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基于超景深光学显微镜-场发射扫描电子显微镜的光电关联与样品定位研究
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作者 李昕翼 周晓东 胡继明 《分析科学学报》 北大核心 2026年第1期81-86,共6页
光电关联显微镜技术(Correlative light and electron microscopy, CLEM)将光学显微镜的颜色分辨能力和大视场与电子显微镜的高分辨率相结合,弥补了各自成像的局限,能获得更全面准确的定位及结构信息。本文提出了一种基于超景深光学显... 光电关联显微镜技术(Correlative light and electron microscopy, CLEM)将光学显微镜的颜色分辨能力和大视场与电子显微镜的高分辨率相结合,弥补了各自成像的局限,能获得更全面准确的定位及结构信息。本文提出了一种基于超景深光学显微镜与场发射扫描电子显微镜(SEM)的光电关联与样品定位技术,用于解决SEM在样品定位过程中效率低、耗时长的问题。通过超景深光学显微镜的快速全景成像与颜色识别能力,结合高精度坐标转换算法,实现了目标区域的快速定位与SEM的高分辨率成像。实验结果表明,该技术显著提高了样品定位效率,大大缩短了定位时间,同时保持了良好的定位与成像精度。本研究为材料科学、生命科学等领域的大尺寸或复杂颜色分布样品的快速分析提供了有效解决方案。 展开更多
关键词 超景深光学显微镜 场发射扫描电子显微镜 光电关联 快速定位 全景成像
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多模终端测试平台数据准确性的评价方法研究
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作者 韩晓伟 田晓蓓 季茂胜 《现代信息科技》 2026年第2期150-155,共6页
支持4G/5G、天通、自组网等多种通信模式的终端测试过程较复杂,需要使用天通综测仪、LTE综测仪、频谱分析仪、功率计等多种仪器。为提高测试效率,近年来已研制出多类综合测试平台。该类设备采用嵌入式芯片,内部集成多种通信协议,通过对... 支持4G/5G、天通、自组网等多种通信模式的终端测试过程较复杂,需要使用天通综测仪、LTE综测仪、频谱分析仪、功率计等多种仪器。为提高测试效率,近年来已研制出多类综合测试平台。该类设备采用嵌入式芯片,内部集成多种通信协议,通过对被测信号直接采样,在数字域完成数据处理与指标测量。针对此类测试平台数据准确性如何评判的问题,设计了重复性测试和比对测试实验,以传统仪器的测试结果作为可信数据进行建模与处理。结果表明,将临界差作为判断基准可有效评判测试数据的准确性。 展开更多
关键词 多模测试平台 仪器检测 准确性
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《电子显微学报》征稿简则
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《电子显微学报》 北大核心 2026年第1期F0002-F0003,共2页
《电子显微学报》是中国物理学会主办的学术刊物,主要刊登电子显微学和其他新兴显微学的理论研究、仪器研制生产以及在生命科学、材料科学、纳米科技、医学、金属、地质、化工、半导体等应用方面的学术论文,及时反映我国显微学领域的最... 《电子显微学报》是中国物理学会主办的学术刊物,主要刊登电子显微学和其他新兴显微学的理论研究、仪器研制生产以及在生命科学、材料科学、纳米科技、医学、金属、地质、化工、半导体等应用方面的学术论文,及时反映我国显微学领域的最新科研成果。 展开更多
关键词 电子显微学报 生命科学 理论研究 仪器研制
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热场发射电子源发射性能测试技术研究
4
作者 茹亚东 高召顺 +9 位作者 段瑞滨 伍岳 徐跃凡 左婷婷 薛江丽 高广赞 赵伟霞 刘俊标 韩立 阴生毅 《电子显微学报》 北大核心 2026年第1期69-80,共12页
热场发射电子源以其高亮度、高稳定性等优异特性,在电子显微镜和电子束加工等领域具有重要应用价值。然而,其发射性能的评估仍存在诸多挑战。本文设计了一套热场发射电子源测试系统,提出了针对发射电流密度、束斑直径和发射稳定性等关... 热场发射电子源以其高亮度、高稳定性等优异特性,在电子显微镜和电子束加工等领域具有重要应用价值。然而,其发射性能的评估仍存在诸多挑战。本文设计了一套热场发射电子源测试系统,提出了针对发射电流密度、束斑直径和发射稳定性等关键性能的高精度测试方法,并系统研究了工作温度、析出电压及工作时长等参数对发射性能的影响规律。本研究可为热场发射电子源的性能评估与优化提供重要依据。 展开更多
关键词 热场发射 电子源 测试系统 发射束流 束斑直径
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扫描电镜中扫描电路性能及对图像影响分析
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作者 黄宇 王威威 +2 位作者 康磊 巩小亮 陈龙 《电子技术应用》 2026年第4期73-77,共5页
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)的图像质量高度依赖于扫描电路输出信号的精度与稳定性。而现有研究对扫描信号至图像质量的影响仍缺乏深入分析。基于此,首先建立了从扫描信号到图像质量的传递机制,分析了扫描信号... 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)的图像质量高度依赖于扫描电路输出信号的精度与稳定性。而现有研究对扫描信号至图像质量的影响仍缺乏深入分析。基于此,首先建立了从扫描信号到图像质量的传递机制,分析了扫描信号性能指标对图像影响;然后,通过高精度数字万用表与示波器对实际扫描信号进行精准测量,并结合端点拟合法进行数据处理,从而量化了场扫描与行扫描信号在512×512像素模式下误差水平;进一步通过MATLAB仿真各类误差对标准网格图像的影响,并导入实测信号数据,评估其在实际成像中的表现。研究表明,扫描信号整体线性性能良好,中心区域平均误差为1.884像素,优于边缘区域的2.749像素。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 扫描电路 线性误差 微分非线性 积分非线性 图像质量评估
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电子通道衬度成像技术在晶体缺陷分析中的应用
6
作者 王刚 胡波 +3 位作者 兰楠 胡林 张林杰 杨智帆 《电子质量》 2026年第1期60-63,共4页
系统地探讨了扫描电镜电子通道衬度成像(ECCI)技术在晶体缺陷分析中的应用。首先阐明ECCI的成像原理,继而结合3个典型实验案例,详细展示该技术在晶体学信息获取与缺陷表征中的实际效果。实验结果表明,ECCI能够清晰呈现晶体中的位错、层... 系统地探讨了扫描电镜电子通道衬度成像(ECCI)技术在晶体缺陷分析中的应用。首先阐明ECCI的成像原理,继而结合3个典型实验案例,详细展示该技术在晶体学信息获取与缺陷表征中的实际效果。实验结果表明,ECCI能够清晰呈现晶体中的位错、层错等微观缺陷,具备高分辨率、直观性强和操作便捷等优势。研究表明,电子通道像为晶体缺陷的识别与分析提供了有效技术手段,对深入理解材料微观结构与其宏观性能之间的构效关系具有重要价值。 展开更多
关键词 电子通道衬度成像 扫描电镜 晶体学 缺陷分析
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扫描电子显微镜中巧用低角电子成像 被引量:3
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作者 李琳 刘丽月 陈燕 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第1期29-35,共7页
利用扫描电子显微镜对不导电样品的成像过程中,荷电效应会导致图像产生畸变、漂移、亮点亮线等缺陷。二次电子成像形貌立体感较好但是容易产生荷电现象,背散射电子成像受荷电影响较小但是一般形貌衬度较差。文章借助Apreo2S场发射扫描电... 利用扫描电子显微镜对不导电样品的成像过程中,荷电效应会导致图像产生畸变、漂移、亮点亮线等缺陷。二次电子成像形貌立体感较好但是容易产生荷电现象,背散射电子成像受荷电影响较小但是一般形貌衬度较差。文章借助Apreo2S场发射扫描电镜,针对不导电样品在不镀膜的情况下,通过优化工作模式、探测器和工作距离等参数来调控电子信号,巧用低角电子,得到形貌衬度明显的高分辨图像。从二次电子角度出发,使用Optipan模式配合T2探测器通过缩短工作距离以收集低角二次电子从而减弱荷电效应。从背散射电子角度出发,放大倍数较低时可使用Optipan模式配合ETD探测器获得形貌立体感好的高分辨图像,放大倍数高时可使用Immersion模式配合T1探测器缩短工作距离下以得到最佳图像。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 荷电效应 形貌衬度 低角电子
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电子显微学报第一届青年编辑委员会
8
《电子显微学报》 北大核心 2026年第1期I0003-I0003,共1页
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《电子显微学报》第八届编辑委员会
9
《电子显微学报》 北大核心 2026年第1期I0002-I0002,共1页
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热场作用下Cu_(2-x)S取向转变研究
10
作者 周思源 何泊桦 +6 位作者 付鸿基 赵振 王怀远 赵培丽 贾双凤 郑赫 王建波 《电子显微学报》 北大核心 2026年第1期8-16,共9页
硫化亚铜(Cu_(2-x)S)因独特的离子有序性与优异的热电性能而受到广泛关注,其在热场作用下的结构演变对于理解其本征物理性质及实现性能调控具有重要意义。本文结合原位透射电子显微学与晶体学对称群理论分析,研究了Cu_(2-x)S在原子尺度... 硫化亚铜(Cu_(2-x)S)因独特的离子有序性与优异的热电性能而受到广泛关注,其在热场作用下的结构演变对于理解其本征物理性质及实现性能调控具有重要意义。本文结合原位透射电子显微学与晶体学对称群理论分析,研究了Cu_(2-x)S在原子尺度下的结构演变机制。实验结果表明,在多相共存的Cu_(2-x)S纳米结构中,四方相δ-Cu_(2-x)S在热场驱动下会发生快速取向转变,具体表现为[100]晶向与[221]晶向之间的相互转换。在转变过程中S原子框架保持稳定,Cu原子的迁移直接触发了取向转变,且两种取向之间符合取向畴的对应关系。本文揭示了热场作用下Cu_(2-x)S的取向转变规律,为深入理解Cu_(2-x)S的结构演变机制提供借鉴。 展开更多
关键词 硫化亚铜 热电材料 取向转变 群论 原位透射电子显微学
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多束电子源设计与实验
11
作者 赵伟霞 白凌超 +3 位作者 张利新 刘俊标 殷伯华 韩立 《光学精密工程》 北大核心 2025年第5期741-750,共10页
为了提高扫描电子显微镜等单电子束设备的通量,开发了基于肖特基阴极的多束电子源系统,研究了准直透镜、分束板及微阵列静电透镜的设计方法与制备工艺。根据肖特基阴极发射特性进行了静电准直透镜的设计,仿真计算了准直束的电子光学性... 为了提高扫描电子显微镜等单电子束设备的通量,开发了基于肖特基阴极的多束电子源系统,研究了准直透镜、分束板及微阵列静电透镜的设计方法与制备工艺。根据肖特基阴极发射特性进行了静电准直透镜的设计,仿真计算了准直束的电子光学性能。基于MEMS加工工艺实现了3×3和10×10多孔阵列分束板的制备,开发了多孔多层器件装配系统并实现了微阵列静电透镜的高精度装配;搭建了多束电子源测试平台并进行了多束电子源的准直、分束与聚焦性能验证。结果表明:多束电子源的准直束范围为600μm,准直范围内的束流密度为4.11 A/m^(2)、均匀度为6.06%;实现了3×3分束且大小可调,聚焦后的子束束斑直径均值为5.32μm,束斑直径均匀度为5.91%,束流强度均匀度为4.36%,间距均匀度为3.06%,满足多电子束设备的设计要求。 展开更多
关键词 电子光学 多束电子源 肖特基发射 准直透镜 微阵列单电位透镜
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微束斑RHEED类平行束电子枪设计
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作者 赵伟霞 史丽娜 +2 位作者 刘俊标 殷伯华 韩立 《光学精密工程》 北大核心 2025年第12期1876-1888,共13页
针对高分辨率反射式高能电子衍射仪(RHEED)在微电子制造与表面分析领域的应用需求,而且长工作距离、微束斑、小束半角的电子枪是实现RHEED高分辨检测的关键核心部件,研制了微束斑的RHEED类平行束电子枪,分析了电子枪的电子光学系统特性... 针对高分辨率反射式高能电子衍射仪(RHEED)在微电子制造与表面分析领域的应用需求,而且长工作距离、微束斑、小束半角的电子枪是实现RHEED高分辨检测的关键核心部件,研制了微束斑的RHEED类平行束电子枪,分析了电子枪的电子光学系统特性,采用电子光学仿真软件仿真设计了低像差聚焦透镜;搭建了实验平台对研制的电子枪进行了束斑直径、束流和束半角性能测试与高定向热解石墨(HOPG)样品的衍射成像测试。实验结果表明:在工作距离500 mm下,RHEED类平行束电子枪的束斑直径为47.1μm(加速电压30 kV),发射束流与束半角分别为144.96μA,0.289 mrad(加速电压15 kV),在HOPG样品上获得了清晰的强度与晶体结构因子相对应的衍射斑点。 展开更多
关键词 电子光学 反射式高能电子衍射 电子枪 类平行电子束
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磁浸没热场发射电子枪
13
作者 赵伟霞 张利新 +2 位作者 刘俊标 殷伯华 韩立 《光学精密工程》 北大核心 2025年第11期1700-1712,共13页
为了提高扫描电镜等设备的探针束流,设计了磁浸没式热场发射电子枪,可对电子枪阴极发射电子进行有效收集,提高有效的发射束流。对磁浸没热场发射电子枪的电子光学特性进行了理论分析,仿真对比了单极靴、双极靴轴向间隙、双极靴径向间隙... 为了提高扫描电镜等设备的探针束流,设计了磁浸没式热场发射电子枪,可对电子枪阴极发射电子进行有效收集,提高有效的发射束流。对磁浸没热场发射电子枪的电子光学特性进行了理论分析,仿真对比了单极靴、双极靴轴向间隙、双极靴径向间隙3种结构的磁透镜性能。基于双极靴轴向间隙结构的透镜设计了磁浸没式电子枪,仿真分析了束斑、束流、角束流密度、亮度等参数随浸没透镜的变化情况。基于实验平台对浸没透镜的磁场分布与磁浸没式电子枪的有效发射束流进行了测试。实验结果表明:浸没透镜磁场实际分布值与仿真值基本一致;在相同光阑尺寸下,磁浸没式电子枪的有效发射束流在3.3 kV低加速电压下为44.97 nA,23.5 kV高加速电压下为638.12 nA,与普通热场发射电子枪相比提高了约4倍。 展开更多
关键词 电子光学 热场发射电子枪 磁浸没透镜 双极靴透镜
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电子显微镜在高强铝合金应力腐蚀断裂分析中的应用
14
作者 苏阳 《中国金属通报》 2026年第6期243-245,共3页
本文聚焦于高强铝合金应力腐蚀断裂方面的难题,深入探寻电子显微镜技术的应用方向,认真剖析高强铝合金材料特性及应力腐蚀断裂的原理,说明扫描与透射电子显微镜原理及断裂分析的方法,凸显了其在裂纹起始区形貌查看、扩展路径详细表征等... 本文聚焦于高强铝合金应力腐蚀断裂方面的难题,深入探寻电子显微镜技术的应用方向,认真剖析高强铝合金材料特性及应力腐蚀断裂的原理,说明扫描与透射电子显微镜原理及断裂分析的方法,凸显了其在裂纹起始区形貌查看、扩展路径详细表征等方面的应用效果,审视该技术在失效原因分析、结构优化、表面处理评价等断裂防控事项中的指导意义,为推动高强铝合金性能提升、保障安全应用提供理论与技术支撑。 展开更多
关键词 高强铝合金 应力腐蚀断裂 电子显微镜 断口分析 微观结构
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基于机器视觉的透射电镜图像颗粒粒径测量系统设计
15
作者 马晓丽 王柄皓 +2 位作者 江俊楠 蒋德宇 徐楚君 《计量与测试技术》 2025年第12期38-40,共3页
为实现透射电镜颗粒图像粒径测量的自动化和标准化分析,本文基于“微束分析”透射电镜国家标准,结合透射电镜理论与数字图像处理技术,利用LabVIEW平台,开发了一套颗粒粒径测量图像分析系统,通过规范化颗粒样品的透射电镜制备流程,以金... 为实现透射电镜颗粒图像粒径测量的自动化和标准化分析,本文基于“微束分析”透射电镜国家标准,结合透射电镜理论与数字图像处理技术,利用LabVIEW平台,开发了一套颗粒粒径测量图像分析系统,通过规范化颗粒样品的透射电镜制备流程,以金纳米颗粒和聚苯乙烯颗粒的透射电镜图像作为分析样本,实现标尺像素与距离的自动换算,为粒径准确测量提供保障,并通过对颗粒数量、粒径分布、平均值和标准差进行自动统计分析,提升测试效率与分析服务的科学性与自动化水平。 展开更多
关键词 透射电镜 颗粒粒径 图像处理 定量分析
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真空纳米间隙的脉冲击穿特性
16
作者 李伊濛 李南 +5 位作者 夏凌寒 刘佳薇 张鹏 肖冰 成永红 孟国栋 《高电压技术》 北大核心 2025年第1期450-458,共9页
极端强电场下的绝缘可靠性问题是限制微纳电子器件性能提升的主要因素之一,因此认识纳米间隙的击穿特性以及绝缘失效机制极为重要。为此,利用高分辨成像技术与纳米级精密位移技术,基于透射电子显微镜与电学样品杆建立了真空纳米间隙脉... 极端强电场下的绝缘可靠性问题是限制微纳电子器件性能提升的主要因素之一,因此认识纳米间隙的击穿特性以及绝缘失效机制极为重要。为此,利用高分辨成像技术与纳米级精密位移技术,基于透射电子显微镜与电学样品杆建立了真空纳米间隙脉冲击穿测试系统,实现了空间分辨率为1 nm的精准间隙调控,研究了纳米间隙距离(5~25 nm)、外施电压脉冲宽度(100~1000 ns)对球-板真空间隙脉冲击穿阈值的影响,讨论了纳米间隙的脉冲击穿过程。结果表明:脉冲击穿电压与间隙距离呈线性关系即Ub=Ecd,且基本不随脉冲宽度变化,击穿场强阈值基本不变,约为8.8 GV/m;纳米间隙距离越小,径向电场梯度越大,场发射有效区域越小;球-板电极均匀场下的脉冲击穿过程为阳极金板在阴极钨球场发射电流的能量沉积下温度升高至接近熔点,进而发生热失控并诱导击穿;击穿过程的持续时间约为25 ns,与间隙距离以及脉冲宽度无关,且反映了阳极表面蒸发的原子在间隙内形成等离子体通道并导致阴极蒸发的时间。 展开更多
关键词 纳米间隙 脉冲击穿 击穿电压 场发射 温度
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新农科背景下校企协同电子显微镜技术课程教学体系构建
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作者 赵迪 王蒴 +2 位作者 徐铭泽 杜万里 吴正超 《黑龙江农业科学》 2025年第12期88-94,共7页
为破解农业院校技术类课程“学用脱节”的难题,以电子显微镜技术课程为例,构建了一套农业特色导向的“三阶模块化”教学体系。该体系针对传统教学中存在的教学内容固化,农业案例碎片化及学生实践能力与行业需求脱节等问题,通过设计“基... 为破解农业院校技术类课程“学用脱节”的难题,以电子显微镜技术课程为例,构建了一套农业特色导向的“三阶模块化”教学体系。该体系针对传统教学中存在的教学内容固化,农业案例碎片化及学生实践能力与行业需求脱节等问题,通过设计“基础操作-专项实训-综合应用”三阶递进的教学模块,将企业真实检测任务融入教学过程。同时,建设动态更新的农业特色案例库,通过实施线上线下混合式教学模式,确保教学内容与产业前沿同步。经实践表明,该体系能有效引导学生独立完成从样品制备到数据分析的完整实践操作流程,显著提升了学生的动手能力和解决农业科研实际问题的能力。通过编制《项目式教学实践指南》,形成了一套可复制、可推广的教学改革范式。 展开更多
关键词 电子显微镜技术 教学改革 三阶模块化 农业特色 校企协同
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透射电镜组织和细胞样品准备注意事项
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作者 杨慧 孙竹林 +2 位作者 金良韵 陈大兴 曹海勇 《分析仪器》 2025年第1期98-101,共4页
透射电子显微电镜(Transmission Electron Microscopy, TEM)是临床医学病理诊断和科研生物样品超微结构观察的重要工具。制备符合电镜观察要求的高质量样品是电镜观察的前提,本文对实验动物和细胞样品取材和固定操作中的注意事项和要求... 透射电子显微电镜(Transmission Electron Microscopy, TEM)是临床医学病理诊断和科研生物样品超微结构观察的重要工具。制备符合电镜观察要求的高质量样品是电镜观察的前提,本文对实验动物和细胞样品取材和固定操作中的注意事项和要求进行了讨论和总结,以期为准备做电镜观察的研究者做参考。 展开更多
关键词 透射电镜样品制备 组织固定 细胞固定
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基于DSVDD的高心墙堆石坝监测数据异常检测方法
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作者 黄会宝 陈蓉 +1 位作者 陈建康 罗冲 《电子测量技术》 北大核心 2025年第8期18-23,共6页
水库大坝作为具有防洪度汛、水力发电、农业灌溉等重要作用的超大型重要基础设施,一旦发生溃坝将会引发严重灾难,因此对其进行常态化安全监测具有重要意义。但受到测量环境、系统故障和监测对象异常影响,大坝监测数据中会出现各种异常数... 水库大坝作为具有防洪度汛、水力发电、农业灌溉等重要作用的超大型重要基础设施,一旦发生溃坝将会引发严重灾难,因此对其进行常态化安全监测具有重要意义。但受到测量环境、系统故障和监测对象异常影响,大坝监测数据中会出现各种异常数据,对这些异常监测数据进行检测有利于监测数据的有效分析并及时发现险情,保障水库大坝安全稳定运行。但现存的数据异常检测方法大多只关注数据粗差等异常,忽略了数据缓变异常。因此本文基于深度支持向量描述(DSVDD)方法提出一种缓变异常检测方法,该方法将大坝多维监测参数构建为多维参数样本,并构建自编码器网络利用DSVDD方法进行有效训练,将输入样本映射到紧凑的超球体中,以输入样本偏离超球体中心距离作为异常分数实现异常检测。为验证所提方法有效性,本文基于某高心墙堆石坝激光准直监测系统数据将所提方法与其他多类方法进行对比分析,结果证明所提方法具有优异的数据异常检测性能。 展开更多
关键词 高心墙堆石坝 多维监测数据 异常检测 DSVDD 缓变异常
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太赫兹时域光谱在物理电子实验教学中的应用探索
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作者 邱岩 龚立榕 +1 位作者 胡龙 李永东 《实验室研究与探索》 北大核心 2025年第4期129-133,166,共6页
基于太赫兹时域光谱开展了物理电子学的实验教学探索,设计了“太赫兹时域光谱-物质质量分数测量”教学实验。以典型绝缘材料乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)样品为例,针对太赫兹波传输的基本光学常数和其中抗氧剂质量分数开展了实验测量和分... 基于太赫兹时域光谱开展了物理电子学的实验教学探索,设计了“太赫兹时域光谱-物质质量分数测量”教学实验。以典型绝缘材料乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)样品为例,针对太赫兹波传输的基本光学常数和其中抗氧剂质量分数开展了实验测量和分析。实验教学促进了学生对物理电子学理论知识的深入理解,并显著增强了其在跨学科情境中综合运用知识解决复杂问题的创新能力。 展开更多
关键词 太赫兹时域光谱 物质质量分数测量 光学参数提取 定量分析
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