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陶瓷薄膜与金属间的浸润性及其界面的研究 被引量：5
1
作者 王家祥 陈宝清 +1 位作者 郭可讱 黄燕清 《真空》 CAS 北大核心 1991年第3期26-31,共6页
本文在对 ＴｉＮ、ＴｉＣ陶瓷薄膜与金属 Ａｇ、 Ｃｕ、 Ｎｉ、 Ｆｅ间的浸润性测量的基础上，用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、电子探针（ＥＰＭＡ）对其界面进行了观察。结果表明：浸润性较差的Ａｇ、Ｃｕ与ＴｉＮ、ＴｉＣ的界面平整，... 本文在对 ＴｉＮ、ＴｉＣ陶瓷薄膜与金属 Ａｇ、 Ｃｕ、 Ｎｉ、 Ｆｅ间的浸润性测量的基础上，用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、电子探针（ＥＰＭＡ）对其界面进行了观察。结果表明：浸润性较差的Ａｇ、Ｃｕ与ＴｉＮ、ＴｉＣ的界面平整，几乎没有发生相互扩散和化学反应；而浸润性较好的 Ｆｅ、Ｎｉ与 ＴｉＮ、ＴｉＣ的界面有明显的扩散和化学反应现象沿着ＴｉＮ、ＴｉＣ的晶界扩散；薄膜部分甚至全部溶入金属中。ＴｉＣ薄膜与Ｆｅ的界面反应程度大于ＴｉＮ 薄膜。 展开更多
关键词 陶瓷薄膜 金属 浸润性 界面
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溶胶—凝胶工艺制备PbTiO3薄膜 被引量：1
2
作者 卢朝靖 邝安祥 《薄膜科学与技术》 1993年第1期39-44,共6页
关键词 陶瓷薄膜 PBTIO3 溶胶-凝胶 薄膜
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