4页
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基金
国家十一五预研基金资助项目(51308050208)
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文摘
介绍了通用电容读取芯片MS3110的内部结构、基本原理及其使用方法,提出了采用单片机实现片内EEPROM编程的方法,并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,基于MS3110通用电容读取芯片设计了一种MEMS力平衡闭环加速度计。实验结果表明:设计的MEMS加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。
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关键词
MEMS加速度计
通用电容读取芯片
ms3110
闭环系统
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Keywords
MEMS accelerometer
universal capacitive readout IC （UCR IC）
ms3110
closed-loop system
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名基于MS3110的微小电容读取电路设计
被引量：1
- 2
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作者
李文涛
李少帅
李忠虎
岳晓鸽
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机构
内蒙古科技大学信息工程学院
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出处
《微型机与应用》
2012年第8期22-24,共3页
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基金
强噪声背景下微弱信号检测与提取技术研究(2011MS0917)
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文摘
MS3110具有良好的微电容测量性能,可以满足电容法在气/固两相流测量中的应用。提供一种基于通用电容读取芯片MS3110的微小电容读取电路,并对MS3110的可编程参数设置做详细介绍。电路设计中使用89S52单片机对MS3110芯片进行编程控制和数据读取,最终实现对静态电容和动态电容的测量,并通过串口传输至上位机实时显示。
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关键词
电容传感器
微小电容测量
ms3110
气/固两相流
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Keywords
capacitance sensor
micro capacitance measurement
ms3110IC
gas ＆ solid two-phase flow
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于MS3110的微电容读出电路设计
被引量：1
- 3
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作者
郑雨薇
朱蕴璞
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机构
南京理工大学机械工程学院
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出处
《机械制造与自动化》
2017年第2期174-176,共3页
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文摘
电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究,了解其使用性能和参数设置方法,在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口,实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明,设计的基于MS3110的微电容读出电路有良好的稳定性和线性度。
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关键词
微电容读出电路
ms3110
ADS1255
AVR单片机
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Keywords
micro-capacitor readout circuit
ms3110
ADS 1255
AVR
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分类号
TN451
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名微机械电容式加速度计的结构及检测技术研究
被引量：5
- 4
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作者
凌灵
陈文元
李凯
姜晓波
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第8期3-4,12,共3页
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基金
武器装备预研基金(9140A09020706JW0314)
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文摘
三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性,严重的将导致不能正常工作,通常的检测方法难以检测到该缺陷。设计了一种具有自检功能的微加速度计,能够方便的通过外部电路对自身结构进行对称性检测。采用MS3110芯片对设计加工的微加速度计进行测试,测试前使用单片机将程序写入该芯片,调节其内部参数,使之工作在良好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明加工出的微加速度计具有较好的对称性。
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关键词
微加速度计
单片机
ms3110
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Keywords
micro-accelerometer
single-chip microcomputer
ms3110
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分类号
TP212.9
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名小型电容式倾角测量仪系统设计
被引量：5
- 5
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作者
张浩
王宏伟
郝少华
陈培敏
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机构
北京信息科技大学理学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第11期90-91,95,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(6177012322)
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文摘
基于弹性优良的铍青铜材料制作了一种具有双梁三明治式电容倾角传感器,并采用专用电容检测芯片MS3110将倾角传感器的差分电容信号转换为电压信号,同时通过微控制器STM32的控制芯片检测参数实现对传感器非线性的补偿,使倾角测量仪系统具有良好的线性度;通过模数转换器(ADC)采集和转换将数据显示在屏幕上。实验证明:设计的电容式倾角测量仪系统具有测量范围广、稳定性高、线性度好的特点。
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关键词
电容式倾角传感器
ms3110芯片
STM32芯片
倾角测量仪
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Keywords
capacitive tilt sensor
ms3110 chip
STM32 chip
inclination measuring instrument
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于电容检测芯片的电容检测系统设计
被引量：10
- 6
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作者
张小勇
陈颖鸣
郭禹姬
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机构
中北大学信息与通信工程学院
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出处
《单片机与嵌入式系统应用》
2010年第6期35-37,共3页
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文摘
针对电容式传感器研发过程中缺乏有效的微小电容检测仪器的问题,设计了一种基于电容检测芯片MS3110的电容式传感器检测系统,给出了系统的硬件设计以及单片机和上位机部分的软件设计,并对系统的检测精度进行了测试。结果证明,该系统具有较高的检测精度。
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关键词
电容式传感器
检测
ms3110
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Keywords
capacitive sensor
detection
ms3110
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分类号
TM934.2
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名一种高精度粮食水分测量传感器电路设计
被引量：3
- 7
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作者
可飞龙
汪毓铎
李茜
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机构
北京信息科技大学信息与通信工程学院
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出处
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》
2018年第4期77-81,共5页
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基金
研究生科技创新项目(5111624111)
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文摘
针对目前粮食水分测量精度较低的问题,根据介电常数模型分析了在交变电场下介电常数的损耗特性与电容特性、介电常数与电场变化频率的关系,设计了在确定频率的激励下将待测粮食水分转化为电容值的介电常数型的平行板电容传感器。提出了基于MS3110集成粮食水分测量电路的设计方法。相比于传统的基于交流电桥平衡原理搭建的测试电路,该系统电路具有高稳定性、集成度高、可编程控制等优点。实验表明该传感器电路测得的粮食含水量更精确。
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关键词
粮食水分测量
电容传感器
高精度
ms3110
交流电桥
-
Keywords
grain moisture measurement
capacitive sensor
high-precision
ms3110
AC Bridge
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分类号
TP212.9
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
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题名一种高精度粮食水分测量传感器电路设计
被引量：1
- 8
-
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作者
可飞龙
汪毓铎
李茜
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机构
北京信息科技大学信息与通信工程学院
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出处
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》
2018年第5期71-75,共5页
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基金
研究生科技创新项目(5111624111)
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文摘
针对目前粮食水分测量精度较低的问题,根据介电常数模型分析了在交变电场下介电常数的损耗特性与电容特性、介电常数与电场变化频率的关系,设计了在确定频率的激励下将待测粮食水分转化为电容值的介电常数型的平行板电容传感器。提出了基于MS3110集成粮食水分测量电路的设计方法。相比于传统的基于交流电桥平衡原理搭建的测试电路,该系统电路具有高稳定性、集成度高、可编程控制等优点。实验表明该传感器电路测得的粮食含水量更精确。
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关键词
粮食水分测量
电容传感器
高精度
ms3110
交流电桥
-
Keywords
grain moisture measurement
capacitive sensor
high-precision
ms3110
AC bridge
-
分类号
TP212.9
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
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题名微电容阵列检测系统的设计
被引量：1
- 9
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作者
葛维冬
许德章
何慧娟
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机构
安徽工程大学先进数控和伺服驱动技术安徽省重点实验室
安徽工程大学机器人产业技术研究院
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出处
《新乡学院学报》
2015年第3期45-49,53,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(51175001)
安徽省高校省级自然科学研究项目(TSKJ2014B12)
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文摘
通过实验分析了电容读取芯片MS3110P各项性能指标,并设计了一款能自适应匹配模拟开关产生的电荷注入效应的P控制器;开发出一款具有单电容阵列测量模式和差分电容阵列测量模式的微电容阵列检测电路,并探讨了其寄生电容产生的原因。测试结果表明,该检测电路克服了各种寄生电容对传感器的影响,提高了测量精度,能够应用于MEMS触觉传感器微电容阵列的测量。
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关键词
微电容阵列
触觉传感器
寄生电容
ms3110P
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Keywords
micro-capacitor array
tactile sensor
parasitic capacitance
ms3110P
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名电容式加速度计结构与检测电路的研究
- 10
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作者
赵军荣
戴丽霞
刘双峰
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《电子测试》
2010年第10期88-92,共5页
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文摘
提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接口电路中,采用MS3110芯片对设计加工的电容式加速度计进行测试,通过单片机写入程序来控制该芯片,调节内部各参数,使MS3110工作在线性度和灵敏度最佳状态。实验结果表明,此接口电路具有很高的稳定性、灵敏度和线性度。该测量电路主要包括硬件设计和软件设计。该电路能够高精度测量微小电容,有很好的应用前景。
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关键词
电容加速度计
水银
单片机
ms3110
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Keywords
capacitive accelerometer
mercury
single-chip microcomputer
ms3110
-
分类号
TH824.4
[机械工程—精密仪器及机械]
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