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用汽相沉积氧化铝制备灯丝的研究
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作者 崔连珍 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第2期282-287,共6页
本文叙述用化学汽相沉积法制备微波电子管灯丝用氧化铝涂层及这种灯丝在各种运用场合下的试验性能。按照热化学反应的一般理论并结合实验条件,对工艺规范的选择进行了讨论。最后,详细分析了影响沉积质量的因素。
关键词 微波管 汽相沉积 灯丝 热辐射
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