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镜像阻抗连接叉指换能器制作低损耗声表面波滤波器浅探 被引量：1
1
作者 秦廷辉 朱自湘 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1995年第2期1-3,共3页
介绍了镜像阻抗连接叉指换能器制作低损耗声表面波滤波器的基本原理，给出了研制的在同一种基片上采用不同的镜像阻抗连接叉指换能器制作的不同带宽的低损耗声表面波滤波器，并且可从结果中看到带内波动≤０．３ｄＢ。
关键词 镜像阻抗连接 叉指换能器 声表面波 滤波器 耦合
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制作工序对声表面波延迟线延迟时间的影响 被引量：1
2
作者 刘积学 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1995年第4期11-14,34,共5页
分析了声表面波器件制作工序对器件延迟时间的影响，并进一步试验了光刻工序对器件延迟时间的影响。
关键词 声表面波器件 延迟时间 制作工序 延迟线
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空气自动开槽划片机设计 被引量：1
3
作者 黄克飞 王宏智 +1 位作者 王明权 王定临 《电子工业专用设备》 1996年第2期16-24,共9页
本文介绍我所研制的空气自动开槽机的用途、结构、特点、技术、性能指标和控制方案。
关键词 声表面波器件 空气自动开槽机 划片机
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纳米蚀刻技术及其在20GHz频段SAW器件中的应用
4
作者 阎永志 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1996年第4期287-287,共1页
纳米蚀刻技术及其在２０ＧＨｚ频段ＳＡＷ器件中的应用阎永志利用纳米蚀刻技术可将图形做得非常精细（ｕｍ级），将在ＵＬＳＩ、高速ＦＥＴ、分布反馈式激光器和ＧＨｚ频段ＳＡＷ器件等领域获得应用。常规蚀刻过程中，抗蚀膜层必须有一... 纳米蚀刻技术及其在２０ＧＨｚ频段ＳＡＷ器件中的应用阎永志利用纳米蚀刻技术可将图形做得非常精细（ｕｍ级），将在ＵＬＳＩ、高速ＦＥＴ、分布反馈式激光器和ＧＨｚ频段ＳＡＷ器件等领域获得应用。常规蚀刻过程中，抗蚀膜层必须有一定厚度，但较厚的抗蚀膜无法获得纳米... 展开更多
关键词 纳米蚀刻技术 SAW器件 声表面波 应用
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声表面波器件表面封装
5
作者 侯元香 《压电晶体技术》 1994年第2期41-43,共3页
关键词 声表面波器件 表面封装
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用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究 被引量：3
6
作者 汪建华 袁润章 +1 位作者 邬钦崇 任兆杏 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期955-960,共6页
蓝宝石上外延生长ＺｎＯ薄膜在表面波和声光器件中有重要的应用．用微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体溅射法在蓝宝石（０１１２）晶面上外延生长了ＺｎＯ薄膜，膜无色透明，并且表面光滑，基片温度为３８０℃，为探索沉积工艺参数对... 蓝宝石上外延生长ＺｎＯ薄膜在表面波和声光器件中有重要的应用．用微波电子回旋共振（ＥＣＲ）等离子体溅射法在蓝宝石（０１１２）晶面上外延生长了ＺｎＯ薄膜，膜无色透明，并且表面光滑，基片温度为３８０℃，为探索沉积工艺参数对薄膜结构的影响，用ＸＲＤ对不同基片温度和沉积速率生长的ＺｎＯ薄膜进行了研究． 展开更多
关键词 氧化锌 薄膜 蓝宝石 等离子体溅射 声光器件
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