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1
作者 张宇 《真空电子技术》 2025年第6期I0001-I0001,共1页
纳米冷阴极基于场致电子发射原理发射电子,具备高电流密度、室温工作、小型化和易集成等优点,使其在真空电子器件电子源中具备很高的应用价值。经过近二十年的发展,纳米冷阴极从材料、制备技术、电子枪制造等技术逐步趋于成熟,可以预期... 纳米冷阴极基于场致电子发射原理发射电子,具备高电流密度、室温工作、小型化和易集成等优点,使其在真空电子器件电子源中具备很高的应用价值。经过近二十年的发展,纳米冷阴极从材料、制备技术、电子枪制造等技术逐步趋于成熟,可以预期其在真空电子器件的应用更趋实用化。 展开更多
关键词 纳米冷阴极 场致电子发射 室温工作 小型化
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用于太赫兹行波管的自支撑碳材料场发射特性研究
2
作者 韩攀阳 李兴辉 +2 位作者 蔡军 冯进军 潘攀 《真空电子技术》 2025年第6期1-6,共6页
为满足太赫兹行波管对大电流密度、小型化阴极的需求,对自支撑碳纳米管(Carbon Nanotubes,CNTs)薄膜、自支撑石墨烯薄膜(Graphene Film,GF)以及CNTs绞线进行结构设计,并对其场发射性能进行了测试。结果表明,5mm边缘长度的自支撑CNTs薄... 为满足太赫兹行波管对大电流密度、小型化阴极的需求,对自支撑碳纳米管(Carbon Nanotubes,CNTs)薄膜、自支撑石墨烯薄膜(Graphene Film,GF)以及CNTs绞线进行结构设计,并对其场发射性能进行了测试。结果表明,5mm边缘长度的自支撑CNTs薄膜在电流达到21mA时可保持稳定发射,最大发射电流可达26.5mA,发射电流密度为8.83 A/cm^(2);10mm边缘长度的自支撑GF最大发射电流为25mA,发射电流密度为17.9A/cm^(2),是自支撑CNTs薄膜的两倍;直径为60mm的CNTs绞线最大发射电流为7.6mA,发射电流密度可高达268.9 A/cm^(2)。这些阴极可以产生足以驱动器件工作的电流,能够为带状注、圆形注太赫兹行波管选择阴极提供参考。 展开更多
关键词 太赫兹 碳纳米管 石墨烯 自支撑
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X射线光电子能谱仪中和枪器件的抗腐蚀改良
3
作者 郭俊达 胡长城 +2 位作者 于跃 孙超 姚烨 《吉林大学学报(理学版)》 北大核心 2025年第6期1760-1766,共7页
针对X射线光电子能谱仪中和枪内铜制器件极易被污染并腐蚀的问题,以Thermo Scientific NEXSA型X射线光电子能谱仪为例,通过研究中和枪的作用机理和结构特性,并结合扫描电子显微镜和能谱仪测试分析被腐蚀铜网表面的污染情况,提出一种对... 针对X射线光电子能谱仪中和枪内铜制器件极易被污染并腐蚀的问题,以Thermo Scientific NEXSA型X射线光电子能谱仪为例,通过研究中和枪的作用机理和结构特性,并结合扫描电子显微镜和能谱仪测试分析被腐蚀铜网表面的污染情况,提出一种对铜网电镀惰性金属膜层的改良方法.通过全谱扫描测试对比仪器内置铜和金标样在分析室长期测试环境下的表面污染情况,确定镀膜材料和工艺,并对改良后的中和枪进行性能测试.结果表明:铜网镀金不会影响中和枪的正常使用,改良后的中和枪对绝缘样品仍有良好的中和效果,并且使用寿命可提升至改良前的5倍以上,抗腐蚀性能得到极大提高. 展开更多
关键词 X射线光电子能谱仪 中和枪 铜网 镀金 抗腐蚀性能
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基于有限元分析法的陶瓷-金属封接结构改进
4
作者 徐玉茹 苏旭红 +1 位作者 黄仁华 于志强 《真空电子技术》 2025年第2期17-20,共4页
基于有限元分析法,对陶瓷-金属封接件进行封接应力仿真分析,结果表明将封接件的直接封接结构改为挠性封接结构,并减薄焊缝区金属件的壁厚,能使陶瓷上的最大封接应力降低35.8%。对改进结构后的封接件进行3次热循环试验,仍能保持良好的气... 基于有限元分析法,对陶瓷-金属封接件进行封接应力仿真分析,结果表明将封接件的直接封接结构改为挠性封接结构,并减薄焊缝区金属件的壁厚,能使陶瓷上的最大封接应力降低35.8%。对改进结构后的封接件进行3次热循环试验,仍能保持良好的气密性,漏气率不大于1×10^(-9) Pa·m^(3)·s^(-1)。 展开更多
关键词 封接应力 有限元分析 陶瓷-金属封接
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微通道板结构参数对噪声因子的影响 被引量：9
5
作者 李晓峰 张正君 +3 位作者 丛晓庆 冯辉 钱要红 李娇娇 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期135-142,共8页
采用对比测量方法研究了微通道板结构参数,即开口比、板厚、电极深度、离子阻挡膜、输入增强膜对其噪声因子的影响。结果表明,开口比增大,噪声因子减小;板厚增加,噪声因子增加;输入电极深度增加,噪声因子增加;离子阻挡膜会增加噪声因子... 采用对比测量方法研究了微通道板结构参数,即开口比、板厚、电极深度、离子阻挡膜、输入增强膜对其噪声因子的影响。结果表明,开口比增大,噪声因子减小;板厚增加,噪声因子增加;输入电极深度增加,噪声因子增加;离子阻挡膜会增加噪声因子;输入增强膜会降低噪声因子。其中,离子阻挡膜对噪声因子的影响最大,板厚对噪声因子的影响最小。微通道板的结构参数不仅对噪声因子产生影响,而且对其他参数,如增益、均匀性等性能均会产生影响。要降低微通道板噪声因子,比较可行的方法是将微通道板的开口比提高到68%,在此基础上,再在微通道板的输入端制作一层高二次电子发射系数的MgO2输入增强膜,使微通道板的噪声因子接近1,从而达到理想微通道板的水平。 展开更多
关键词 像增强器 微通道板 信噪比 噪声因子 二次电子
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Mo-La_2O_3模拟阴极的高温XPS/AES研究 Ⅰ. 表面氧状态及其性质 被引量：8
6
作者 聂祚仁 左铁镛 +3 位作者 周美玲 王亦曼 王金淑 张久兴 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期135-139,共5页
对稀土氧化物体系Ｌａ２Ｏ３中Ｏ１ｓ的超高温原位ＸＰＳ进行研究，着重讨论了ＭｏＬａ２Ｏ３阴极激活过程中温度变化导致表面氧状态改变的过程，并初步分析其对电子发射性能的影响。高温１３００℃以上，存在两类不同氧种的氧，低结... 对稀土氧化物体系Ｌａ２Ｏ３中Ｏ１ｓ的超高温原位ＸＰＳ进行研究，着重讨论了ＭｏＬａ２Ｏ３阴极激活过程中温度变化导致表面氧状态改变的过程，并初步分析其对电子发射性能的影响。高温１３００℃以上，存在两类不同氧种的氧，低结合能端（Ｅｂ＝５３０００ｅＶ）的氧是表面晶格氧，高结合能端（Ｅｂ＝５３２００ｅＶ）的氧为吸附氧；大量的高温吸附氧应是Ｌａ２Ｏ３中晶格氧分离造成。 展开更多
关键词 稀土 氧化镧 钼 热阴极 电子发射 真空阴极材料
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一种用于热阴极的高可靠热子 被引量：6
7
作者 刘燕文 孟鸣凤 +5 位作者 朱虹 邯娇 扬丹 谷兵 陆玉新 方荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期79-83,共5页
微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星通信、电子加速器等方面,热子又是微波真空电子器件中最为核心的部件之一,其性能好坏将直接影响微波源的可靠性和寿命。为了克服传统热子制备工艺的缺点,避免螺旋腿部分的钨或钨合金丝出现损伤,提... 微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星通信、电子加速器等方面,热子又是微波真空电子器件中最为核心的部件之一,其性能好坏将直接影响微波源的可靠性和寿命。为了克服传统热子制备工艺的缺点,避免螺旋腿部分的钨或钨合金丝出现损伤,提供一种高可靠热子制备方法,采用高温焊料焊接技术将螺旋丝与插腿焊接在一起,从而制备出具有螺旋腿与插腿之间接触电阻小、耐震动性能好、抗热冲击性能好和可靠性高等优点的热阴极用热子。采用新方法制备的热子在1100℃高温下寿命已超过3000 h,没有出现断路现象,目前在各种微波管上使用了新方法制备的热子,没有出现一只断路。 展开更多
关键词 微波真空电子器件 热阴极 热子 焊接 焊料
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环形开关电极的自动优化设计方法 被引量：7
8
作者 王清玲 郭良福 +1 位作者 湛锋 何孟兵 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期333-336,共4页
在脉冲功率技术中,开关电极的形状优化设计非常重要。利用电荷模拟法对常用的环形电极的电场分布进行了模拟计算,用旋转椭圆近似法优化电极轮廓外形,用微粒群(PSO)算法对轮廓外形的几何参数进行优化选择。结果表明:旋转椭圆近似法结合PS... 在脉冲功率技术中,开关电极的形状优化设计非常重要。利用电荷模拟法对常用的环形电极的电场分布进行了模拟计算,用旋转椭圆近似法优化电极轮廓外形,用微粒群(PSO)算法对轮廓外形的几何参数进行优化选择。结果表明:旋转椭圆近似法结合PSO算法非常适用于环形开关电极自动优化设计,优化所得形状和参数能满足电极之间电场分布的要求。 展开更多
关键词 脉冲功率技术 自动优化设计 环形开关电极 旋转椭圆近似法 微粒群算法
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新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作 被引量：5
9
作者 夏善红 刘加 +2 位作者 陈绍凤 韩泾鸿 崔大付 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第12期901-906,共6页
本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量... 本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势．本文绘出了计算机模拟结果，简述了台阶阵列阴极和阳板压力敏感膜的制作，并展示了SEM照片． 展开更多
关键词 压力传感器 真空微电子器件 VME
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采用UV-LIGA技术制作340GHz折叠波导慢波结构 被引量：5
10
作者 李含雁 白国栋 +2 位作者 李兴辉 唐烨 冯进军 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第4期527-530,共4页
紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其... 紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其原因,得出最佳工艺。另外,本文还对去胶进行了初步研究,获得了全铜的340 GHz的折叠波导结构。 展开更多
关键词 紫外光刻 电铸和注塑技术 SU8胶模 曝光量 340 GHz折叠波导
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电子器件可靠性的噪声表征方法 被引量：14
11
作者 庄奕琪 孙青 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期76-82,共7页
随着电子器件朝着高性能、小尺寸和长寿命方向发展，传统的寿命试验可靠性评价方法的局限性日益显著。近年来得到的大量研究结果表明，对于大多数电子器件，噪声是导致器件失效的各种潜在缺陷的敏感反映，噪声检测方法以其灵敏、普适、... 随着电子器件朝着高性能、小尺寸和长寿命方向发展，传统的寿命试验可靠性评价方法的局限性日益显著。近年来得到的大量研究结果表明，对于大多数电子器件，噪声是导致器件失效的各种潜在缺陷的敏感反映，噪声检测方法以其灵敏、普适、快速和非破坏性的突出优点，正在发展成为一种新型的电子器件可靠性表征工具。本文对该领域目前的研究进展做了概括性的评述。 展开更多
关键词 电子器件 噪声 可靠性 缺陷
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多碱光电阴极多信息量测试技术研究 被引量：6
12
作者 钱芸生 富容国 +1 位作者 徐登高 常本康 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第2期111-115,共5页
阐述了多碱光电阴极的单色光反射比、单色光电流和光谱响应曲线的测试原理 ,这些参量的获得对分析、指导阴极工艺是很有价值的。介绍了多碱光电阴极多信息量测试系统 ,该系统可在多碱光电阴极制备过程中在线测试、处理多碱阴极的单色光... 阐述了多碱光电阴极的单色光反射比、单色光电流和光谱响应曲线的测试原理 ,这些参量的获得对分析、指导阴极工艺是很有价值的。介绍了多碱光电阴极多信息量测试系统 ,该系统可在多碱光电阴极制备过程中在线测试、处理多碱阴极的单色光反射比、单色光电流和光谱响应曲线等参量 。 展开更多
关键词 多碱 光电阴极 光学反射比 光谱 多信息测试
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大功率、高频段电真空器件在雷达技术领域的应用分析 被引量：8
13
作者 杨明 刘超 郑新 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2017年第4期83-86,91,共5页
电真空器件正在向大功率、高频段上发展,该类电真空器件具有高峰值、高平均功率、高工作频率和大带宽的特点。近年来,借助材料科学、微加工方法和技术的进步,电真空器件的频率正在向毫米波、亚毫米波甚至太赫兹频段快速发展。大功率、... 电真空器件正在向大功率、高频段上发展,该类电真空器件具有高峰值、高平均功率、高工作频率和大带宽的特点。近年来,借助材料科学、微加工方法和技术的进步,电真空器件的频率正在向毫米波、亚毫米波甚至太赫兹频段快速发展。大功率、高频段电真空器件同时具有更高的效率和更宽的带宽,在雷达技术领域有着广阔的应用前景。文中重点介绍了大功率、高频段电真空器件在雷达、电子对抗和微波武器等领域的五个重点发展方向,包括8 mm、3 mm波段毫米波器件集中式和分布式系统应用、太赫兹频段器件应用、高功率微波系统应用和长脉冲发射技术。最后,展望了未来的需求和发展趋势。 展开更多
关键词 电真空器件 毫米波 太赫兹 高功率微波 长脉冲调制器
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真空微电子微三极管特性的计算机模拟 被引量：5
14
作者 杨中海 周勇 杨存宇 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第3期299-305,共7页
用计算机模拟方法研究了真空微电子场致发射微三极管的特性，建立了数理模型。用差分方法求解泊松方程，以福勒──诺德海姆理论处理场致发射特性。细致处理了阴极表面电场，考虑了空间电荷效应的影响，并对模拟结果进行了分析讨论。
关键词 真空微电子学 微三极管 计算机模拟
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衬底电极对SnO_2纳米材料场发射性能的影响 被引量：3
15
作者 王灵婕 林金阳 +2 位作者 苏艺菁 游玉香 郭太良 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1380-1382,共3页
采用高温气相氧化法分别在Si、Au、Cr和不锈钢等不同的衬底上生长氧化锡(SnO2)纳米材料,并对SnO2的表面形貌进行表征和场致发射性能测试。研究结果表明,以Si、Au、Cr、不锈钢为衬底,其场致发射的开启电场分别为3.6、2.3、2.45、1.7V/μ... 采用高温气相氧化法分别在Si、Au、Cr和不锈钢等不同的衬底上生长氧化锡(SnO2)纳米材料,并对SnO2的表面形貌进行表征和场致发射性能测试。研究结果表明,以Si、Au、Cr、不锈钢为衬底,其场致发射的开启电场分别为3.6、2.3、2.45、1.7V/μm。不锈钢衬底电极SnO2阴极的场致发射性能最好,硅衬底电极SnO2阴极的场发射能力最差。 展开更多
关键词 氧化锡 场发射 纳米材料
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低损耗液晶光开关器件用透明电极的制备 被引量：2
16
作者 白胜元 黄昱勇 +3 位作者 李海峰 刘旭 顾培夫 唐晋发 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期26-29,共4页
液晶可以用来制作光通讯系统中的光开关,液晶器件的损耗主要取决于透明电极的透射率, ITO(氧化铟锡)在可见光范围具有高的透射率,但在红外损耗较大。在测定ITO复折射率的基础上,本文借鉴光学薄膜中诱导滤光片的设计思想,设计、制备出了... 液晶可以用来制作光通讯系统中的光开关,液晶器件的损耗主要取决于透明电极的透射率, ITO(氧化铟锡)在可见光范围具有高的透射率,但在红外损耗较大。在测定ITO复折射率的基础上,本文借鉴光学薄膜中诱导滤光片的设计思想,设计、制备出了在红外1.5mm^1.6mm范围内高透射率的透明电极,使整个器件的损耗<0.4dB,相应的方块电阻为350W/□。 展开更多
关键词 光开关 光学薄膜 诱导滤光片 透明电极 液晶
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透射式GaAs光电阴极组件在真空烘烤后表面氧化的XPS分析 被引量：2
17
作者 李晓峰 张景文 +1 位作者 高鸿楷 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期778-780,共3页
介绍了 Ga As光电阴极在高温烘烤后不同深度上 Ga原子和 As原子氧化的 XPS分析结果 ,并对 Ga As中的 Ga原子比 As原子更容易氧化以及 Ga As光电阴极在经过高温烘烤后 。
关键词 透射式GAAS光电阴极 组件 表面氧化 XPS分析 真空 砷化镓 高温烘烤
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高效率快热阴极组件技术 被引量：3
18
作者 张珂 阎肃秋 +1 位作者 邵文生 姜进红 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期483-486,共4页
部分微波管的特殊使用条件要求阴极具有快速启动能力,即要求阴极组件加电后在十几秒甚至更短的时间内达到一定的发射电流。同时,还要求快热阴极组件具有良好的耐振动、冲击能力。本文介绍了高效率快热阴极组件的设计原则,并给出了一种... 部分微波管的特殊使用条件要求阴极具有快速启动能力,即要求阴极组件加电后在十几秒甚至更短的时间内达到一定的发射电流。同时,还要求快热阴极组件具有良好的耐振动、冲击能力。本文介绍了高效率快热阴极组件的设计原则,并给出了一种多注速调管用快热多注阴极的设计实例,该阴极组件已经成功应用于某多注速调管,并具有良好的快热性能。 展开更多
关键词 快热 阴极组件 多注速调管 熔融热子
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太赫兹真空电子器件用场发射阴极技术分析 被引量：2
19
作者 李兴辉 白国栋 +2 位作者 李含雁 丁明清 冯进军 《微波学报》 CSCD 北大核心 2015年第S1期48-51,共4页
本文阐述了太赫兹真空电子器件对阴极电子源的需求条件,分析了在该器件中应用场发射阴极的可能性。介绍了当前两种主要场发射阴极,即金属薄膜场发射阴极和碳纳米管场发射阴极的国内外发展情况,指出了它们各自的优势以及实际应用中存在... 本文阐述了太赫兹真空电子器件对阴极电子源的需求条件,分析了在该器件中应用场发射阴极的可能性。介绍了当前两种主要场发射阴极,即金属薄膜场发射阴极和碳纳米管场发射阴极的国内外发展情况,指出了它们各自的优势以及实际应用中存在的障碍,并提出了相应的解决途径。试验和分析结果表明,场发射阴极具有很好的太赫兹真空电子器件应用前景。 展开更多
关键词 太赫兹 真空电子器件 场发射阴极 金属薄膜场发射阴极 碳纳米管
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激光蒸发薄膜钪系阴极的研究 被引量：10
20
作者 王亦曼 潘同武 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第1期10-17,共8页
利用现代激光蒸发薄膜沉积技术，完成了Sc2O3＋W薄膜的沉积实验研究，并应用于薄膜型钪系阴极的研制。初步实验表明，这一方法具有稳定、易控、省时、省料和工艺重复性好的优点。所研制的阴极显示了优异的发射性能和良好的激活与耐高温... 利用现代激光蒸发薄膜沉积技术，完成了Sc2O3＋W薄膜的沉积实验研究，并应用于薄膜型钪系阴极的研制。初步实验表明，这一方法具有稳定、易控、省时、省料和工艺重复性好的优点。所研制的阴极显示了优异的发射性能和良好的激活与耐高温特性。 展开更多
关键词 激光蒸发技术 钪系 阴极 发射性能 真空电子器件
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