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气溶胶喷印银膜换能元制备及安保机构集成设计
1
作者 董世豪 刘凤丽 +1 位作者 郝永平 王洪星 《微纳电子技术》 2026年第1期41-46,共6页
针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备... 针对火工品换能元制备工艺复杂、加工一致性难以保证、材料使用率低等问题,同时满足微机电系统(MEMS)火工品向智能化、微型化与集成化方向发展的需求,开展了MEMS起爆器与MEMS安保机构总体集成设计,提出了一种基于高精度气溶胶喷印设备制备银膜换能元的方法。集成后的安保机构整体尺寸为12.8 mm×8.5 mm×2.2 mm。通过场发射扫描电子显微镜对换能元桥的形貌及厚度进行表征。银膜换能元电阻为(1.5±0.1)Ω,桥区厚度为10μm,表面连续无缺陷。对其发火性能进行测试,结果表明,在不同输入电压下存在电热、电爆两种情况,蘸有三硝基间苯二酚铅(LTNR)的银膜桥能在2 mm传火间隙下引爆压药密度为1.6 g/cm^(3)的硼硝酸钾药柱。 展开更多
关键词 气溶胶喷印 银膜换能元 微机电系统(MEMS)安保集成 三硝基间苯二酚铅(LTNR) 硼硝酸钾
原文传递
一种评价磁流变抛光工艺误差抑制能力的方法
2
作者 高博 范斌 +2 位作者 王佳 吴湘 辛强 《激光技术》 北大核心 2025年第1期135-143,共9页
为了分析磁流变加工过程中去除函数对加工精度的影响以及去除函数的抗中频误差性能,采用平滑谱方法对加工中误差抑制能力进行了评估。通过非球面光学元件对平滑谱方法及传统功率谱方法进行了理论分析、仿真实验及实验验证,采用平滑谱方... 为了分析磁流变加工过程中去除函数对加工精度的影响以及去除函数的抗中频误差性能,采用平滑谱方法对加工中误差抑制能力进行了评估。通过非球面光学元件对平滑谱方法及传统功率谱方法进行了理论分析、仿真实验及实验验证,采用平滑谱方法及传统功率谱方法分析了去除函数对非球面光学元件的面形误差和中频误差的抑制能力。结果表明,平滑谱方法对加工中误差抑制能力即去除函数可修正的面形误差值为0.22 mm-1;平滑谱函数可直观地判断去除函数对面形误差和中频误差的抑制能力,并可明确地定量化判断中频误差的变化规律。此方法为磁流变加工中误差抑制能力的评估问题提供了一种解决方案。 展开更多
关键词 光学制造 误差评价 平滑谱曲线 中频误差
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基于触觉感知的新型视触觉传感器设计
3
作者 童天宏 梁冬泰 谢林涛 《电子测量与仪器学报》 北大核心 2025年第2期185-192,共8页
针对现有视触觉传感器普遍存在的制造成本高的问题,提出了一种新型的GelSight指尖视触觉传感器设计方案,对视触觉传感器触觉皮肤中的单层弹性体反射膜改进,使用了一种双层的反射膜涂层工艺。在材料选择上,使用了两种不同性质的涂料,分... 针对现有视触觉传感器普遍存在的制造成本高的问题,提出了一种新型的GelSight指尖视触觉传感器设计方案,对视触觉传感器触觉皮肤中的单层弹性体反射膜改进,使用了一种双层的反射膜涂层工艺。在材料选择上,使用了两种不同性质的涂料,分别用于内外反射层的涂层,以通过化学键合的方式将两种不同的反射层紧密结合,实现对细微形变的高灵敏度响应。基于这一工艺技术,设计制造了一种新型的视触觉传感器,并基于光度立体设计了一种重建算法,以实现触觉三维重建。为了验证改进工艺的有效性,对使用该工艺制造的GelSight传感器与其他先进的视触觉传感器在感知分辨率上进行了对比实验。实验结果表明,新型传感器在感知分辨率上优于现有工艺制造的传感器。对具有不同形状和纹理的物体进行了三维重构及位姿估计的实验,结果显示,新型传感器在纹理细节方面具有更优的灵敏度,并且能够对实际物体进行高精度的三维重建和位姿估计。其中,表面接触区域的重建均方误差不超过100μm,位姿估计的精度可以达到亚毫米级,显示了其在实际应用中的潜力。 展开更多
关键词 视触觉传感器 反射层(膜) 触觉感知 三维重建 位姿估计
原文传递
飞秒激光微纳加工第三代半导体表面结构
4
作者 李云飞 李丽芳 +6 位作者 王汞 曹赫 唐子琦 尹宏伟 白振旭 侯淑萍 于宇 《激光与红外》 北大核心 2025年第12期1823-1829,共7页
第三代半导体可用于制作耐高温、耐高压、耐大电流的高频大功率器件和各种复杂的微光学元件,在微电子和光电子领域具有重要的应用价值,然而第三代半导体产业还存在着加工效率低、加工产品的精度差等问题。飞秒激光具有超短脉冲、超高峰... 第三代半导体可用于制作耐高温、耐高压、耐大电流的高频大功率器件和各种复杂的微光学元件,在微电子和光电子领域具有重要的应用价值,然而第三代半导体产业还存在着加工效率低、加工产品的精度差等问题。飞秒激光具有超短脉冲、超高峰值功率和超宽频谱等特性,可以实现超精细、空间三维加工,科学家们已经将超快激光加工用于制备新型微纳结构功能材料。文章主要介绍了飞秒激光对于第三代半导体材料的表面减材制造,分析了第三代半导体发生烧蚀的机理以及加工方法、激光参数对于加工质量影响。介绍了飞秒激光加工第三代半导体材料在光电子领域的应用,最后,讨论了飞秒激光加工技术对于第三代半导体表面各种结构加工面临的挑战和困难。 展开更多
关键词 飞秒激光 微纳结构 第三代半导体 LIPSS
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红外探测器芯片的缩醛烘干胶粘接工艺研究
5
作者 郭建芳 刘若冰 +2 位作者 刘建娇 方志浩 王冠 《激光与红外》 北大核心 2025年第12期1884-1889,共6页
缩醛烘干胶粘合剂具有良好的力学性能,因此常被用于红外探测器组件封装的芯片粘接工艺。研究了固化温度、固化时间、真空和非真空固化方式、粘接面表面处理、粘接面积等对缩醛胶粘接强度的影响。拉伸剪切实验结果表明在固化温度低于80... 缩醛烘干胶粘合剂具有良好的力学性能,因此常被用于红外探测器组件封装的芯片粘接工艺。研究了固化温度、固化时间、真空和非真空固化方式、粘接面表面处理、粘接面积等对缩醛胶粘接强度的影响。拉伸剪切实验结果表明在固化温度低于80℃的条件下,缩醛胶的拉伸强度随固化温度的升高、固化时间的增加而逐渐增大;抽真空固化更有利于缩醛胶溶剂的去除,试样的粘接强度可提高五倍左右;打磨处理粘接面使其表面粗糙度增加,使缩醛胶对粘接面的浸润性增加,试样的粘接强度可提高两倍左右;固化工艺一致的情况下,试样的粘接强度随粘接面积的增大而逐渐减小。因此可通过增加固化时间、提高固化温度、增加表面粗糙度、真空固化等方式来提高红外探测器组件封装芯片粘接用缩醛胶的粘接可靠性。 展开更多
关键词 缩醛烘干胶 红外探测器 粘接可靠性 拉伸强度
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高均匀性接触孔碲镉汞探测器件研究
6
作者 赵泽人 陈书真 +1 位作者 杨茂生 王丛 《激光与红外》 北大核心 2025年第7期1055-1058,共4页
接触孔是碲镉汞红外探测器引出光敏元信号的电极所附着的区域,其形状尺寸均匀性对探测器性能有重要影响。随着探测器芯片感光像元间距的减小,高深宽比光刻图形加工得到的接触孔均匀性下降。本文提出了使用金属层作掩膜,通过薄胶光刻、... 接触孔是碲镉汞红外探测器引出光敏元信号的电极所附着的区域,其形状尺寸均匀性对探测器性能有重要影响。随着探测器芯片感光像元间距的减小,高深宽比光刻图形加工得到的接触孔均匀性下降。本文提出了使用金属层作掩膜,通过薄胶光刻、薄胶刻蚀的方法,制备出了均匀性高、孔底形貌好的接触孔,接触孔非均匀性从光刻胶掩膜的11.54%降低到了金属掩膜的5.98%,突破了小间距碲镉汞芯片均匀性较差的难题,对探测器信号均匀性的提升具有参考意义。 展开更多
关键词 碲镉汞 接触孔 金属掩膜
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大尺寸熔石英元件慢拉干燥工艺系统设计
7
作者 郭立刚 吴楠 +2 位作者 艾海丰 孟繁盾 王洪建 《装备制造技术》 2025年第6期149-151,180,共4页
针对大尺寸熔石英元件的湿法清洗及干燥工艺要求,设计一种可用于大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统,在大尺寸熔石英元件湿法清洗工艺完成后,经过慢拉干燥可以实现光学元件洁净干出。大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统主要由慢拉工... 针对大尺寸熔石英元件的湿法清洗及干燥工艺要求,设计一种可用于大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统,在大尺寸熔石英元件湿法清洗工艺完成后,经过慢拉干燥可以实现光学元件洁净干出。大尺寸熔石英元件的慢拉干燥工艺系统主要由慢拉工艺槽体、超纯水预热槽体、管路系统、慢拉机构等组成,具备3种工艺模式:常温水慢拉、慢拉槽单独热水慢拉、慢拉槽与预热槽共用热水慢拉。常温水慢拉模式过程控制简单,但相关慢拉速度会影响工艺指标,通常慢速会有较好的干燥工艺效果,但慢拉工艺时间长,熔石英元件暴露在环境的时间也会变长,会有增加熔石英元件表面颗粒的风险。单独热水慢拉模式可以将温度维持恒定,该慢拉模式可以很好地保证慢拉工艺效果的一致性,但由于管路复杂度提高,实际生产中,每进行几批次慢拉工艺就需要排空工艺槽,然后进行清洗工艺槽体和管路,主要避免工艺槽及管路内污染物的累积而影响熔石英元件表面质量。慢拉槽与预热槽双循环加热模式,加热效率提升一倍,可以有效弥补槽体管路表面的热损失,生产效率高,更好地适合产线上的连续生产,但硬件成本高,控制逻辑相对复杂,维护难度也相应增加。可以根据实际生产工艺需求进行选择不同工艺模式。 展开更多
关键词 熔石英元件 慢拉干燥工艺 工艺过程控制
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改进YOLOv7的光学镜片灰尘与点状缺陷检测
8
作者 刘小磊 徐诗博 《应用光学》 北大核心 2025年第4期868-876,共9页
在光学镜片生产与检测过程中无法避免灰尘附着,其在外观上与麻点和砂目缺陷极为相似,但却不会对镜片性能产生实质影响。针对这一问题,设计了一套光学镜片表面缺陷采集装置,可采集高对比度图像,并改进YOLOv7网络来实现检测分类。首先,在... 在光学镜片生产与检测过程中无法避免灰尘附着,其在外观上与麻点和砂目缺陷极为相似,但却不会对镜片性能产生实质影响。针对这一问题,设计了一套光学镜片表面缺陷采集装置,可采集高对比度图像,并改进YOLOv7网络来实现检测分类。首先,在特征提取模块中使用深度可分离卷积,并改进空间金字塔池化结构,减少参数量并扩展感受野;其次,在骨干网络中添加多通道融合特征增强模块,能够在提升相似特征识别准确率的同时,添加通道间信息交互能力;最后,修改损失函数为NWD_SIoU,提升网络对小目标的关注度。实验结果表明:最终的网络检测精度均值达到了92.9%,模型权重减少了11.8MB,推理速度达到了62.4f·s-1,表明该方法能够快速有效地区分灰尘与麻点及砂目缺陷。 展开更多
关键词 图像识别 缺陷检测 图像采集 YOLOv7 光学镜片
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小间距碲镉汞红外探测器孔内电极制备研究
9
作者 邢志韬 孙玉杰 +3 位作者 宁提 何斌 牛佳佳 王成刚 《激光与红外》 北大核心 2025年第4期569-574,共6页
缩小像元间距是提升红外探测器性能的重要方向之一,像元尺寸的减小在红外探测器提高分辨率、降低制造成本、减小发热量、降低功耗等方面有着重要作用。电极作为连接碲镉汞芯片与外部读出电路的桥梁,决定了器件的性能与可靠性。但是在小... 缩小像元间距是提升红外探测器性能的重要方向之一,像元尺寸的减小在红外探测器提高分辨率、降低制造成本、减小发热量、降低功耗等方面有着重要作用。电极作为连接碲镉汞芯片与外部读出电路的桥梁,决定了器件的性能与可靠性。但是在小间距红外探测器的电极制备过程中经常出现剥离困难、电极覆盖情况差等现象,本文分析离子束沉积中角度、温度等条件对电极生长的影响,结果表明升高沉积温度使沉积的金属膜层与HgCdTe附着力变得更好,沉积温度越高,侧壁覆盖越好。沉积角度越接近45°,侧壁越薄,较薄的侧壁电极可以使得剥离工艺难度更低,降低孔内电极侧壁脱落的几率接触。同时沉积角度也是控制生长薄膜的粗糙度的重要参数,改变沉积角度可以得到粗糙度更低的金属膜层。在沉积温度为T0+40℃,沉积角度为45°的条件下,成功制备了易于剥离、粗糙度低、附着力好的孔内电极结构,提高了碲镉汞红外器件性能。 展开更多
关键词 碲镉汞离子束 沉积薄膜技术 孔内沉积 电极剥离
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红外焦平面芯片倒装互连工艺检测及应用研究
10
作者 欧阳甜 刘明 +1 位作者 冯晓宇 宁提 《激光与红外》 北大核心 2025年第6期905-908,共4页
红外焦平面芯片主要由红外焦平面阵列与读出电路组成,倒装互连工艺是其制造过程中的关键支撑技术。通过对倒装互连后的芯片引入电学测试可准确地判断芯片倒装互连连通情况,为倒装互连工艺质量技术分析提供有效监测手段。针对倒装互连工... 红外焦平面芯片主要由红外焦平面阵列与读出电路组成,倒装互连工艺是其制造过程中的关键支撑技术。通过对倒装互连后的芯片引入电学测试可准确地判断芯片倒装互连连通情况,为倒装互连工艺质量技术分析提供有效监测手段。针对倒装互连工艺的快速、高效检测需求,发展了芯片互连连通情况的批量化自动检测,并实现了测试结果图中互连差点的自动识别。此外,将该检测手段应用在后续的灌胶、背面减薄工艺后,并通过测试结果可监测后道工序对芯片互连连通情况的影响。本文的研究满足了测试效率提升的要求,同时为工艺问题的定位提供了方案。 展开更多
关键词 红外焦平面芯片 倒装互连 批量化自动检测 自动识别
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退火对碲镉汞材料的影响
11
作者 李浩冉 戴永喜 +3 位作者 王娇 赵东生 马腾达 米南阳 《激光与红外》 北大核心 2025年第1期81-84,共4页
本文通过改变碲镉汞材料退火的汞量,研究了汞蒸气压对碲镉汞材料表面形貌、位错密度、晶体质量及电学特性的影响。研究发现,在3倍正常汞量条件下退火后,表面形貌平坦,粗糙度(Ra)达到了0.235 nm,晶体质量最低降至44.7 arcsec位错密度降低... 本文通过改变碲镉汞材料退火的汞量,研究了汞蒸气压对碲镉汞材料表面形貌、位错密度、晶体质量及电学特性的影响。研究发现,在3倍正常汞量条件下退火后,表面形貌平坦,粗糙度(Ra)达到了0.235 nm,晶体质量最低降至44.7 arcsec位错密度降低至7.1×10^(4) cm^(-2)。霍尔测试结果表明该材料已经完全转变为N型。 展开更多
关键词 汞蒸气压 位错密度 霍尔测试
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不同钝化结构的HgCdTe光伏探测器暗电流机制 被引量：10
12
作者 孙涛 陈文桥 +3 位作者 梁晋穗 陈兴国 胡晓宁 李言谨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期143-147,共5页
在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨... 在同一HgCdTe晶片上制备了单层ZnS钝化和双层 (CdTe +ZnS)钝化的两种光伏探测器 ,对器件的性能进行了测试 ,发现双层钝化的器件具有较好的性能 .通过理论计算 ,分析了器件的暗电流机制 ,发现单层钝化具有较高的表面隧道电流 .通过高分辨X射线衍射中的倒易点阵技术研究了单双层钝化对HgCdTe外延层晶格完整性的影响 ,发现单层ZnS钝化的HgCdTe外延层产生了大量缺陷 。 展开更多
关键词 HGCDTE 光伏探测器 钝化 倒易点阵 暗电流
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光学非球面元件非球面度计算方法 被引量：21
13
作者 杜玉军 任海霞 刘中本 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第5期42-45,共4页
详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但... 详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3种方法 ,并根据工程实践比较了 3种方法的优缺点 ,得出了工程应用中的结论 :近似法适用于一些相对孔径较小的非球面 ,否则误差会较大 ;牛顿迭代法的精度较高 ,但计算量大也最复杂 ,且不能直接得到最接近参考圆的圆心位置坐标 ;最小二乘法的计算方法简单 ,不涉及求导、积分、迭代 ,适合编写计算程序 。 展开更多
关键词 光学非球面元件 计算方法 非球面度 最接近参考球面 牛顿迭代法 近似法 最小二乘法
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基于纳米压印的大角度衍射光学元件批量化制备方法 被引量：7
14
作者 刘鑫 张满 +3 位作者 庞辉 史立芳 曹阿秀 邓启凌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期102-106,共5页
针对大角度(大于50°)衍射光学元件低成本、批量化制备的需求,提出一种基于纳米压印技术的制备方法.首先利用光学曝光技术或电子束直写技术制备衍射元件的原始母板,然后将原始母板的结构通过纳米压印过程复制到压印胶上,完成衍射光... 针对大角度(大于50°)衍射光学元件低成本、批量化制备的需求,提出一种基于纳米压印技术的制备方法.首先利用光学曝光技术或电子束直写技术制备衍射元件的原始母板,然后将原始母板的结构通过纳米压印过程复制到压印胶上,完成衍射光学元件的制备.由于纳米压印母板可以多次重复使用,降低了制作成本,提高了效率.用该方法制备了不同特征尺寸(最小为250nm,衍射全角为70°)的衍射光学元件,具有良好的衍射效果,实现了对高深宽比浮雕结构的高保真复制.该技术可实现从微米到纳米跨尺度兼容的衍射光学元件的高保真、低成本、批量化制备. 展开更多
关键词 衍射光学元件 低成本 批量化 纳米压印 跨尺度兼容
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紫外LED圆环阵列均匀照明的实现方法 被引量：13
15
作者 肖韶荣 杨丽 +1 位作者 吴群勇 尚国庆 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期742-747,共6页
为构造指纹荧光检测中所需的均匀照明紫外光源,选择紫外LED阵列照明。采用光电探测器检测单颗LED的辐射角分布,拟合单个LED角分布函数;用8颗LED均匀置于半径为10mm的圆环上,在圆环上方5mm处的中心轴上放置一个LED;在给定的观察屏上照度... 为构造指纹荧光检测中所需的均匀照明紫外光源,选择紫外LED阵列照明。采用光电探测器检测单颗LED的辐射角分布,拟合单个LED角分布函数;用8颗LED均匀置于半径为10mm的圆环上,在圆环上方5mm处的中心轴上放置一个LED;在给定的观察屏上照度不均匀误差下,根据斯派罗法则,确定观测屏与圆环阵列之间的距离,从而实现LED圆环阵列的照度分布均匀化。也可以给定观测屏到圆环的距离,确定轴上LED放置点到圆环的距离。实验结果表明,观测屏到圆环距离为11.0cm时,在半径为10.0mm的圆域内,照度不均匀相对误差小于1.27%。 展开更多
关键词 LED圆环阵列 斯派罗法则 均匀照度
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非球面碳化硅反射镜的加工与检测 被引量：7
16
作者 张峰 范镝 +3 位作者 李锐刚 郑立功 高劲松 张学军 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第6期1004-1008,共5页
为了获得高精度非球面碳化硅(SiC)反射镜,对非球面碳化硅反射镜基底以及改性后碳化硅反射镜表面的加工与检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ-2非球面数控加工设备。采用轮廓检测法和零位补偿干涉... 为了获得高精度非球面碳化硅(SiC)反射镜,对非球面碳化硅反射镜基底以及改性后碳化硅反射镜表面的加工与检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ-2非球面数控加工设备。采用轮廓检测法和零位补偿干涉检测法分别对碳化硅反射镜研磨和抛光阶段的面形精度进行了检测,并采用零位补偿干涉检测法及表面粗糙度测量仪对最终加工完毕的碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度进行检测。测量结果表明:各项技术指标均满足设计要求,其中非球面碳化硅(SiC)反射镜实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.632 8μm),表面粗糙度(RMS值)为0.85 nm。 展开更多
关键词 非球面 碳化硅反射镜 计算机控制光学表面成型 表面改性
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大功率LED螺旋扁管水冷散热技术 被引量：6
17
作者 王志斌 张健 +2 位作者 刘丽君 张骞 刘永成 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1350-1354,共5页
提出了一种基于螺旋扁管的大功率发光二极管阵列水冷散热结构,并建立了机械模型.从换热设备小型化角度,以最优的换热效果和较低的水流功耗等作为换热器性能评价准则,对不同水速、管壁厚度、螺旋段长度、压扁厚度的螺旋扁管进行仿真分析... 提出了一种基于螺旋扁管的大功率发光二极管阵列水冷散热结构,并建立了机械模型.从换热设备小型化角度,以最优的换热效果和较低的水流功耗等作为换热器性能评价准则,对不同水速、管壁厚度、螺旋段长度、压扁厚度的螺旋扁管进行仿真分析.在某一换热工况下对螺旋扁管结构尺寸进行了优化,利用有限体积法求解了计算域,结果表明:优化后的螺旋扁管水冷结构具有很好的换热能力;对供电功率为180 W的发光二极管阵列照明系统进行散热,芯片最高温度为57.573 9℃,可为大功率发光二极管照明系统的散热器工程设计提供一定的参考. 展开更多
关键词 螺旋扁管 大功率LED 水冷散热 有限体积法
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红外光电成像系统MTF测试技术分析 被引量：12
18
作者 卞江 马冬梅 +1 位作者 孙鸽 邵晶 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期748-753,共6页
调制传递函数是评价红外光电成像系统整机成像质量的重要指标之一。通常MTF的测试方法有狭缝法和刀口法等。详述了倾斜目标靶(斜狭缝和斜刀口)测试MTF的测试原理,并且对该两种方法进行了比对实验。提出一种改进刀口法,将多行数据刃边对... 调制传递函数是评价红外光电成像系统整机成像质量的重要指标之一。通常MTF的测试方法有狭缝法和刀口法等。详述了倾斜目标靶(斜狭缝和斜刀口)测试MTF的测试原理,并且对该两种方法进行了比对实验。提出一种改进刀口法,将多行数据刃边对齐并排列成一行数据作为刀口扩散函数,能增加采样点数和采样率并提高测试分辨率,进而得到刀口图像,对每行数据先微分得到各行LSF(线扩散函数),再对LSF多行数据构成的新图像按照斜缝法处理过程计算MTF。实验验证表明,该方法数据能够有效地降低在MTF测试过程中的噪声影响,与斜缝法MTF测试结果差值最大不超过7.5%。 展开更多
关键词 光电成像系统评价 调制传递函数 过采样技术
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卡塞格林红外光学系统装调技术研究 被引量：8
19
作者 周凤利 李辛 +1 位作者 董续勇 谈蕊 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期141-144,共4页
介绍了一种卡塞格林红外光学系统的装调方法。利用中心偏测量仪完成主次镜的装调,利用定心车的工艺完成红外目镜组的定心车削,然后在中心偏测量仪上完成主次镜和目镜组的组合装调。由于该系统采用的是线列探测器,因此采用一个外置摆镜,... 介绍了一种卡塞格林红外光学系统的装调方法。利用中心偏测量仪完成主次镜的装调,利用定心车的工艺完成红外目镜组的定心车削,然后在中心偏测量仪上完成主次镜和目镜组的组合装调。由于该系统采用的是线列探测器,因此采用一个外置摆镜,使摆镜以固定频率摆动,使目标源在探测器上形成了一幅完整的图像,从而可以很方便的完成探测器的装调。采用本方法,完成了一台该光学系统的装调,并测量了光学系统的等效噪声温差和最小可分辨温差,均达到了技术指标要求。 展开更多
关键词 光学 装调 卡塞格林 线列探测器 中心偏测量仪
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晶片材料的超精密加工技术现状 被引量：10
20
作者 魏昕 杜宏伟 +1 位作者 袁慧 解振华 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2004年第3期75-79,共5页
文章介绍了晶片材料的超精密加工设备以及几种典型晶片材料加工工艺的最新发展 ,综述了几种典型超精密加工设备的特点以及单晶硅片、石英晶体、K9玻璃、钽酸锂单晶材料的加工工艺方法 ,探讨了晶片材料的超精密加工技术的发展趋势。
关键词 晶片材料 超精密加工 加工工艺 抛光 光电子元件
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