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电感耦合等离子体质谱法测定电子级丙二醇甲醚醋酸酯中痕量金属杂质含量
1
作者 杨丹 李运泉 +3 位作者 梁泱泱 黄华佑 唐杏莉 欧阳景臻 《广州化工》 2025年第18期82-85,101,共5页
准确测定电子级丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)的金属杂质含量,可作为其用于芯片及硅圆片表面的清洗过程的品控支持。利用全基体进样系统(AMS)实现有机加氧,通过电感耦合等离子体质谱法测定电子级PGMEA中的30种痕量金属杂质含量,结果表明:AMS... 准确测定电子级丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)的金属杂质含量,可作为其用于芯片及硅圆片表面的清洗过程的品控支持。利用全基体进样系统(AMS)实现有机加氧,通过电感耦合等离子体质谱法测定电子级PGMEA中的30种痕量金属杂质含量,结果表明:AMS加氧避免了有机碳沉积,标准模式(STD)-动态反应池模式(DRC)减少或消除质谱干扰;测得方法检出限为0.09~4.10μg/kg(B除外),定量限为0.30~13.66μg/kg(B除外),加标回收率为91.98%~106.69%,相对标准偏差(RSD)≤6.9%,可用于检测电子级丙二醇甲醚醋酸酯的痕量金属杂质。 展开更多
关键词 电子级丙二醇甲醚醋酸酯 痕量金属杂质 电感耦合等离子体质谱 标准加入法
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一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用 被引量：11
2
作者 郑学根 邱晓生 汪道明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期20-23,共4页
通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析和MOS电容测量三个方面进行了应用实验。结果表明,以超净高纯... 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析和MOS电容测量三个方面进行了应用实验。结果表明,以超净高纯乙腈为主要组分的新型试剂,其清洗效果总体优于常规CMOS酸碱试剂,可以考虑在半导体器件相应清洗工艺中采用。 展开更多
关键词 高纯试剂 半导体 清洗工艺
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超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术 被引量：36
3
作者 穆启道 《化学试剂》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期142-145,共4页
对国内外微电子技术配套专用超净高纯试剂进行了评述
关键词 超净高纯试剂 应用 制备 湿法清洗 半导体 刻蚀
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电子级试剂生产中应用的纯化技术
4
作者 史春英 解田 +1 位作者 贾双珠 田言 《贵州化工》 2012年第1期11-14,共4页
介绍了电子级试剂的分类,论述了近年来高纯化学试剂磷酸、异丙醇、过氧化氢和高纯化学气体氯化氢在制备过程中应用的纯化技术。展望了电子级试剂的发展前景,同时对电子级试剂的纯化技术提出了一些建议。
关键词 电子级试剂 制备 纯化技术
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高纯碘化汞的制备
5
作者 韩汉民 《江苏化工》 1992年第2期15-16,共2页
先由汞和碘合成二碘化汞,再经真空升华纯化,所得产品纯度高,转化率接近100％。产品符合高压和超高压汞石英灯生产等方面的要求。
关键词 提纯 试剂 汞 碘 碘化汞
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两种小分子甲醛消除剂的合成
6
作者 王慧芳 《山西化工》 2013年第5期16-18,26,共4页
利用尿素分别与乙二胺和丙二胺合成了环乙撑脲和环丙撑脲2种小分子甲醛消除剂,考查了原料的摩尔配比、氢氧化钠的用量和反应温度与产率的关系。这2种消醛剂的合成工艺简单、原料易得、产率较高、尤其是环丙撑脲,其产率可达98%以上。
关键词 甲醛 消除剂 合成
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试剂水的制备 被引量：1
7
作者 闻瑞梅 陈朗星 刘任重 《化学试剂》 CAS CSCD 北大核心 1995年第1期35-39,共5页
讨论了化学试剂和水中的杂质对集成电路失败率的影响。介绍了试剂水的标准、制备方法和工艺流程，以及在设计试剂水系统时应注意材质选择、消毒灭菌等。还有不同供水方式对水质的影响。
关键词 化学试剂 集成电路 水
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电子级硫酸的生产与发展现状 被引量：3
8
作者 梁锋 纪罗军 陈延浩 《硫酸工业》 CAS 2022年第7期1-5,9,共6页
介绍了电子级硫酸的技术指标、生产工艺、检测方法、包装和储运及其生产和质量状况,重点介绍了电子级硫酸的生产工艺进展,探讨了未来我国电子级硫酸生产发展的新趋势。
关键词 电子级硫酸 技术指标 生产工艺 检测 发展趋势
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洁净材料在腐蚀性湿电子化学品生产中的应用 被引量：1
9
作者 邱祥海 《硫酸工业》 CAS 2023年第3期4-6,10,共4页
半导体加工和制程技术的进步对其配套原料的品质提出了更高要求。为获得纯度更高的湿电子化学品,洁净材料的选择至关重要。从生产核心区域和公用工程区域两部分介绍了洁净材料在腐蚀性湿电子化学品中的选择和应用,其中生产核心区域主要... 半导体加工和制程技术的进步对其配套原料的品质提出了更高要求。为获得纯度更高的湿电子化学品,洁净材料的选择至关重要。从生产核心区域和公用工程区域两部分介绍了洁净材料在腐蚀性湿电子化学品中的选择和应用,其中生产核心区域主要采用含氟聚合物,包含聚四氟乙烯(PTFE)、可溶性聚四氟乙烯(PFA)、偏氟乙烯均聚物(PVDF)等;公用工程区域主要采用不锈钢和工程塑料。 展开更多
关键词 洁净材料 含氟聚合物 湿电子化学品 应用
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电子级硫酸生产及市场现状分析 被引量：2
10
作者 王瑞 徐琳 +2 位作者 葛利平 徐梦 仝宇 《硫酸工业》 CAS 2023年第3期1-3,13,共4页
介绍了国内外电子级硫酸的生产情况和相关市场情况,对市场需求及价格等方面进行分析,指出我国硫酸行业应更加关注电子级硫酸的发展趋势,增加对电子级硫酸生产技术研发的投入,促进我国电子级硫酸工业的发展。
关键词 电子级硫酸 生产工艺 市场情况 价格分析
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