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题名新型压电式直线驱动器的研究
被引量：4
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作者
程良伦
杨宜民
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机构
广东工业大学机器人研究所
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出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1997年第10期16-19,共4页
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基金
国家自然科学基金
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文摘
介绍了采用带压电元件、圆弧缺口杠杆和双平行四边形弹簧的多级放大一体化结构的新型压电式直线驱动器的研究。实验表明：该直线驱动器的最大行程为400pm，最大输出力为50N，可控精度小于0．5μm，频带宽为100Hz，动作频率为50Hz（对应最大行程）。该直线驱动器的特点是驱动力大、可控精度高、响应快、可直接用于NC机床、机器人装配、活塞加工数控系统的精密直接驱动。
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关键词
直线驱动器
压电元件
一体化
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Keywords
Linear actuator, Piezoelectrical element, Exact model matching method
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分类号
TN384.03
[电子电信—物理电子学]
TP211.503
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名用PZT作执行器抑制柔性梁的振动
被引量：2
- 2
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作者
唐凤
陈伟民
黄尚廉
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机构
重庆大学光电精密仪器系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996年第2期106-108,共3页
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文摘
研究了用ＰＺＴ作执行器对柔性梁振动的抑制，分析了ＰＺＴ用作执行器时的电机械性能，表明了ＰＺＴ执行器在振动抑制中的最佳位置，给出了实验结果。
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关键词
PZT执行器
振动抑制
压电陶瓷
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Keywords
s: PZT actuator,optimal locotion,vibration suppression
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分类号
TN384.03
[电子电信—物理电子学]
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题名溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的结构和波导特性
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作者
翟继卫
杨涛
杨合情
吴小清
张良莹
姚熹
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机构
西安交通大学
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出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第5期343-346,共4页
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文摘
采用溶胶－凝胶方法制备了ＰＺＴ（５０／５０）薄膜。用椭偏仪和透射光谱分别测量并计算了制备在Ｓｉ（１１１）、石英玻璃基片上薄膜的折射率。研究了薄膜的相结构与折射率之间的关系以及折射率和消光系数的色散关系。用棱镜耦合的方法测量了薄膜的波导损耗，并给出了波导损耗与工艺过程的关系。
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关键词
铁电薄膜
溶胶-凝胶
结构
折射率
波导
损耗
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Keywords
Ferroelectric Thin Film,Sol-gel,Structure,Refractive Indices,Waveguide Loss
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分类号
TN384.03
[电子电信—物理电子学]
TN814.03
[电子电信—信息与通信工程]
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题名PZT铁电薄膜结构及疲劳特性研究
- 4
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作者
王培英
刘梅冬
曾亦可
何恩培
饶韫华
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机构
华中理工大学固体电子学系
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1995年第6期524-527,共4页
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文摘
铁电薄膜的电疲劳是铁电存储器等应用的主要障碍。我们用Ｓｏｌ－ｇｅｌ（溶胶－凝胶）方法制备的ＰＺＴ铁电薄膜，对其结构和疲劳特性的研究表明：组分及工艺因素会影响薄膜的结构，具有玫瑰花形的ＰＺＴ薄膜内部存在较多的带电缺陷。在外电场作用下１０￣６周期后出现疲劳，改进组分配方或改进热处理工艺，使薄膜为纯钙钛矿结构，薄膜的寿命可超过１０￣（１１）周期。
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关键词
疲劳
PZT
缺陷
铁电薄膜
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Keywords
fatigue,PZT,switching cycle,defect,rosette morphology
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分类号
TN384.03
[电子电信—物理电子学]
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题名微位移驱动器及其应用
被引量：3
- 5
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作者
吴乙
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机构
电子工业部第
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出处
《电子工业专用设备》
1995年第3期39-43,共5页
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文摘
利用特殊陶瓷的压电效应，可研制成微位移驱动器。本文对此类器件的性能结构、应用特点及其材料本质，对制成的不同器件的影响以及参数的选择等作了简要介绍。
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关键词
微位移驱动器
压电陶瓷
电致伸缩
固态器件
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分类号
TN384.03
[电子电信—物理电子学]
TM282
[一般工业技术—材料科学与工程]
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