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一种评价磁流变抛光工艺误差抑制能力的方法
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作者 高博 范斌 +2 位作者 王佳 吴湘 辛强 《激光技术》 北大核心 2025年第1期135-143,共9页
为了分析磁流变加工过程中去除函数对加工精度的影响以及去除函数的抗中频误差性能,采用平滑谱方法对加工中误差抑制能力进行了评估。通过非球面光学元件对平滑谱方法及传统功率谱方法进行了理论分析、仿真实验及实验验证,采用平滑谱方... 为了分析磁流变加工过程中去除函数对加工精度的影响以及去除函数的抗中频误差性能,采用平滑谱方法对加工中误差抑制能力进行了评估。通过非球面光学元件对平滑谱方法及传统功率谱方法进行了理论分析、仿真实验及实验验证,采用平滑谱方法及传统功率谱方法分析了去除函数对非球面光学元件的面形误差和中频误差的抑制能力。结果表明,平滑谱方法对加工中误差抑制能力即去除函数可修正的面形误差值为0.22 mm-1;平滑谱函数可直观地判断去除函数对面形误差和中频误差的抑制能力,并可明确地定量化判断中频误差的变化规律。此方法为磁流变加工中误差抑制能力的评估问题提供了一种解决方案。 展开更多
关键词 光学制造 误差评价 平滑谱曲线 中频误差
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基于触觉感知的新型视触觉传感器设计
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作者 童天宏 梁冬泰 谢林涛 《电子测量与仪器学报》 北大核心 2025年第2期185-192,共8页
针对现有视触觉传感器普遍存在的制造成本高的问题,提出了一种新型的GelSight指尖视触觉传感器设计方案,对视触觉传感器触觉皮肤中的单层弹性体反射膜改进,使用了一种双层的反射膜涂层工艺。在材料选择上,使用了两种不同性质的涂料,分... 针对现有视触觉传感器普遍存在的制造成本高的问题,提出了一种新型的GelSight指尖视触觉传感器设计方案,对视触觉传感器触觉皮肤中的单层弹性体反射膜改进,使用了一种双层的反射膜涂层工艺。在材料选择上,使用了两种不同性质的涂料,分别用于内外反射层的涂层,以通过化学键合的方式将两种不同的反射层紧密结合,实现对细微形变的高灵敏度响应。基于这一工艺技术,设计制造了一种新型的视触觉传感器,并基于光度立体设计了一种重建算法,以实现触觉三维重建。为了验证改进工艺的有效性,对使用该工艺制造的GelSight传感器与其他先进的视触觉传感器在感知分辨率上进行了对比实验。实验结果表明,新型传感器在感知分辨率上优于现有工艺制造的传感器。对具有不同形状和纹理的物体进行了三维重构及位姿估计的实验,结果显示,新型传感器在纹理细节方面具有更优的灵敏度,并且能够对实际物体进行高精度的三维重建和位姿估计。其中,表面接触区域的重建均方误差不超过100μm,位姿估计的精度可以达到亚毫米级,显示了其在实际应用中的潜力。 展开更多
关键词 视触觉传感器 反射层(膜) 触觉感知 三维重建 位姿估计
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高均匀性接触孔碲镉汞探测器件研究
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作者 赵泽人 陈书真 +1 位作者 杨茂生 王丛 《激光与红外》 北大核心 2025年第7期1055-1058,共4页
接触孔是碲镉汞红外探测器引出光敏元信号的电极所附着的区域,其形状尺寸均匀性对探测器性能有重要影响。随着探测器芯片感光像元间距的减小,高深宽比光刻图形加工得到的接触孔均匀性下降。本文提出了使用金属层作掩膜,通过薄胶光刻、... 接触孔是碲镉汞红外探测器引出光敏元信号的电极所附着的区域,其形状尺寸均匀性对探测器性能有重要影响。随着探测器芯片感光像元间距的减小,高深宽比光刻图形加工得到的接触孔均匀性下降。本文提出了使用金属层作掩膜,通过薄胶光刻、薄胶刻蚀的方法,制备出了均匀性高、孔底形貌好的接触孔,接触孔非均匀性从光刻胶掩膜的11.54%降低到了金属掩膜的5.98%,突破了小间距碲镉汞芯片均匀性较差的难题,对探测器信号均匀性的提升具有参考意义。 展开更多
关键词 碲镉汞 接触孔 金属掩膜
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大尺寸熔石英元件慢拉干燥工艺系统设计
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作者 郭立刚 吴楠 +2 位作者 艾海丰 孟繁盾 王洪建 《装备制造技术》 2025年第6期149-151,180,共4页
针对大尺寸熔石英元件的湿法清洗及干燥工艺要求,设计一种可用于大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统,在大尺寸熔石英元件湿法清洗工艺完成后,经过慢拉干燥可以实现光学元件洁净干出。大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统主要由慢拉工... 针对大尺寸熔石英元件的湿法清洗及干燥工艺要求,设计一种可用于大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统,在大尺寸熔石英元件湿法清洗工艺完成后,经过慢拉干燥可以实现光学元件洁净干出。大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统主要由慢拉工艺槽体、超纯水预热槽体、管路系统、慢拉机构等组成,具备3种工艺模式:常温水慢拉、慢拉槽单独热水慢拉、慢拉槽与预热槽共用热水慢拉。常温水慢拉模式过程控制简单,但相关慢拉速度会影响工艺指标,通常慢速会有较好的干燥工艺效果,但慢拉工艺时间长,熔石英元件暴露在环境的时间也会变长,会有增加熔石英元件表面颗粒的风险。单独热水慢拉模式可以将温度维持恒定,该慢拉模式可以很好地保证慢拉工艺效果的一致性,但由于管路复杂度提高,实际生产中,每进行几批次慢拉工艺就需要排空工艺槽,然后进行清洗工艺槽体和管路,主要避免工艺槽及管路内污染物的累积而影响熔石英元件表面质量。慢拉槽与预热槽双循环加热模式,加热效率提升一倍,可以有效弥补槽体管路表面的热损失,生产效率高,更好地适合产线上的连续生产,但硬件成本高,控制逻辑相对复杂,维护难度也相应增加。可以根据实际生产工艺需求进行选择不同工艺模式。 展开更多
关键词 熔石英元件 慢拉干燥工艺 工艺过程控制
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改进YOLOv7的光学镜片灰尘与点状缺陷检测
5
作者 刘小磊 徐诗博 《应用光学》 北大核心 2025年第4期868-876,共9页
在光学镜片生产与检测过程中无法避免灰尘附着,其在外观上与麻点和砂目缺陷极为相似,但却不会对镜片性能产生实质影响。针对这一问题,设计了一套光学镜片表面缺陷采集装置,可采集高对比度图像,并改进YOLOv7网络来实现检测分类。首先,在... 在光学镜片生产与检测过程中无法避免灰尘附着,其在外观上与麻点和砂目缺陷极为相似,但却不会对镜片性能产生实质影响。针对这一问题,设计了一套光学镜片表面缺陷采集装置,可采集高对比度图像,并改进YOLOv7网络来实现检测分类。首先,在特征提取模块中使用深度可分离卷积,并改进空间金字塔池化结构,减少参数量并扩展感受野;其次,在骨干网络中添加多通道融合特征增强模块,能够在提升相似特征识别准确率的同时,添加通道间信息交互能力;最后,修改损失函数为NWD_SIoU,提升网络对小目标的关注度。实验结果表明:最终的网络检测精度均值达到了92.9%,模型权重减少了11.8MB,推理速度达到了62.4f·s-1,表明该方法能够快速有效地区分灰尘与麻点及砂目缺陷。 展开更多
关键词 图像识别 缺陷检测 图像采集 YOLOv7 光学镜片
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小间距碲镉汞红外探测器孔内电极制备研究
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作者 邢志韬 孙玉杰 +3 位作者 宁提 何斌 牛佳佳 王成刚 《激光与红外》 北大核心 2025年第4期569-574,共6页
缩小像元间距是提升红外探测器性能的重要方向之一,像元尺寸的减小在红外探测器提高分辨率、降低制造成本、减小发热量、降低功耗等方面有着重要作用。电极作为连接碲镉汞芯片与外部读出电路的桥梁,决定了器件的性能与可靠性。但是在小... 缩小像元间距是提升红外探测器性能的重要方向之一,像元尺寸的减小在红外探测器提高分辨率、降低制造成本、减小发热量、降低功耗等方面有着重要作用。电极作为连接碲镉汞芯片与外部读出电路的桥梁,决定了器件的性能与可靠性。但是在小间距红外探测器的电极制备过程中经常出现剥离困难、电极覆盖情况差等现象,本文分析离子束沉积中角度、温度等条件对电极生长的影响,结果表明升高沉积温度使沉积的金属膜层与HgCdTe附着力变得更好,沉积温度越高,侧壁覆盖越好。沉积角度越接近45°,侧壁越薄,较薄的侧壁电极可以使得剥离工艺难度更低,降低孔内电极侧壁脱落的几率接触。同时沉积角度也是控制生长薄膜的粗糙度的重要参数,改变沉积角度可以得到粗糙度更低的金属膜层。在沉积温度为T0+40℃,沉积角度为45°的条件下,成功制备了易于剥离、粗糙度低、附着力好的孔内电极结构,提高了碲镉汞红外器件性能。 展开更多
关键词 碲镉汞离子束 沉积薄膜技术 孔内沉积 电极剥离
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红外焦平面芯片倒装互连工艺检测及应用研究
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作者 欧阳甜 刘明 +1 位作者 冯晓宇 宁提 《激光与红外》 北大核心 2025年第6期905-908,共4页
红外焦平面芯片主要由红外焦平面阵列与读出电路组成,倒装互连工艺是其制造过程中的关键支撑技术。通过对倒装互连后的芯片引入电学测试可准确地判断芯片倒装互连连通情况,为倒装互连工艺质量技术分析提供有效监测手段。针对倒装互连工... 红外焦平面芯片主要由红外焦平面阵列与读出电路组成,倒装互连工艺是其制造过程中的关键支撑技术。通过对倒装互连后的芯片引入电学测试可准确地判断芯片倒装互连连通情况,为倒装互连工艺质量技术分析提供有效监测手段。针对倒装互连工艺的快速、高效检测需求,发展了芯片互连连通情况的批量化自动检测,并实现了测试结果图中互连差点的自动识别。此外,将该检测手段应用在后续的灌胶、背面减薄工艺后,并通过测试结果可监测后道工序对芯片互连连通情况的影响。本文的研究满足了测试效率提升的要求,同时为工艺问题的定位提供了方案。 展开更多
关键词 红外焦平面芯片 倒装互连 批量化自动检测 自动识别
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退火对碲镉汞材料的影响
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作者 李浩冉 戴永喜 +3 位作者 王娇 赵东生 马腾达 米南阳 《激光与红外》 北大核心 2025年第1期81-84,共4页
本文通过改变碲镉汞材料退火的汞量,研究了汞蒸气压对碲镉汞材料表面形貌、位错密度、晶体质量及电学特性的影响。研究发现,在3倍正常汞量条件下退火后,表面形貌平坦,粗糙度(Ra)达到了0.235 nm,晶体质量最低降至44.7 arcsec位错密度降低... 本文通过改变碲镉汞材料退火的汞量,研究了汞蒸气压对碲镉汞材料表面形貌、位错密度、晶体质量及电学特性的影响。研究发现,在3倍正常汞量条件下退火后,表面形貌平坦,粗糙度(Ra)达到了0.235 nm,晶体质量最低降至44.7 arcsec位错密度降低至7.1×10^(4) cm^(-2)。霍尔测试结果表明该材料已经完全转变为N型。 展开更多
关键词 汞蒸气压 位错密度 霍尔测试
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小型高精度激光电线直径测量传感器的研究及应用
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作者 卿沛婷 《计算机应用文摘》 2025年第10期261-263,共3页
小型高精度激光电线直径测量传感器采用激光平行光束进行非接触式测量,相较于其他测量方式,具有显著优势。该传感器不仅能够精确测量电线的圆心度,且体积小巧、全金属外壳坚固可靠,安装和调试便捷。文章详细介绍了传感器的工作原理,并... 小型高精度激光电线直径测量传感器采用激光平行光束进行非接触式测量,相较于其他测量方式,具有显著优势。该传感器不仅能够精确测量电线的圆心度,且体积小巧、全金属外壳坚固可靠,安装和调试便捷。文章详细介绍了传感器的工作原理,并科学设计了其结构。同时,通过试验设计,研究了不同温度环境和角度对测量结果的影响。实验结果表明,温度和角度对测量结果有显著影响,随着环境温度和角度的升高,电线直径的测量值略有增加。 展开更多
关键词 小型激光传感器 电线直径测量 高精度测量
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近红外车载激光雷达高耐磨双层减反膜
10
作者 斯宇晗 叶晓军 +1 位作者 王晓亮 李红波 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第1期192-198,共7页
工作波长为905 nm的激光雷达在汽车自动驾驶领域具有强大的应用前景,但工业常用的磁控溅射减反膜,作为其光学窗口表面涂层之一,存在耐磨性不足问题,难以适应恶劣户外环境。采用溶胶凝胶法结合高温固化工艺,为工作波长为905 nm的车载激... 工作波长为905 nm的激光雷达在汽车自动驾驶领域具有强大的应用前景,但工业常用的磁控溅射减反膜,作为其光学窗口表面涂层之一,存在耐磨性不足问题,难以适应恶劣户外环境。采用溶胶凝胶法结合高温固化工艺,为工作波长为905 nm的车载激光雷达减反膜提供高耐磨、低成本的解决方案,并研究了固化温度、盐酸浓度、络合剂存在且低酸浓度下的含水量对TiO2折射率的影响。从反射率、粗糙度、硬度、耐磨性等方面对采用不同底层固化方式的双层减反膜的光学性能和机械性能进行评估,结果表明:当入射光波长为905 nm时,薄膜表现出优良的减反性能,入射角为15°时反射率小于1%,入射角为60°时反射率小于5%,粗糙度最低为0.005μm,基本满足水平视角120°的激光雷达的光学需求。薄膜铅笔硬度达8H,最多能够承受8000次往复摩擦且无明显损伤,具有优良的适应恶劣环境的能力。 展开更多
关键词 激光雷达 溶胶凝胶 减反膜 折射率 TFCalc
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镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺
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作者 王华安 李晓建 +3 位作者 尹鹏和 宋佳忻 张宇 梁军生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第16期2492-2503,共12页
阵列镍微针具有机械强度高、导电性好等优点,广泛应用于生物工程等领域。微电铸工艺凭借其复制精度高、适应性广等优点,已成为制备镍微针的可靠方法。然而,在微电铸工艺中,通常需要使用与铸层厚度相同的光刻胶模具,导致厚胶微电铸时面... 阵列镍微针具有机械强度高、导电性好等优点,广泛应用于生物工程等领域。微电铸工艺凭借其复制精度高、适应性广等优点,已成为制备镍微针的可靠方法。然而,在微电铸工艺中,通常需要使用与铸层厚度相同的光刻胶模具,导致厚胶微电铸时面临微结构处存留残胶、胶层难以去除等问题。为了解决上述问题,获得尖端曲率半径为纳米尺度的阵列镍微针,我们提出了镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺并进行实验验证。首先,利用(100)型单晶硅的各向异性刻蚀特性制备阵列锥坑硅模具;接着,在硅模具表面溅射一层厚度为200 nm的镍种子层;然后,使用光刻工艺制备微针支撑梁薄胶模具;最后,对硅模具进行微电铸,释放阵列镍微针。实验结果表明:本实验采用的方法可以在不损伤硅模具的前提下,得到尺寸平均偏差1.7μm、绝对位置平均偏差1.8μm、尖端平均曲率半径150 nm的阵列镍微针;使用厚度为~2μm的RFJ-60负性光刻胶作为微电铸的模具,成功制备出厚度为~24.3μm的阵列镍微针支撑梁。此外,通过将SiO2侧蚀量补偿进光刻掩膜版图形尺寸的方法,将镍微针相对尺寸误差降低至1%。结合微电铸工艺和单晶硅的各向异性刻蚀特性,能够高质量、高效率地制备阵列镍微针,为阵列镍微针的批量化制备奠定了基础。 展开更多
关键词 阵列镍微针 硅模具 微电铸工艺 侧蚀量补偿
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基于边缘梯度搜索的激光定向能量沉积熔池尺寸提取方法 被引量:3
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作者 苗立国 邢飞 +4 位作者 史建军 柴媛欣 闫成鑫 卞宏友 孙海江 《材料导报》 EI CSCD 北大核心 2024年第2期213-219,共7页
针对激光定向能量沉积过程中存在熔池弱边缘导致熔池宽度难以准确提取的问题,本工作基于熔池边缘灰度梯度变化差异,提出了一种基于边缘梯度搜索模型的熔池宽度提取方法。为了得到精确的熔池尺寸,首先基于数学形态学的方法对熔池图像进... 针对激光定向能量沉积过程中存在熔池弱边缘导致熔池宽度难以准确提取的问题,本工作基于熔池边缘灰度梯度变化差异,提出了一种基于边缘梯度搜索模型的熔池宽度提取方法。为了得到精确的熔池尺寸,首先基于数学形态学的方法对熔池图像进行预处理得到粗定位边缘,然后通过试验确定弱边缘梯度阈值,最后采用边缘梯度搜索模型对粗定位边缘进一步分割得到精分割边缘,使用椭圆拟合法进行边缘拟合得到熔池宽度,试验结果表明该方法具有良好的熔池宽度检测精度。 展开更多
关键词 激光定向能量沉积 边缘提取 边缘梯度搜索 椭圆拟合
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基于改进YOLOv5s的曲面光学镜片缺陷检测 被引量:1
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作者 刘小磊 刘丰慧 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第4期781-789,共9页
针对曲面光学镜片表面缺陷检测精度不高的问题,提出一种基于改进YOLOv5s的曲面光学镜片缺陷检测方法。首先,设计镜片表面缺陷采集装置,并对采集到的缺陷图片进行数据增强以制作镜片缺陷数据集。其次,为了增强YOLOv5s网络对通道信息的利... 针对曲面光学镜片表面缺陷检测精度不高的问题,提出一种基于改进YOLOv5s的曲面光学镜片缺陷检测方法。首先,设计镜片表面缺陷采集装置,并对采集到的缺陷图片进行数据增强以制作镜片缺陷数据集。其次,为了增强YOLOv5s网络对通道信息的利用,在特征提取网络引入SE注意力机制,使网络能够更加准确地提取信息;并在主干网络最后一个C3模块融入Transformer,帮助网络更好地提取全局信息,提高检测效率。最后,考虑到小目标特征信息容易丢失的问题,将主干网络160×160像素的特征层加入颈部的特征融合中,增加网络对浅层信息的利用。改进的YOLOv5s目标检测算法的均值平均精度(mean average precision,mAP)和召回率(recall,R)分别为93.9%和91.6%,比原网络算法分别提高了3.2%和3.4%,表明改进YOLOv5s算法可以有效检测出镜片表面缺陷。 展开更多
关键词 镜片缺陷 目标检测 注意力机制 特征融合
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红外探测器锗窗口无助焊剂回流焊接工艺研究 被引量:1
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作者 赵璨 回品 李硕 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期920-923,共4页
对红外探测器锗窗口无助焊剂回流焊接工艺进行了研究,在还原性气氛下使用铟焊料片对不同镀层体系的锗窗口和可伐合金进行了焊接试验。通过对不同镀层体系下焊接的窗口部件的焊缝形貌、真空漏率分析、X射线无损检测分析以及可靠性试验分... 对红外探测器锗窗口无助焊剂回流焊接工艺进行了研究,在还原性气氛下使用铟焊料片对不同镀层体系的锗窗口和可伐合金进行了焊接试验。通过对不同镀层体系下焊接的窗口部件的焊缝形貌、真空漏率分析、X射线无损检测分析以及可靠性试验分析,表明通过对锗窗口和可伐合金焊接面镀金处理,在还原性气氛下回流焊接可以制备出满足密封要求和环境适应性要求的窗口部件。 展开更多
关键词 红外探测器 锗窗口 回流焊接 还原性气氛
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太赫兹噪声源研究进展
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作者 刘丽娟 秦菲菲 +2 位作者 孙粤辉 刘文杰 王云才 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第11期1228-1237,共10页
噪声源是一种产生可控(频率及功率可控)噪声的装置,是器件研发环节中的重要工具。太赫兹噪声源在太赫兹器件噪声系数测试、星载微波辐射计标定、成像和波谱分析等方面具有重要的应用。本文系统地梳理了国内外太赫兹噪声源的发展及研究近... 噪声源是一种产生可控(频率及功率可控)噪声的装置,是器件研发环节中的重要工具。太赫兹噪声源在太赫兹器件噪声系数测试、星载微波辐射计标定、成像和波谱分析等方面具有重要的应用。本文系统地梳理了国内外太赫兹噪声源的发展及研究近况,分析了基于热力学、电子学和光子学太赫兹噪声源的技术特点,并对其未来发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 太赫兹 噪声源 超噪比 平坦度
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CCD/EMCCD光电参数测试系统的设计与应用
16
作者 沈吉 VIACHESLAV V.Zabudsky +5 位作者 常维静 那启跃 简云飞 OLEG V.Rikhalsky OLEKSANDR G.Golenkov VOLODYMYR P.Reva 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期693-703,共11页
本文开发了一种用于测量CCD和EMCCD(电子倍增CCD)芯片光电参数的测试系统。该测试系统通过自动模式或手动模式间的切换,测量器件的暗电流、读出放大器的响应度、电荷转移效率、电荷容量和其他参数。该测试系统可以针对不同规格和结构的C... 本文开发了一种用于测量CCD和EMCCD(电子倍增CCD)芯片光电参数的测试系统。该测试系统通过自动模式或手动模式间的切换,测量器件的暗电流、读出放大器的响应度、电荷转移效率、电荷容量和其他参数。该测试系统可以针对不同规格和结构的CCD/EMCCD器件,实现CCD晶圆或封装好的成品的参数测试,实现576×288、640×512、768×576、1024×1024、1280×1024 CCD/EMCCD的测试和筛选。 展开更多
关键词 CCD EMCCD 测试系统 光电参数
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冷屏对红外焦平面探测器组件性能的影响
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作者 甘玉梅 赵农 于小兵 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期924-928,共5页
分析了国内早期中波320×256红外焦平面探测器组件与国外同类产品在装机性能上的差异,采用三种实验方法检测了国内外探测器组件的光电性能,通过对探测器组件光电转换和结构的分析,确定出杂散光在冷屏内部的反射是导致测试结果差异... 分析了国内早期中波320×256红外焦平面探测器组件与国外同类产品在装机性能上的差异,采用三种实验方法检测了国内外探测器组件的光电性能,通过对探测器组件光电转换和结构的分析,确定出杂散光在冷屏内部的反射是导致测试结果差异的原因,冷屏内表面黑化层和结构形式是影响组件实际应用的关键。冷屏结构改进后,有效改善了国内探测器组件的实际应用性能。 展开更多
关键词 冷屏 辐射 红外焦平面探测器 杂散光
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人工势场法的复杂光学曲面加工最优路径求解
18
作者 刘文萍 孟政 +1 位作者 许强 于吉鲲 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第7期265-270,共6页
加工路径对于复杂光学曲面表面质量与工件光学性能具有重要影响,为此,研究人工势场法的复杂光学曲面加工最优路径求解方法,提高加工质量,并满足实际应用需求。依据等残高条件,确定复杂光学曲面加工的刀位点;以该刀位点为人工势场法求解... 加工路径对于复杂光学曲面表面质量与工件光学性能具有重要影响,为此,研究人工势场法的复杂光学曲面加工最优路径求解方法,提高加工质量,并满足实际应用需求。依据等残高条件,确定复杂光学曲面加工的刀位点;以该刀位点为人工势场法求解最优加工路径时的目标点;通过在人工势场斥力场函数内引入相对速度斥力势场,改进斥力场函数,利用引力势力场函数与改进斥力场函数,确定各刀位点的合力;依据各刀位点的合力决定刀具的进给方向,即复杂光学曲面的最优加工路径。实验证明:该方法的加工精度最高为98.15%,可有效确定复杂光学曲面的刀位点,完成最优加工路径求解;应用该方法加工的复杂光学曲面工件表面粗糙度较低,加工质量较高。 展开更多
关键词 人工势场法 复杂光学曲面 加工最优路径 刀位点 引力场函数 斥力场函数
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红外双反射镜折转光学系统的MTF测量
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作者 黄声 李桂秀 +4 位作者 郭怡君 薛开勇 李晓斌 徐志文 管照阳 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第1期99-106,共8页
为了压缩总长度,红外热像仪普遍采用双反射镜折布局(U型)及箱式壳体,而现有传函仪仅能测量非折转布局(一字型)的光学系统的调制传递函数(Modulation Transfer Function,MTF),导致传函仪无法接到U型光学系统的像面,因此无法测量其MTF。... 为了压缩总长度,红外热像仪普遍采用双反射镜折布局(U型)及箱式壳体,而现有传函仪仅能测量非折转布局(一字型)的光学系统的调制传递函数(Modulation Transfer Function,MTF),导致传函仪无法接到U型光学系统的像面,因此无法测量其MTF。为了解决该难题,本文采用光瞳衔接的方式,设计和加工一个中继镜组把U型光学系统的像面引出,通过测量组合系统的MTF,再计算出U型光学系统的MTF,从而解决其MTF测量的难题。然后使用6个同一个型号的红外热像仪对测量方法进行验证,在排除影响测量的干扰因素以后,通过测量组合系统MTF,再计算出U型光学系统的MTF。同时,在测量过程中发现5#、6#红外热像仪的U型光学系统的MTF下降较多,通过红外中心偏差测量仪的测量,发现第三、四镜片的中心偏差较大,故重新装调和控制,从而使U型光学系统的MTF有大幅提升。该方法为U型光学系统的MTF测量和性能提升提供了新的思路。 展开更多
关键词 双反射镜折转 MTF测量 光瞳衔接
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光学非球面元件非球面度计算方法 被引量:21
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作者 杜玉军 任海霞 刘中本 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第5期42-45,共4页
详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但... 详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但计算量大也最复杂 ,且不能直接得到最接近参考圆的圆心位置坐标 ;最小二乘法的计算方法简单 ,不涉及求导、积分、迭代 ,适合编写计算程序 。 展开更多
关键词 光学非球面元件 计算方法 非球面度 最接近参考球面 牛顿迭代法 近似法 最小二乘法
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