激基激光对铜膜印刷板表面微细蚀刻的初期化过程 被引量：1

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作者 吴鼎祥 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期762-764,共3页

用 Kr F激基激光 ,在稀释的 Cl2

关键词 激基激光 微细蚀刻 初期化过程 表面处理 铜膜印刷板

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谈蚀刻设备与真空蚀刻机 被引量：1

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作者 龚永林 《印制电路资讯》 2007年第1期56-59,共4页

本文叙述了蚀刻机的发展，及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。

关键词 蚀刻设备 传送 摆动与喷嘴 真空蚀刻机

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浅谈光成像抗蚀抗电镀油墨（湿膜）的曝光

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作者 李春甫 邵磊 《印制电路与贴装》 2001年第1期24-29,共6页

本文叙述了光成像抗蚀抗电镀油墨近几年来在不同领域的扩大应用和在使用中，对光源的选择、如何进行合理曝光、在曝光中相关工序的影响及光源和设备的发展前景。

关键词 湿膜 曝光 光成像抗蚀抗电镀油墨 印刷电路板

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选定最佳曝光参数

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作者 王方 《印制电路信息》 2000年第6期32-34,共3页

本文以实验的方法确定线宽与曝光参数的关系,控制底版线宽的精确度,减小翻版过程中的误差。

关键词 曝光参数 重氮片 照相底板 印制电路板

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STS新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

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《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期85-85,共1页

使用电浆制程技术之MEMS（微机电系统）与相关市场之成长蒸蒸日上。电浆制程技术巨擘Surface Technology Systems plc（STS）宣布，该公刊新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch G... 使用电浆制程技术之MEMS（微机电系统）与相关市场之成长蒸蒸日上。电浆制程技术巨擘Surface Technology Systems plc（STS）宣布，该公刊新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）之订单。 展开更多

关键词 PEGASUS 蚀刻机 订单 晶圆 一代 Technology STS Surface Systems

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应材新蚀刻机投产速度破纪录

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《电子世界》 2015年第19期5-5,共1页

半导体设备大应用材料宣布推出新一代蚀刻机Appli＇edCentrisSym3，采用创新蚀刻反应室架构，能促使材料移除制程精密度达到原子等级，已有包括台积电在内的多家客户安装这套新系统并做为生产首选机台，创下应用材料蚀刻机台史上最快的... 半导体设备大应用材料宣布推出新一代蚀刻机Appli＇edCentrisSym3，采用创新蚀刻反应室架构，能促使材料移除制程精密度达到原子等级，已有包括台积电在内的多家客户安装这套新系统并做为生产首选机台，创下应用材料蚀刻机台史上最快的客户采用速度。应用材料推出新一代蚀刻机台CentrisSym3蚀刻系统，配备全新的蚀刻反应室，可进行原子等级的精密制造。为克服在芯片内部特征之间的差异，CenttisSym3统大幅改良了现有机台，让芯片制造商能够拥有制作图案所需的控制与精密度，在先进的内存和逻辑芯片中，打造密集组装的3D结构。 展开更多

关键词 蚀刻机 速度 芯片制造商 投产 半导体设备 精密制造 内部特征 逻辑芯片

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STS新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

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《集成电路应用》 2005年第9期27-27,共1页

电浆制程技术巨擘Surface Technology Systemsplc（STS）日前宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）的订单。这也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所... 电浆制程技术巨擘Surface Technology Systemsplc（STS）日前宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）的订单。这也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第五张重要订单。 展开更多

关键词 PEGASUS 蚀刻机 订单 晶圆 一代 Technology STS Surface 制程技术

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Surface Technology Systems（STS）——新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

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《电子与电脑》 2005年第9期142-142,共1页

等离子工艺技术巨擘Surface Technology Systems plc（STS）（LSE：SRTS）宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）之订单。这张来自Bosch的订单．更加强了双方... 等离子工艺技术巨擘Surface Technology Systems plc（STS）（LSE：SRTS）宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）之订单。这张来自Bosch的订单．更加强了双方长久以来的合作关系，也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第5张重要订单。 展开更多

关键词 Technology PEGASUS Surface 蚀刻机 订单 晶圆 一代 SYSTEMS 工艺技术

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蚀刻机的维护与保养

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作者 彭钦海 《印制电路信息》 2001年第10期19-22,共4页

本文是实践经验小结,详述了双面多层印制板制造中碱性蚀刻工艺设备每日、每周、每月维护保养的方方面面。正确维护保养蚀刻机,不仅可延续设备的使用寿命,更重要的是可保障产品稳定一致的质量。

关键词 蚀刻机 维护保养 印刷电路板

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激光刻板技术——激光直接成像的新发展

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作者 李海 《印制电路信息》 2000年第11期18-19,共2页

激光直接成像(LDI)技术由于具有诸多的优越性,已经引起了越来越多的关注,有的已经在高密度 PCB 的制造上取得成功的经验。激光直接成像技术本身也在不断发展,今天我们将要介绍的激光刻板(Laser Structuring)技术就是成功的范例。1 工艺... 激光直接成像(LDI)技术由于具有诸多的优越性,已经引起了越来越多的关注,有的已经在高密度 PCB 的制造上取得成功的经验。激光直接成像技术本身也在不断发展,今天我们将要介绍的激光刻板(Laser Structuring)技术就是成功的范例。1 工艺流程通常的制板工艺都要用到有机抗蚀剂作为图形转移的介质,传统的激光直接成像也不例外,而且为了保证一定的效率。 展开更多

关键词 激光刻板 激光直线成橡 印刷电路板

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STS的MEMS晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

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《集成电路应用》 2005年第10期22-23,共2页

电浆制程技术厂商STS（Surface Technology Systemsplc）最近宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化微机电系统（MEMS）设备制造大厂博世（Robert Gosch GmbH）的订单。

关键词 微机电系统(MEMS) 蚀刻机 订单 晶圆 Technology STS PEGASUS 制程技术 设备制造

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