Surface Technology Systems（STS）——新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

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摘要等离子工艺技术巨擘Surface Technology Systems plc（STS）（LSE：SRTS）宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）之订单。这张来自Bosch的订单．更加强了双方长久以来的合作关系，也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第5张重要订单。

出处《电子与电脑》 2005年第9期142-142,共1页 Compotech

关键词 Technology PEGASUS Surface 蚀刻机订单晶圆一代 SYSTEMS 工艺技术

分类号 TP393.18 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TN410.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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