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采用 PWM 静电伺服技术的微型角速度传感器
1
作者 罗晓章 张燕娥 周百令 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第1期1-3,共3页
本文介绍了采用ＰＷＭ静电伺服技术的微型角速度传感器的结构组成，分析了其工作机理，提出了其基本的检测原理。采用ＰＷＭ检测技术，使微弱、低频信号的高精度检测成为现实。
关键词 角速度传感器 静电伺服技术 硅微结构 传感器
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微机械角速度传感器的研制 被引量：1
2
作者 邵良杰 罗晓章 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第8期3-4,13,共3页
文中介绍一种用于测量运动物体角速度的微机械角速度传感器，包括其结构组成、工作机理、运动方程、制作工艺以及测试结果。由于其尺寸的大幅度减小，使它在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。
关键词 微机械 角速度传感器 纳米技术 研制
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无限范围的容性角度传感器
3
作者 Pete.,RD 倩文 《现代计量测试》 1993年第2期 38-41,共4页
关键词 角速度 旋转 角度传感器
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