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用于植入式微型MEMS压力传感器的Parylene复合涂层封装
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作者 张鹏坤 赵永梅 +3 位作者 尹兴业 赵晓阳 董昭润 王晓东 《微纳电子技术》 2025年第9期17-28,共12页
用于血压监测的微型微机电系统(MEMS)压力传感器依赖可靠的封装来实现更准确的实时监测。Parylene涂层凭借其生物相容性和低渗透性,成为封装的理想选择之一,然而较差的附着力限制了其应用。提出了一种增强附着力的Parylene复合涂层封装... 用于血压监测的微型微机电系统(MEMS)压力传感器依赖可靠的封装来实现更准确的实时监测。Parylene涂层凭借其生物相容性和低渗透性,成为封装的理想选择之一,然而较差的附着力限制了其应用。提出了一种增强附着力的Parylene复合涂层封装方案,提升了传感器的精度和热稳定性。通过比较不同Parylene涂层的附着力和薄膜应力,以及评估在常温(25℃)和人体温度范围(34~42℃)下不同涂层封装的传感器的性能,得到性能表现优异的涂层方案,并进行了相应机理解释。实验结果表明,不同Parylene涂层封装的器件热零点漂移性能均有显著提高;其中,经Parylene C1F5+A174复合涂层封装的器件精度提升明显,并在人体温度范围内表现出较好的灵敏度和良好的热稳定性,可为血压监测压力传感器提供更好的封装保护。 展开更多
关键词 植入式压力传感器 微机电系统(MEMS)封装 Parylene涂层 界面黏附强度 血压监测
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lift⁃off制程PEB温度对负性光阻显影后截面Profile的影响
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作者 齐鹏 王颢然 +2 位作者 孙鹏 姜倍鸿 邢栗 《信息记录材料》 2024年第3期228-230,共3页
本文研究了lift⁃off(揭开-剥离)制程曝光后烘烤温度(post exposure bake,PEB)对负性光阻显影截面Profile(光刻胶结构)的影响。结果表明:在保留原有PEB盘面加热的方式前提下通过增加PEB盘盖加热功能进行烘烤,通过控制PEB盘面温度可调整... 本文研究了lift⁃off(揭开-剥离)制程曝光后烘烤温度(post exposure bake,PEB)对负性光阻显影截面Profile(光刻胶结构)的影响。结果表明:在保留原有PEB盘面加热的方式前提下通过增加PEB盘盖加热功能进行烘烤,通过控制PEB盘面温度可调整光阻关键尺寸(critical dimension,CD)及截面Profile形貌,通过控制PEB盘盖加热可调整截面Profile光阻顶端形貌及强度,可显著改善负性光阻显影后截面Profile难以调整的问题。另外,不同的盘面温度、不同盘盖温度以及不同的显影时间相互配合,可以实现一种负性光阻产生不同截面光刻胶结构效果,可以实现同种光阻lift⁃off制程多样化。 展开更多
关键词 lift⁃off 负性光阻 截面Profile PEB盘盖加热
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印制板微孔金属化工艺改进 被引量:5
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作者 杨防祖 吴伟刚 +1 位作者 田中群 周绍民 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2012年第8期30-33,共4页
在分布有微孔的印制板上,按照印制板孔金属化工艺路线,研究并改进印刷板孔金属化工艺;探索乙醛酸化学镀铜工艺在印制板微孔金属化中的应用,并采用扫描电子显微镜分析镀层的特点。结果表明,环保型乙醛酸化学镀铜可以成功地应用于印制板... 在分布有微孔的印制板上,按照印制板孔金属化工艺路线,研究并改进印刷板孔金属化工艺;探索乙醛酸化学镀铜工艺在印制板微孔金属化中的应用,并采用扫描电子显微镜分析镀层的特点。结果表明,环保型乙醛酸化学镀铜可以成功地应用于印制板孔金属化加工工艺中。印制板孔金属化后,微孔内壁上的铜镀层紧密附着于内壁,颗粒较细小;虽然沉积铜颗粒排列相对疏松和不均匀,但能满足工艺要求。微孔外壁沉积出的化学镀铜层光亮、晶粒细小致密。 展开更多
关键词 印制板 孔金属化 乙醛酸 化学镀铜 工艺
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压阻式压力传感器温度补偿技术的研究及应用 被引量:18
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作者 张艳华 陈玉玲 +1 位作者 赵爽 窦海峰 《电子测量技术》 2017年第5期138-142,153,共6页
压阻式压力传感器易受温度影响产生零点漂移和灵敏度漂移,为了降低环境温度对传感器输出的影响,首先分析了传感器产生温度漂移误差的原因,针对传感器存在的温度漂移误差和输出信号的非线性介绍了一种硬件温度补偿方法和基于MAX1452的软... 压阻式压力传感器易受温度影响产生零点漂移和灵敏度漂移,为了降低环境温度对传感器输出的影响,首先分析了传感器产生温度漂移误差的原因,针对传感器存在的温度漂移误差和输出信号的非线性介绍了一种硬件温度补偿方法和基于MAX1452的软件温度补偿方法,着重阐述了MAX1452的补偿原理以及对传感器的补偿过程。最后通过温度试验和温度循环试验比较分析了以上两种温度补偿方法,试验结果表明软件补偿方法具有更加优良的补偿效果,在-40~60℃温度范围内的精度小于0.5%。 展开更多
关键词 压阻式压力传感器 温度漂移误差 温度补偿 温度试验
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高可靠性压力传感器的设计方法 被引量:7
5
作者 张艳华 陈玉玲 +1 位作者 史岩峰 王强 《电子测量技术》 2018年第1期109-113,共5页
为了满足工程领域对高可靠传感器的实际需求,提出了高可靠性压力传感器的设计方法,该设计方法包括敏感元件设计、整机结构设计和电路设计。敏感元件芯片为SOI芯片,结构为隔离密封结构,装配工艺成熟可靠;敏感元件通过电子束焊接技术固定... 为了满足工程领域对高可靠传感器的实际需求,提出了高可靠性压力传感器的设计方法,该设计方法包括敏感元件设计、整机结构设计和电路设计。敏感元件芯片为SOI芯片,结构为隔离密封结构,装配工艺成熟可靠;敏感元件通过电子束焊接技术固定连接,传感器密封强度大;电路设计采用基于MAX1452的温度补偿方法,输出温度漂移小。最后,传感器通过性能测试以及环境试验的考核,试验结果表明采用该方法设计的传感器能够满足实际使用要求。传感器在150℃下零点温度漂移和灵敏度温度漂移均小于±0.1%/℃。 展开更多
关键词 高可靠性 压力传感器 SOI 温度补偿 环境试验
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基于FPGA的抢答器的设计与实现
6
作者 程传阳 刘洋 《自动化应用》 2024年第18期242-244,248,共4页
现有的数字抢答器锁存功能比较复杂,且可靠性相对较低,为此,研究了一种基于现场可编程逻辑门阵列(FPGA)抢答信号锁存的设计方法。设计的电路由抢答电路、定时电路、报警电路、时序控制电路、译码器电路和数码管显示电路组成,可实现抢答... 现有的数字抢答器锁存功能比较复杂,且可靠性相对较低,为此,研究了一种基于现场可编程逻辑门阵列(FPGA)抢答信号锁存的设计方法。设计的电路由抢答电路、定时电路、报警电路、时序控制电路、译码器电路和数码管显示电路组成,可实现抢答命令与计时起点同步,提高了数字抢答器的稳定、可靠以及灵敏度。与现有的数字抢答电路相比,所设计电路的应用场景更广泛,行业认可度更高。 展开更多
关键词 数字抢答器 抢答信号 抢答电路 定时电路
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FDTD法研究散热片与器件间的耦合电容 被引量:4
7
作者 李蓉 张林昌 《电波科学学报》 EI CSCD 2002年第3期229-232,共4页
散热片与器件间的电容耦合是电路产生共模辐射的主要原因之一 ,其对研究电路的辐射发射特别重要。然而长期以来人们将该电容简化为平板电容 ,采用静电场推导的电容公式计算。但在高频端 ,散热片和器件的尺寸与波长相比拟 ,分布参数影响... 散热片与器件间的电容耦合是电路产生共模辐射的主要原因之一 ,其对研究电路的辐射发射特别重要。然而长期以来人们将该电容简化为平板电容 ,采用静电场推导的电容公式计算。但在高频端 ,散热片和器件的尺寸与波长相比拟 ,分布参数影响了该耦合电容的数值。所以本文提出了采用FDTD法计算散热片与器件间的高频耦合电容的构想。数值计算的结果表明 :该电容已经不能看作是一简单常数 ,而是随频率变化的量。频率较低时 ,耦合电容随频率升高快速减小。且耦合电容具有频率选择性。激励源位于散热片的中心耦合电容小 ;绝缘层厚度越薄 ,相对介电常数越大得到的高频耦合电容越大 ,但不是线性变化。在实际散热片的选择和安装过程前必须对其产生的耦合电容进行预测 。 展开更多
关键词 FDTD法 散热片 耦合电容 电子器件 电路 共模辐射
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AuSn20焊料制备技术及发展趋势 被引量:5
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作者 孙晓亮 马光 +1 位作者 李银娥 刘啸锋 《电工材料》 CAS 2010年第3期9-11,共3页
随着电子产品小型化、无铅化的发展,对焊接材料提出了更高的要求。无铅焊料AuSn20由于具有优良的性能,在高可靠性气密封装和芯片焊接中被广泛应用。本文介绍了AuSn20焊料的性能和制备方法,指出了传统的铸造拉拔轧制法、叠层冷轧复合法... 随着电子产品小型化、无铅化的发展,对焊接材料提出了更高的要求。无铅焊料AuSn20由于具有优良的性能,在高可靠性气密封装和芯片焊接中被广泛应用。本文介绍了AuSn20焊料的性能和制备方法,指出了传统的铸造拉拔轧制法、叠层冷轧复合法及电镀沉积法的不足,提出了研究及制备AuSn20合金焊料的技术改进方案。 展开更多
关键词 无铅化 AuSn20焊料 制备 技术改进
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电路中信号电缆屏蔽层接地方式的探讨 被引量:2
9
作者 黄盛霖 颜礼彬 邱杰 《海军航空工程学院学报》 2002年第5期543-546,共4页
通过对低频、高频电路信号电缆屏蔽层不同接地方法的分析,得到不同情况下电缆屏蔽层的最佳接地方法.同时,归纳出一些有用的结论,用于电路设计时参考.
关键词 电路 信号电缆 屏蔽层 接地
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AXI标准协议在微型机载采集设备中的应用 被引量:3
10
作者 范秋香 吴琼之 +1 位作者 孙宁霄 金兆健 《电子设计工程》 2014年第3期62-65,共4页
本文介绍了AXI片内总线协议规范,指出了其高性能、高带宽、低延迟的特点。针对微型机载采集设备中FPGA设计的难点,本文提出了采用AXI标准总线协议作为采集系统FPGA控制逻辑的结构框架,使得整个采集系统的软件架构具有高度规范性和灵活性... 本文介绍了AXI片内总线协议规范,指出了其高性能、高带宽、低延迟的特点。针对微型机载采集设备中FPGA设计的难点,本文提出了采用AXI标准总线协议作为采集系统FPGA控制逻辑的结构框架,使得整个采集系统的软件架构具有高度规范性和灵活性,同时兼顾了较高的性能需求,并取得了较好的实用效果。 展开更多
关键词 AXI协议 片上总线 采集系统 FPGA
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表面安装技术(SMT)在实验室中的应用 被引量:2
11
作者 张宏伟 殷华文 高潮 《南阳师范学院学报》 CAS 2003年第3期27-29,共3页
从实验室应用的角度详细叙述了SMT多品种、小批量生产流程中的组线、技术要求 ,原理图设计 ,元器件的选择 ,电路板设计制作 ,焊接方式的选择 ,焊膏分配技术 ,检测 ,清洁 。
关键词 表面安装技术 SMT 实验室 应用 小批量生产 电路板 焊接方式 电子电路 检测
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从有铅向无铅焊接过渡阶段应注意的问题 被引量:13
12
作者 顾霭云 赵东明 曹白杨 《华北航天工业学院学报》 2005年第3期1-5,9,共6页
目前正处于从有铅向无铅焊接过渡的特殊阶段,无铅材料、印制板、元器件、检测、可靠性等方面都没有标准,无铅工艺方面在国内处于比较混乱的阶段。本文较全面地分析了无铅焊接的现状、无铅焊接的特点和对策、无铅焊接存在的主要问题,以... 目前正处于从有铅向无铅焊接过渡的特殊阶段,无铅材料、印制板、元器件、检测、可靠性等方面都没有标准,无铅工艺方面在国内处于比较混乱的阶段。本文较全面地分析了无铅焊接的现状、无铅焊接的特点和对策、无铅焊接存在的主要问题,以及过渡阶段有铅、无铅混用应注意的问题。 展开更多
关键词 无铅焊接 无铅元器件 无铅印制板 无铅可靠性
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TFT-LCD中高效率背光模块驱动电路 被引量:3
13
作者 王元庆 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第11期32-34,共3页
冷阴极荧光灯(CCFL)的伏安特性与齐纳二极管十分相似,可用基于Royer推挽式振荡器的逆变电路驱动CCFL.分析了CCFL的电气特性,在此基础上,进一步描述了CCFL驱动电路的工作原理,并给出了获得高效率驱动电路的器件定量计算公式以及确定各元... 冷阴极荧光灯(CCFL)的伏安特性与齐纳二极管十分相似,可用基于Royer推挽式振荡器的逆变电路驱动CCFL.分析了CCFL的电气特性,在此基础上,进一步描述了CCFL驱动电路的工作原理,并给出了获得高效率驱动电路的器件定量计算公式以及确定各元件参数的步骤和方法。 展开更多
关键词 CCFL 逆变器 谐振 液晶显示器
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回流焊温度曲线热容研究 被引量:13
14
作者 曹白杨 赵小青 梁万雷 《华北航天工业学院学报》 2005年第3期6-9,共4页
本文全面的分析了回流焊温度曲线在回流焊工艺中的作用,回流焊工艺的工艺特点、影响回流焊温度曲线的各种因素。如何从热容的思想建立回流焊温度曲线的方法?如何调整温度曲线通过控制温度曲线改善工艺过程,减少回流焊工艺的缺陷?
关键词 回流焊 回流焊工艺 回流焊温度曲线
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基于Zigbee和GPRS的远程环境监测系统的设计和实现 被引量:8
15
作者 王明超 王明芳 《电子设计工程》 2018年第19期138-141,146,共5页
摘本文设计了一款基于Zigbee和GPRS的远程环境监测系统,选择LM2455-EM为Zigbee模块,TR-800为GPRS模块,采用远近结合的方式,用以采集温湿度,光照度,实时图像等数据,成功解决了传统监测系统在布线上的困难和Zigbee技术不能长距离传输的问... 摘本文设计了一款基于Zigbee和GPRS的远程环境监测系统,选择LM2455-EM为Zigbee模块,TR-800为GPRS模块,采用远近结合的方式,用以采集温湿度,光照度,实时图像等数据,成功解决了传统监测系统在布线上的困难和Zigbee技术不能长距离传输的问题。测试结果表明,该系统性能良好,能够满足正常采集数据的需要,且具有较大的功能扩展空间,适用于各种环境监测场合。 展开更多
关键词 ZIGBEE GPRS 远程环境监测系统 实时图像
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基于PLC的隧道照明控制系统设计 被引量:7
16
作者 王静 《电子设计工程》 2017年第24期152-156,共5页
基于西门子S7-200PLC设计了隧道照明控制系统,采用了自动和手动两种控制方法。手动控制主要针对特殊天气状况或灯具设备维护时的照明,自动控制根据隧道外光照强度来对照明系统进行控制。通过PLC系统软硬件设计实现了隧道照明所需功能要... 基于西门子S7-200PLC设计了隧道照明控制系统,采用了自动和手动两种控制方法。手动控制主要针对特殊天气状况或灯具设备维护时的照明,自动控制根据隧道外光照强度来对照明系统进行控制。通过PLC系统软硬件设计实现了隧道照明所需功能要求。本设计在照明的同时能够实现节能,并且保证司机人员的安全性与舒适性,具有一定的实际意义。 展开更多
关键词 隧道照明 光照度 PLC-传感器 梯形图
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基于DSP的磨机物料监测系统设计 被引量:3
17
作者 代少升 李金鑫 《电子技术应用》 2020年第9期98-101,共4页
为了解决球磨机在运行过程中的工作负荷监测问题,设计了一款基于数字信号处理器(DSP)的磨机物料监测系统。系统硬件主要由电源电路、磨音采集电路、信号处理电路和液晶(LCD)数据显示电路组成。系统通过拾音器采集磨音信号,利用离散傅里... 为了解决球磨机在运行过程中的工作负荷监测问题,设计了一款基于数字信号处理器(DSP)的磨机物料监测系统。系统硬件主要由电源电路、磨音采集电路、信号处理电路和液晶(LCD)数据显示电路组成。系统通过拾音器采集磨音信号,利用离散傅里叶变换(DFT)将磨音时域信号变换到频域,根据Parseval定理计算磨音能量,最后通过多项式拟合的方式得出磨音能量与磨机物料的关系。系统在DSP中进行磨音信号的实时处理,将处理的频谱、声音强度(分贝值)和物料比实时显示在LCD触摸屏上,以便监控人员优化生产工艺。实验结果表明,系统可有效地监测磨机工况,计算磨机的负荷比,在实际的球磨机作业中得到了应用。 展开更多
关键词 球磨机 磨音 物料监测 数字信号处理器(DSP)
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大功率LED照明的驱动和散热设计 被引量:1
18
作者 范永金 王东明 吴刚 《光电技术应用》 2014年第2期75-78,86,共5页
对大功率LED光源的驱动电源和散热特性进行了分析。通过对大功率LED驱动电源的应用效率和光源热量产生、热源传导方式及热流特性的研究,提出了优化改进驱动电路设计和结构设计方法,在驱动电路设计中通过升/降压恒流电路、采用工频变压... 对大功率LED光源的驱动电源和散热特性进行了分析。通过对大功率LED驱动电源的应用效率和光源热量产生、热源传导方式及热流特性的研究,提出了优化改进驱动电路设计和结构设计方法,在驱动电路设计中通过升/降压恒流电路、采用工频变压整流设计提高电源的利用率,降低电源耗热;在结构设计中通过优化改进翅片材质及界面材料、改进翅片结构、加装热管和均温板几种方式进一步提高散热效果,从而使产品的质量和性能得到全面提升。 展开更多
关键词 大功率LED 恒流 热阻 散热片 热管
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基于PLC控制的水箱水位检测系统控制设计 被引量:4
19
作者 王明超 《电子设计工程》 2018年第6期148-152,共5页
文章以水箱水位设计为例,进行水位检测系统的设计。水箱作为一种盛水的容器在城市用水、工业用水和畜牧用水中被大量使用,但是由于其操作不当或者没有检测水位的装置,导致各种各样的意外事故的发生,因此一个好的水位控制系统至关重要,... 文章以水箱水位设计为例,进行水位检测系统的设计。水箱作为一种盛水的容器在城市用水、工业用水和畜牧用水中被大量使用,但是由于其操作不当或者没有检测水位的装置,导致各种各样的意外事故的发生,因此一个好的水位控制系统至关重要,而且对水位的控制和管理也越来越受到国家的关注。本文根据生活中水箱存在的问题进行,采用PLC和传感器对水箱水位恒的控制进行设计。首先对水箱水位的控制系统进行方案对比选择最优方案,然后对水位控制系统的工作原理和传感器原理进行分析,分别对系统电源电路、水位传感器电路、报警显示电路、系统主干路、系统PLC电路进行设计。最后对系统运行总体过程进行设计,并对元件清单进行统计。 展开更多
关键词 水箱水位 PLC控制 系统设计 传感器
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电爆炸丝断路开关实验装置控制系统的设计 被引量:2
20
作者 杨家志 邓怡辰 肖鹏 《实验室科学》 2017年第4期43-46,49,共5页
为了准确获得电感储能型脉冲功率系统中电爆炸丝断路开关的开断性能,需要研制电爆炸丝断路开关实验装置。实验装置控制系统包含主控制系统和人机界面两部分,主控制系统实现对升压整流充电电路的控制,输出火花隙开关触发信号,与人机界面... 为了准确获得电感储能型脉冲功率系统中电爆炸丝断路开关的开断性能,需要研制电爆炸丝断路开关实验装置。实验装置控制系统包含主控制系统和人机界面两部分,主控制系统实现对升压整流充电电路的控制,输出火花隙开关触发信号,与人机界面的通信等功能;人机界面实现响应操作者指令,显示实验参数,与主控制系统通信等功能。对该电爆炸丝断路开关实验装置控制系统的实验测试结果表明,该控制系统能够精确控制放电电压,完成断路开关实验操作和数据采集,并具有系统安全性好的优点。 展开更多
关键词 电爆炸 实验装置 控制系统
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