期刊文献+
共找到115篇文章
< 1 2 6 >
每页显示 20 50 100
CVD SiC致密表面涂层制备及表征 被引量:15
1
作者 刘荣军 张长瑞 +2 位作者 周新贵 曹英斌 刘晓阳 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期3-6,共4页
考察了沉积温度、稀释气体流量对化学气相沉积(CVD)SiC涂层的显微结构及晶体结构的影响,分析得出:沉积温度为1100℃,稀释气体Ar流量<400mL/min时,制备的SiC涂层晶体结构完整、致密。在该制备工艺条件下沉积的SiC涂层密度为3.204g/cm3... 考察了沉积温度、稀释气体流量对化学气相沉积(CVD)SiC涂层的显微结构及晶体结构的影响,分析得出:沉积温度为1100℃,稀释气体Ar流量<400mL/min时,制备的SiC涂层晶体结构完整、致密。在该制备工艺条件下沉积的SiC涂层密度为3.204g/cm3,显微硬度为HV4459.2,弹性模量为471GPa,涂层具有优异的光学加工性能,光学加工后表面粗糙度为0.429nm,能满足光学应用的要求。 展开更多
关键词 化学气相沉积 sic涂层 制备工艺 性能表征
在线阅读 下载PDF
MTS/H_2体系CVD SiC的气相分析 被引量:6
2
作者 卢翠英 成来飞 +1 位作者 赵春年 张立同 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期845-850,共6页
采用CG/MS定性定量分析了MTS/H_2体系CVD SiC的气相组成,考察了沉积温度、总压和流量对气相组成的影响,从反应速率和分子浓度大小的角度出发,分析了MTS在H_2中的分解步骤.主要结论如下:(1)检测到CH_4、C_2H_6、C_2H_4、C_3H_6、C_2H_2、... 采用CG/MS定性定量分析了MTS/H_2体系CVD SiC的气相组成,考察了沉积温度、总压和流量对气相组成的影响,从反应速率和分子浓度大小的角度出发,分析了MTS在H_2中的分解步骤.主要结论如下:(1)检测到CH_4、C_2H_6、C_2H_4、C_3H_6、C_2H_2、MTS、SiCl_4和CH_3SiHCl_2物质,其中CH_4和SiCl_4的含量较高.(2)体系温度、总压和总流量对气相组成有显著影响,其影响规律与热力分析结果一致.(3)MTS主要以Si-C键断裂引发分解反应,经历与原反应气反应、中间物质和副产物生成等主要阶段,CH_3→C_2H_6→C_2H_4→C_2H_2是生成烷烃化合物的主要路径. 展开更多
关键词 GC/MS 气相分析 cvd sic MTS/H_2
在线阅读 下载PDF
石墨表面CVD SiC涂层微观结构研究 被引量:8
3
作者 黄浩 陈大明 +1 位作者 仝建峰 李宝伟 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2008年第2期50-54,共5页
研究CH3SiCl3-H2-Ar体系中在石墨表面化学气相沉积SiC涂层工艺,并对涂层形貌进行SEM分析。考察沉积温度、气体比例、气体流量以及稀释气体含量对化学气相沉积SiC涂层的显微结构的影响。结果表明,在温度1100℃,H2∶MTS=5∶3,气体流量8L/m... 研究CH3SiCl3-H2-Ar体系中在石墨表面化学气相沉积SiC涂层工艺,并对涂层形貌进行SEM分析。考察沉积温度、气体比例、气体流量以及稀释气体含量对化学气相沉积SiC涂层的显微结构的影响。结果表明,在温度1100℃,H2∶MTS=5∶3,气体流量8L/min,稀释气体1L/min时,制备的涂层致密光滑。其中涂层的形貌对温度最敏感,当沉积温度达到1100℃时,CVD SiC涂层表面致密且光滑。 展开更多
关键词 化学气相沉积 sic涂层
在线阅读 下载PDF
CVD SiC涂层的C/SiC复合材料的弯曲性能 被引量:3
4
作者 闫志巧 熊翔 +3 位作者 肖鹏 姜四洲 谢建伟 黄伯云 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1207-1212,共6页
以针刺整体毡为预制体制备C/SiC复合材料,在材料表面制备CVDSiC涂层,研究涂层试样氧化前、后的微观结构和室温弯曲性能。研究结果表明:CVDSiC涂层由球形颗粒熔聚体、裸露裂纹和附着裂纹组成,于1400℃氧化时附着裂纹发生愈合;C/SiC试样... 以针刺整体毡为预制体制备C/SiC复合材料,在材料表面制备CVDSiC涂层,研究涂层试样氧化前、后的微观结构和室温弯曲性能。研究结果表明:CVDSiC涂层由球形颗粒熔聚体、裸露裂纹和附着裂纹组成,于1400℃氧化时附着裂纹发生愈合;C/SiC试样的弯曲强度为119.9MPa,涂层试样及其分别经1000,1200和1400℃连续氧化5h后,弯曲强度分别为188.5,41.0,60.7和104.5MPa;随氧化温度的升高,SiC涂层的保护作用增强是残留弯曲强度提高的根本原因;C/SiC试样、涂层试样和经1200和1400℃氧化的试样均表现为分层断裂,纤维束边缘区域炭的适度氧化弱化了纤维/热解炭界面,使氧化试样表现出明显的假塑性;经1000℃氧化的涂层试样,由于纤维束的严重氧化,表现为脆性断裂特征。 展开更多
关键词 C/sic复合材料 cvd sic 弯曲性能 氧化 界面
在线阅读 下载PDF
气体流量及配比对CVD SiC膜层的影响 被引量:6
5
作者 霍艳丽 陈玉峰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期255-258,共4页
本文以甲基三氯硅烷(MTS)为先驱体原料,H2为载气,采用化学气相沉积工艺在反应烧结碳化硅表面制备SiC致密膜层。研究了不同反应气体流量及配比对CVD碳化硅膜层的影响。结果表明:反应气体的流量对膜层的表面形貌影响较大,较大的气流量容... 本文以甲基三氯硅烷(MTS)为先驱体原料,H2为载气,采用化学气相沉积工艺在反应烧结碳化硅表面制备SiC致密膜层。研究了不同反应气体流量及配比对CVD碳化硅膜层的影响。结果表明:反应气体的流量对膜层的表面形貌影响较大,较大的气流量容易使膜层剥落;减小反应气体流量有利于改善膜层的均匀性。H2/MTS比例影响沉积SiC膜层的相组成。当沉积温度为1200℃,H2/MTS比例为6∶1时,得到的膜层由SiC和C两相组成;当H2/MTS比例为12∶1时,膜层由SiC和Si两相组成;当H2/MTS比例为10∶1时,得到单一相的SiC膜层。在优化的工艺参数下,制备出致密的CVD膜层,经过光学加工后膜层的表面粗糙度为0.72 nm,平面度RMS为0.015λ(λ=0.6328μm)。 展开更多
关键词 cvd sic膜层 流量 气体配比
在线阅读 下载PDF
CVD SiC涂层的致密化工艺研究 被引量:5
6
作者 刘晓阳 张长瑞 周新贵 《新技术新工艺》 北大核心 2002年第12期38-40,共3页
研究了复合材料表面 CVD Si C涂层的制备工艺 ,并对涂层的表面致密化性能进行分析。在不同的工艺条件下制备 Si C涂层 ,探讨了温度、载气流速、时间等因素对涂层的影响。利用扫描电镜和 X-射线衍射仪 ,对涂层晶型进行分析 ,讨论不同条件... 研究了复合材料表面 CVD Si C涂层的制备工艺 ,并对涂层的表面致密化性能进行分析。在不同的工艺条件下制备 Si C涂层 ,探讨了温度、载气流速、时间等因素对涂层的影响。利用扫描电镜和 X-射线衍射仪 ,对涂层晶型进行分析 ,讨论不同条件下 Si C的结晶形态 ,从而得出制备致密涂层的较好工艺。 展开更多
关键词 cvd 复合材料 碳化硅涂层
在线阅读 下载PDF
SiC纤维表面CVD SiC涂层对其单丝强度的影响 被引量:1
7
作者 于海蛟 周新贵 +2 位作者 黄伯云 羊建高 黄泽兰 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期33-36,共4页
采用化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)工艺在KD-I型SiC纤维表面制备了SiC涂层,选择2h、4h、6h和8h四个时间点研究了沉积时间对纤维性能的影响。结果表明:具有CVD SiC涂层的SiC纤维较无涂层的纤维来说强度有所下降;在所研究... 采用化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)工艺在KD-I型SiC纤维表面制备了SiC涂层,选择2h、4h、6h和8h四个时间点研究了沉积时间对纤维性能的影响。结果表明:具有CVD SiC涂层的SiC纤维较无涂层的纤维来说强度有所下降;在所研究的沉积时间范围内,随着沉积时间的增加,涂层的厚度有所增加,涂层由不连续的岛状转变为连续层状,纤维的单丝强度出现了先升后降的趋势。 展开更多
关键词 化学气相沉积 碳化硅纤维 纤维涂层
在线阅读 下载PDF
碳纤维CVD SiC涂层对C/SiC复合材料力学性能的影响 被引量:4
8
作者 周新贵 游宇 +2 位作者 于海蛟 羊建高 黄泽兰 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A01期32-35,共4页
采用CVD+PIP工艺制备了SiC涂层碳纤维增强SiC复合材料(C/SiC),研究了碳纤维表面CVD SiC涂层的形貌以及涂层对C/SiC复合材料力学性能的影响。结果表明:CVD SiC涂层处理可以填补纤维表面上的沟槽和缺陷,使纤维表面变得光滑,从而使C/SiC复... 采用CVD+PIP工艺制备了SiC涂层碳纤维增强SiC复合材料(C/SiC),研究了碳纤维表面CVD SiC涂层的形貌以及涂层对C/SiC复合材料力学性能的影响。结果表明:CVD SiC涂层处理可以填补纤维表面上的沟槽和缺陷,使纤维表面变得光滑,从而使C/SiC复合材料的力学性能有很大提高,碳纤维经过CVD SiC 1 h涂层处理的C/SiC复合材料的力学性能最好,弯曲强度达到511.5 MPa,断裂韧性达到20.8 MPa·m^(1/2)。 展开更多
关键词 化学气相渗透 先驱体浸渍裂解 碳化硅 复合材料 力学性能
在线阅读 下载PDF
Damage behavior of atomic oxygen on CVD SiC coating-modified carbon/carbon composite in low earth orbit environment 被引量:1
9
作者 Guanghai Liu Laifei Cheng +1 位作者 Xingang Luan Jiaxin Zhang 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第12期2957-2965,共9页
In this work, samples of carbon/carbon(C/C) and chemical vapor deposited(CVD) SiC-coated C/C samples were investigated to understand the AO damage mechanism in low Earth orbit(LEO) environment. The ground-based simula... In this work, samples of carbon/carbon(C/C) and chemical vapor deposited(CVD) SiC-coated C/C samples were investigated to understand the AO damage mechanism in low Earth orbit(LEO) environment. The ground-based simulated atomic oxygen(AO) generator was employed. Results indicate that the CVD SiC coating exhibited improved radiation resistance properties against AO radiation as evidenced by a 16%better strength retention ratio, 60% less mass ablation, and increased strength stability. The magnitude of these influences affected the surface morphology, as observed by scanning electron microscopy(SEM)and surface resistance meter test results. The variations in the surface constituents were confirmed by X-ray diffraction(XRD) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) results. The main products left on surface after AO exposure are SiO2 and SiCxOyfilm. Additionally, Si atoms are found to be the preferential reacting element in the SiC coating, and this process is accompanied by graphite precipitation, grain growth, and crack necking. Also, the damage mechanism of the AO-exposed SiC coating was revealed and is discussed. 展开更多
关键词 CARBON/CARBON cvd sic coating Low earth orbit Atomic oxygen EXPOSURE STRESS
原文传递
水平热壁式CVD SiC外延均匀性研究 被引量:2
10
作者 李哲洋 李赟 +3 位作者 董逊 柏松 陈刚 陈辰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期269-272,共4页
研究了水平热壁式CVD(hot-wall CVD)4H-SiC同质外延生长,通过优化载气H2的流量获得低于1%(最好值为0.09%)的外延厚度均匀性(σ/mean),碳硅比(C/Si)的改变对外延材料载流子浓度均匀性的分布有重要影响,通过优化C/Si比,获得低于7%(最好值... 研究了水平热壁式CVD(hot-wall CVD)4H-SiC同质外延生长,通过优化载气H2的流量获得低于1%(最好值为0.09%)的外延厚度均匀性(σ/mean),碳硅比(C/Si)的改变对外延材料载流子浓度均匀性的分布有重要影响,通过优化C/Si比,获得低于7%(最好值为4.37%)的载流子浓度均匀性。但当C/Si比大于1.9时,外延片表面形貌会出现退化。 展开更多
关键词 4H-sic 水平热壁式cvd 碳硅比 均匀性
在线阅读 下载PDF
微波助燃Ni-Al高温自蔓延连接CVD SiC 被引量:1
11
作者 韩绍华 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1752-1757,共6页
采用高放热反应且摩尔比为1∶1的镍-铝二元系作为焊料,利用微波引燃的方法使体系以内部加热的方式迅速升温到燃烧温度并发生自蔓延高温合成反应,最终实现化学气相沉积碳化硅陶瓷(CVD SiC)的连接,研究不同反应产物对连接强度的影响规律... 采用高放热反应且摩尔比为1∶1的镍-铝二元系作为焊料,利用微波引燃的方法使体系以内部加热的方式迅速升温到燃烧温度并发生自蔓延高温合成反应,最终实现化学气相沉积碳化硅陶瓷(CVD SiC)的连接,研究不同反应产物对连接强度的影响规律。研究表明:反应层平均厚度约300μm,反应产物与碳化硅基体之间的界面结合良好,但接头内存在着大量气孔,致密度较低。母材与中间层产物的热错配应力问题使接头界面处存在大量微裂纹。由于自蔓延连接的复杂性与高度不平衡性使反应产物较难控制,接头断面的XRD结果表明不同接头中生成了不同相的镍-铝系金属间化合物以及氧化物,但均未检测到残余单质Ni或Al。氧化物的出现会极大影响接头的剪切强度,导致试样接头强度的数值偏差较大。 展开更多
关键词 镍-铝系焊料 cvd碳化硅 微波助燃自蔓延连接 微观结构 连接强度
在线阅读 下载PDF
沉积温度和碳纳米管对CVD SiC涂层微观形貌的影响 被引量:2
12
作者 张翔 李军 +1 位作者 廖寄乔 谭周建 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2010年第5期511-515,共5页
以三氯甲基硅烷(CH3SiCl3)为前驱体,采用化学气相沉积法(Chemical vapor deposition,CVD),在原位生长有碳纳米管(Carbon nanotubes,CNTs)的C/C复合材料表面制备SiC涂层。用扫描电镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS)观察和分析涂层微... 以三氯甲基硅烷(CH3SiCl3)为前驱体,采用化学气相沉积法(Chemical vapor deposition,CVD),在原位生长有碳纳米管(Carbon nanotubes,CNTs)的C/C复合材料表面制备SiC涂层。用扫描电镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS)观察和分析涂层微观形貌及成份。研究沉积温度(1 000~1 150℃)对SiC涂层的表面、截面以及SiC颗粒的微观形貌的影响。结果表明:在1 000℃下反应时,得到晶须状SiC;沉积温度为1 050℃时涂层平整、致密;沉积温度提高到1 100℃时,涂层粗糙,致密度下降;1 150℃下形成类似岛状组织,SiC颗粒团聚长大,涂层粗糙,并有很多裂纹和孔洞,致密度低。对涂层成份和断口形貌研究表明,基体和涂层之间有1个过渡区,SiC涂层和基体之间结合良好。 展开更多
关键词 炭/炭复合材料 CNT-sic复合涂层 碳纳米管 cvd
在线阅读 下载PDF
AlN/S i(100)上CVD SiC薄膜的光致发光谱 被引量:2
13
作者 秦臻 韩平 +13 位作者 韩甜甜 鄢波 李志兵 谢自力 朱顺明 符凯 刘成祥 王荣华 李云菲 S.Xu N.Jiang 顾书林 张荣 郑有炓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期1126-1131,共6页
本工作用化学气相淀积方法在A lN/S i(100)复合衬底上生长S iC薄膜。外延生长过程中,采用C4H4和S iH4作为反应气源,H2作为载气。样品的X-射线衍射谱和拉曼散射谱显示,所得到的外延层为六角对称的S iC薄膜。俄歇电子能谱及X-射线光电子... 本工作用化学气相淀积方法在A lN/S i(100)复合衬底上生长S iC薄膜。外延生长过程中,采用C4H4和S iH4作为反应气源,H2作为载气。样品的X-射线衍射谱和拉曼散射谱显示,所得到的外延层为六角对称的S iC薄膜。俄歇电子能谱及X-射线光电子能谱的测量结果表明,在外延膜中存在来自衬底的A l和N元素。样品的光致发光测量显示,所有的样品均可在室温下观察到位于3.03 eV和3.17 eV处的发光峰,这分别相应于4H-S iC能带中电子从导带到A l受主能级之间的辐射跃迁和电子从N施主能级到价带之间的辐射跃迁,从而表明所得的外延薄膜的多形体为4H-S iC。 展开更多
关键词 cvd 4H—sic 光致发光
在线阅读 下载PDF
反应物浓度诱导CVD SiC结构的转变 被引量:1
14
作者 黄东 王昊 +5 位作者 何雨恬 王秀连 刘桦 邓畅光 林松盛 张明瑜 《材料研究与应用》 CAS 2019年第2期90-95,共6页
利用低密度的C/C复合材料为沉积基体,通过化学气相沉积法制备气相生长SiC,分析并研究了不同沉积位置和反应物浓度下气相生长SiC的微观形貌和物相组成.结果表明,随着反应物气体浓度的降低,多孔C/C复合材料基体上气相生长的SiC的微观结构... 利用低密度的C/C复合材料为沉积基体,通过化学气相沉积法制备气相生长SiC,分析并研究了不同沉积位置和反应物浓度下气相生长SiC的微观形貌和物相组成.结果表明,随着反应物气体浓度的降低,多孔C/C复合材料基体上气相生长的SiC的微观结构呈区域性变化,SiC薄膜依次向SiC薄膜和颗粒、SiC短棒、SiC纳米线转变.探讨了不同反应物浓度气氛中过饱和度诱导原子迁移和气相分子吸附的过程,并提出一个SiC的生长模型. 展开更多
关键词 cvd sic 微观结构
在线阅读 下载PDF
不同碳基体CVD SiC涂层的制备及其微观结构研究
15
作者 王昊 黄东 +3 位作者 何雨恬 王秀连 邓畅光 林松盛 《材料研究与应用》 CAS 2019年第1期15-21,共7页
分别以高纯石墨、细颗粒石墨及低密度的C/C复合材料为基体,以MTS为SiC的先驱体原料,采用化学气相沉积工艺制备SiC涂层.通过扫描电镜(SEM)观察CVDSiC涂层的微观形貌,利用X射线衍射仪(XRD)分析其晶体结构.研究发现,在不同沉积基体上沉积的... 分别以高纯石墨、细颗粒石墨及低密度的C/C复合材料为基体,以MTS为SiC的先驱体原料,采用化学气相沉积工艺制备SiC涂层.通过扫描电镜(SEM)观察CVDSiC涂层的微观形貌,利用X射线衍射仪(XRD)分析其晶体结构.研究发现,在不同沉积基体上沉积的SiC晶体形貌不同.以高纯石墨为基体的试样表面基本不存在SiC晶须的生长特征;以细颗粒石墨为基体的试样的表面发现了SiC晶须的生长特征,且基体内部的SiC晶体具有一定的CVI特征,即靠近基体内部沉积的SiC晶体逐渐由SiC晶须变为SiC纳米线;以C/C复合材料为基体的试样内部和表面沉积的SiC晶体表现出多元化的形貌,以层状SiC晶体和SiC晶须为主,主要是由基体材料微观结构的多元化而导致沉积的微区气氛有所不同造成的. 展开更多
关键词 cvd sic 微观结构 sic晶须
在线阅读 下载PDF
沉积条件对CVD-SiC涂层组织形貌和抗氧化性能的影响
16
作者 柴宇新 《当代化工研究》 2025年第23期52-54,共3页
聚焦沉积条件对化学气相沉积碳化硅(Chemical Vapor Deposition-Silicon Carbide,CVD-SiC)涂层组织形貌及抗氧化性能的影响规律。采用化学气相沉积法在石墨基体表面制备碳化硅涂层,通过调控基体与进气嘴距离及沉积压力,结合微观结构分... 聚焦沉积条件对化学气相沉积碳化硅(Chemical Vapor Deposition-Silicon Carbide,CVD-SiC)涂层组织形貌及抗氧化性能的影响规律。采用化学气相沉积法在石墨基体表面制备碳化硅涂层,通过调控基体与进气嘴距离及沉积压力,结合微观结构分析与高温氧化测试开展研究。结果表明:基体位置可以影响气相环境从而改变碳化硅晶粒择优取向,基体与进气嘴中等间距时涂层呈现致密砂砾状形貌,距离过近涂层呈现疏松形貌且内部有小孔,距离过远涂层富碳内部有黑点;沉积压力升高会弱化晶粒择优生长并引入孔隙等缺陷,低压下涂层缺陷少晶粒更细更均匀。涂层抗氧化性能与微观缺陷密切相关,气孔、界面分界和分层会加速氧化失效。通过优化工艺参数(基体中等间距、低压的沉积工艺),可制备出组织致密、高温抗氧化性能优异的SiC涂层。 展开更多
关键词 沉积条件 cvd-sic涂层 组织形貌 抗氧化性能
在线阅读 下载PDF
激光CVD法制备3C-SiC薄膜的结构调控及性能研究
17
作者 柴宇新 《聚酯工业》 2025年第6期1-3,共3页
本文通过运用激光化学气相沉积技术在硅衬底上生长3C-SiC薄膜,深入研究工艺参数对3C-SiC薄膜微观结构的影响规律。通过精准控制工艺参数可成功制备出不同结构的3C-SiC多晶薄膜,不同结构的3C-SiC薄膜在电学和电化学性能方面呈现出明显的... 本文通过运用激光化学气相沉积技术在硅衬底上生长3C-SiC薄膜,深入研究工艺参数对3C-SiC薄膜微观结构的影响规律。通过精准控制工艺参数可成功制备出不同结构的3C-SiC多晶薄膜,不同结构的3C-SiC薄膜在电学和电化学性能方面呈现出明显的性能差异。本文为3C-SiC薄膜在高温、高频、大功率电子器件以及新能源材料领域中的实际应用提供了关键的理论依据与技术支撑。 展开更多
关键词 激光cvd 3C-sic薄膜 结构调控 半导体器件
在线阅读 下载PDF
CVD-SiC界面改性涂层对气相渗硅制备C_f/SiC复合材料力学性能的影响 被引量:7
18
作者 刘荣军 曹英斌 +2 位作者 杨会永 严春雷 龙宪海 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期37-43,共7页
在气相渗硅制备C_f/SiC复合材料时,界面改性涂层非常重要。良好的界面改性涂层一方面起到保护碳纤维不受Si反应侵蚀的作用,另一方面起到调节纤维和基体界面结合状况。通过在C纤维表面制备CVD-SiC涂层来进行界面改性,研究CVD-SiC界面改... 在气相渗硅制备C_f/SiC复合材料时,界面改性涂层非常重要。良好的界面改性涂层一方面起到保护碳纤维不受Si反应侵蚀的作用,另一方面起到调节纤维和基体界面结合状况。通过在C纤维表面制备CVD-SiC涂层来进行界面改性,研究CVD-SiC界面改性涂层对GSI C_f/SiC复合材料力学性能和断裂特征的影响,并分析其影响机制。结果表明:无CVD-SiC涂层改性的C_f/SiC复合材料力学性能较差,呈现脆性断裂特征,其强度、模量和断裂韧度分别为87.6MPa,56.9GPa,2.1MPa·m1/2。随着CVD-SiC涂层厚度的增加,C_f/SiC复合材料的弯曲强度、模量和断裂韧度呈现先升高后降低的趋势,CVD-SiC涂层厚度为1.1μm的C_f/SiC复合材料的力学性能最好,其弯曲强度、模量和断裂韧度分别为231.7MPa,87.3GPa,7.3MPa·m1/2。厚度适中的CVD-SiC界面改性涂层的作用机理主要体现在载荷传递、"阻挡"Si的侵蚀、"调节"界面结合状态3个方面。 展开更多
关键词 cvd sic 界面改性涂层 气相渗硅 CF/sic复合材料 力学性能
在线阅读 下载PDF
CVD法水蒸气条件下制备SiC块体 被引量:4
19
作者 焦桓 周万城 李翔 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期12-14,18,共4页
以三氯甲基硅烷 (MTS)为原料 ,在无水蒸气和有水蒸气加入的条件下采用化学气相沉积 (CVD)法制备出Si C块体材料。在 95 0~ 12 0 0℃的范围内 ,水蒸气在水温 2 0~ 80℃时由 Ar鼓泡引入反应器中进行沉积 ,得到的产物基本属 β- Si C,其... 以三氯甲基硅烷 (MTS)为原料 ,在无水蒸气和有水蒸气加入的条件下采用化学气相沉积 (CVD)法制备出Si C块体材料。在 95 0~ 12 0 0℃的范围内 ,水蒸气在水温 2 0~ 80℃时由 Ar鼓泡引入反应器中进行沉积 ,得到的产物基本属 β- Si C,其中混有少量的二氧化硅。结果表明 ,无水蒸气时 Si C的沉积速率随沉积温度升高而略有升高 ;通入水蒸气后 Si C的沉积速率有所提高 ,当水蒸气的引入温度为 2 0℃、沉积温度为 10 5 0℃时 ,沉积速率最大达到 0 .9mm/h;随水蒸气引入量的增加 ,Si C的沉积速率呈降低趋势。对沉积反应的机理进行了初步分析。 展开更多
关键词 cvd 水蒸气 碳化硅块体材料 制备 沉积速率
在线阅读 下载PDF
电化学处理后CVD法SiC纤维阻抗特性及电阻率测量 被引量:2
20
作者 罗鲲 石南林 +2 位作者 段亚丁 祖亚培 史志明 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期45-48,共4页
采用交流阻抗法在 50Hz~ 50 0 0 0Hz范围内测量了电化学处理前后的CVD法SiC纤维样品 ,确定其具有电阻阻抗特征。通过模拟电路分析推导出计算纤维平均体电阻率及表面层电阻率的方法 ,并计算出SiC纤维表面氧化层的电阻率为 5× 1 0 4... 采用交流阻抗法在 50Hz~ 50 0 0 0Hz范围内测量了电化学处理前后的CVD法SiC纤维样品 ,确定其具有电阻阻抗特征。通过模拟电路分析推导出计算纤维平均体电阻率及表面层电阻率的方法 ,并计算出SiC纤维表面氧化层的电阻率为 5× 1 0 4 Ω·m左右。 展开更多
关键词 cvd sic纤维 电阻抗特性 电阻率 测量 电化学处理 碳化硅纤维
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 6 下一页 到第
使用帮助 返回顶部