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题名微机在精缩机定位控制中的应用
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作者
赵忠堂
邢汝祯
刘鲁源
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机构
天津大学电力及自动化系
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出处
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
1990年第2期114-118,共5页
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文摘
在定位控制系统中,定位精度一般取决于检测精度、但是在由微机构成的定位控制系统中,在原检测精度的前提下,结合微机软件设计的特点,采用微动逼近技术,进一步提高定位精度是完全可行的。我们在精缩机的微机控制系统的设计中,运用上述方法和技术,在检测光栅脉冲当量为10μm的前提下,使定位精度达到0.5μm以内。
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关键词
微机控制
IC
缩小
精缩机
制版
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Keywords
precise miniature camera, mini-move approximation, pulse equivalent
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分类号
TN470.56
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名电子束制版自动定位系统
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作者
刘敬延
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机构
中国科学院电工研究所
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出处
《电子工业专用设备》
1990年第3期17-22,共6页
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文摘
本文仅对公开发表的IBM研究中心的VS_1定位系统、IBM分公司的EL_1定位系统、Bell实验室的EBES定位系统和日本的电子束定位系统进行简略综述、比较,可供搞半导体设备的同志参考。
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关键词
集成电路
电子束制板
定位系统
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分类号
TN470.56
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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