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基于激光干涉仪对天文底片扫描仪两轴气浮运动平台垂直度的测量 被引量:1
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作者 王亮亮 商正君 +4 位作者 杨美婷 杨静 董姗 赵建海 于涌 《工业控制计算机》 2025年第1期4-6,9,共4页
上海天文台开展高精度天文底片专用扫描仪的自主研制,垂直度误差是扫描仪所用两轴线性气浮运动平台的关键技术指标之一。基于直线度的干涉测量原理,使用RENISHAW XL80激光干涉仪及光学直角尺搭建垂直度测量光路,对两轴线性气浮式运动平... 上海天文台开展高精度天文底片专用扫描仪的自主研制,垂直度误差是扫描仪所用两轴线性气浮运动平台的关键技术指标之一。基于直线度的干涉测量原理,使用RENISHAW XL80激光干涉仪及光学直角尺搭建垂直度测量光路,对两轴线性气浮式运动平台的垂直度误差进行了测量。测量结果表明:在450 mm×450 mm工作范围内,气浮运动平台两个运动轴的垂直度误差为1.356″,标准偏差为0.121″,满足高精度天文底片扫描仪研制的要求。使用光学直角尺的激光干涉测量方法具备光路布置简便和测量效率高的特点,适合气浮运动平台垂直度的日常检测和标校。 展开更多
关键词 激光干涉仪 气浮运动平台 直线度 垂直度
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分光镜厚度对双臂Tolansky干涉自准直仪测角准确性的影响
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作者 方振远 张宝武 +6 位作者 崔建军 张斌 陈恺 许子杰 朱玲 孙怡 罗贤欢 《物理学报》 北大核心 2025年第5期78-86,共9页
为了解决Tolansky干涉微小角度测量过程依赖动镜测量臂臂长的问题,提出了一种双臂Tolansky干涉自准直测角方案,针对其中分光镜厚度对测角准确性的影响,利用几何光学的单折射球面公式和过渡公式分析了分光镜厚度影响下的虚拟点光源位置,... 为了解决Tolansky干涉微小角度测量过程依赖动镜测量臂臂长的问题,提出了一种双臂Tolansky干涉自准直测角方案,针对其中分光镜厚度对测角准确性的影响,利用几何光学的单折射球面公式和过渡公式分析了分光镜厚度影响下的虚拟点光源位置,建立了包含分光镜厚度和折射率的圆心偏转量与偏转角之间的关系,通过虚拟仿真和实体实验相结合的方式详细考察了分光镜厚度对测角准确性的影响.结果显示,分光镜厚度不同会影响初始圆心的位置;随着分光镜厚度的增大,不同角度下,仿真测量结果与含厚度因素关系式理论值的相对偏差在±0.5%以内;在同一角度下,所建立的含厚度因素关系式与不含厚度因素关系式的差值逐渐增大.在1 mm分光镜的厚度下,以已标定自准直仪所测导轨数据为准,所建立的含厚度因素关系式与不含厚度因素关系式的相对误差仅为0.22%.本文结果为这种新型自准直仪的深度研究和开发提供了重要的指导. 展开更多
关键词 Tolansky 干涉 自准直仪 同心圆环 微小角度
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应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪
3
作者 张祐诚 郑东晖 +2 位作者 黄一飞 李晶晶 陈磊 《光学技术》 北大核心 2025年第2期169-174,共6页
红外梯度折射率材料折射率大且折射率变化大,导致干涉条纹密度大且密度变化大。为了精确测量红外梯度折射率材料,研究了一种λ=10.6μm红外马赫-曾德尔干涉仪,设计了一种变焦、定焦同步成像方案,解决了材料大梯度分布情况下条纹过密导... 红外梯度折射率材料折射率大且折射率变化大,导致干涉条纹密度大且密度变化大。为了精确测量红外梯度折射率材料,研究了一种λ=10.6μm红外马赫-曾德尔干涉仪,设计了一种变焦、定焦同步成像方案,解决了材料大梯度分布情况下条纹过密导致的难以测量难题,通过测量红外梯度折射率材料的透射波前从而得到其折射率分布。利用该干涉仪测量厚度为2mm的轴向梯度折射率样品和厚度为9mm的径向梯度折射率样品,得到两样品折射率变化分别为0.305和0.053。使用该干涉仪测量红外梯度折射率样品,样品折射率变化陡度最大为0.035。为了验证该干涉仪的测量精度,测量厚度为10mm的硅片的透射波前,结果表示折射率测量误差在10^(-5)量级。 展开更多
关键词 干涉测量 红外干涉仪 马赫-曾德尔干涉仪 折射率梯度
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X射线衍射仪的测试与维护
4
作者 吕天明 徐强 +4 位作者 蔡蕊 王瑜 张守磊 张环月 孟长功 《分析仪器》 2025年第3期113-116,共4页
X射线衍射仪(XRD)被广泛应用于化学、材料、机械等诸多领域。正确地使用和维护不仅能保证设备良好的运行状态,还能提高使用效率和寿命。此外,针对不同种类的样品只有选择合适的制样方式和测试方法,才能够得到高质量的数据。结合日常管... X射线衍射仪(XRD)被广泛应用于化学、材料、机械等诸多领域。正确地使用和维护不仅能保证设备良好的运行状态,还能提高使用效率和寿命。此外,针对不同种类的样品只有选择合适的制样方式和测试方法,才能够得到高质量的数据。结合日常管理经验,本文主要对XRD日常设备管理和相关样品测试中需要注意的关键问题进行了总结归纳。 展开更多
关键词 X射线衍射仪 维护 测试
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光度计量仪器非线性误差计算方法的分析
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作者 曾智 曾丽梅 +2 位作者 杨济华 陈坤 穆亚勇 《计量与测试技术》 2025年第6期124-126,134,共4页
线性度是指传感器输入量与输出量之间的静态特性曲线。该曲线偏离理论直线的程度(即非线性误差)表示传感器的实际输出结果特性曲线和参考值拟合直线(即理论直线)之间的最大偏差与其量程范围内的最大输出之百分比,且误差越小越好。本文... 线性度是指传感器输入量与输出量之间的静态特性曲线。该曲线偏离理论直线的程度(即非线性误差)表示传感器的实际输出结果特性曲线和参考值拟合直线(即理论直线)之间的最大偏差与其量程范围内的最大输出之百分比,且误差越小越好。本文根据光照度计和光亮度计检定规程,采用端基法的线性回归拟合方法对其进行评价,并通过实际测量值的数据分析,给出两种方法的评价结果。 展开更多
关键词 光照度计和亮度计 非线性误差评价 最小二乘法
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一种面向原子干涉仪均匀量子非破坏测量的光学环形腔
6
作者 王恩龙 王国超 +3 位作者 朱凌晓 卞进田 莫小娟 孔辉 《物理学报》 北大核心 2025年第3期67-78,共12页
高精细度光学谐振腔辅助的量子非破坏(quantum nondemolition,QND)测量可产生原子自旋/动量压缩态,是提升原子干涉灵敏度以突破标准量子极限的重要手段.传统Fabry-Perot腔内驻波场结构导致的光与原子相互作用不均匀性,使得原子自旋压缩... 高精细度光学谐振腔辅助的量子非破坏(quantum nondemolition,QND)测量可产生原子自旋/动量压缩态,是提升原子干涉灵敏度以突破标准量子极限的重要手段.传统Fabry-Perot腔内驻波场结构导致的光与原子相互作用不均匀性,使得原子自旋压缩度在演化过程中逐渐衰退.本文研究一种面向原子干涉仪均匀QND测量的光学环形腔,分析环形腔内行波场结构对光与原子相互作用均匀性的影响,设计并研制了高精细度(F=2.4(1)×10~4)高真空兼容型光学环形腔,并测试了环形腔特性.在此基础上,制备88Sr冷原子系综并与环形腔模式耦合,通过环形腔差分测量方式提取原子经过腔模过程中对环形腔造成的色散相移,实现对原子数目的非破坏测量.实验结果表明在探测光功率为20μW条件下,测得环形腔色散相移为40 mrad,耦合进腔内原子数目约为1×10~5.调节原子与腔模位置匹配及探测光失谐量等参数,验证了环形腔色散相移与QND测量理论的一致性.本文研制的光学环形腔为原子干涉仪中自旋/动量压缩态的产生提供重要解决途径,有望进一步提升原子干涉灵敏度,并广泛应用于腔增强型量子精密测量中. 展开更多
关键词 光学环形腔 量子非破坏测量 自旋压缩 原子干涉
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激光干涉仪水准标尺检定装置阿贝误差的补偿和测量不确定度评定
7
作者 谢春江 王铸阳 《中国计量》 2025年第9期115-118,共4页
水准标尺是测定高差的常用长度标准,水准标尺的主流检定/校准方法规定使用激光干涉仪或高精度光栅尺作为标准器。在使用激光干涉仪对高精度因瓦水准标尺进行检定/校准时,系统的阿贝误差对于测量结果会产生较大的影响。文章就整个测量系... 水准标尺是测定高差的常用长度标准,水准标尺的主流检定/校准方法规定使用激光干涉仪或高精度光栅尺作为标准器。在使用激光干涉仪对高精度因瓦水准标尺进行检定/校准时,系统的阿贝误差对于测量结果会产生较大的影响。文章就整个测量系统的误差来源与阿贝误差的补偿方法进行了分析,并对整个系统的测量不确定度进行了评定。 展开更多
关键词 计量学 阿贝误差补偿 水准标尺 激光干涉仪 不确定度评定
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一种基于非均匀阵列线性拟合的干涉仪测向方法研究
8
作者 曹森 蔡春霞 《黑龙江科学》 2025年第20期18-21,共4页
为满足载机平台的隐身需求,机载干涉仪天线大量采用宽带隐身天线,且测向的空域覆盖范围在不断扩大,造成干涉仪通道间相位差的随机误差不断增大,进而导致干涉仪测向的错误概率不断增大。针对以上问题,提出一种基于非均匀阵列线性拟合的... 为满足载机平台的隐身需求,机载干涉仪天线大量采用宽带隐身天线,且测向的空域覆盖范围在不断扩大,造成干涉仪通道间相位差的随机误差不断增大,进而导致干涉仪测向的错误概率不断增大。针对以上问题,提出一种基于非均匀阵列线性拟合的干涉仪测向方法,相对于传统的干涉仪测向方法,在同等通道间相位误差条件下,干涉仪测向的正确概率大幅提升。仿真验证了该方法的可行性,为提升干涉仪测向能力奠定了很好的基础。 展开更多
关键词 相位误差 非均匀阵列 线性拟合 干涉仪测向
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应用于超高速流场电子密度分布测量的七通道微波干涉仪测量系统
9
作者 马平 田径 +3 位作者 田得阳 张宁 吴明兴 唐璞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期138-150,共13页
高超声速飞行器在临近空间飞行时,由于飞行器与空气剧烈的相互作用,形成包含等离子体鞘套和尾迹的等离子体流场,研究其电子密度分布特性对高超声速飞行器的目标识别、测控通信等具有重要意义.地面模拟实验测量是研究等离子体包覆高超声... 高超声速飞行器在临近空间飞行时,由于飞行器与空气剧烈的相互作用,形成包含等离子体鞘套和尾迹的等离子体流场,研究其电子密度分布特性对高超声速飞行器的目标识别、测控通信等具有重要意义.地面模拟实验测量是研究等离子体包覆高超声速飞行器电磁散射特性的有效方法之一,为满足地面模拟实验瞬态等离子体流场电子密度分布的测量需求,本文提出了一种Ka波段七通道微波干涉仪测量系统研制方案.该系统采用单发七收的方式,利用单曲面透镜将波导开口天线辐射的电磁波转化为近似平面波,将7个平行且非对称排列的开口波导作为接收通道天线,缩减了接收天线的尺寸以及天线之间的距离,提高了测量的空间分辨率.基于七通道微波干涉仪测量系统在弹道靶和激波管设备开展了动态实验,测量了超高速流场电子密度二维分布,结果表明该系统具备瞬时大动态范围信号的接收能力,幅度线性动态范围优于65 dB,相位动态范围180°,响应时间优于1μs;所测量的超高速流场等离子体电子密度二维分布,能够较好地反映弹道靶设备与激波管设备产生的瞬态等离子体细节变化,电子密度测量动态范围为(10^(10)-10^(13))cm^(-3)量级,电子密度测量误差不超过0.5个数量级,径向空间分辨率优于15 mm. 展开更多
关键词 超高速流场 等离子体 微波干涉仪 电子密度 分布测量
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基于多轴运动平台的管屏堆焊厚度检测设备结构设计研究
10
作者 陆卓冀 《中国设备工程》 2025年第20期167-169,共3页
管屏长期处于一种恶劣的环境中运行(腐蚀、高温等),管屏的使用寿命不长,维修率高。通过堆焊对管屏进行表面改性是一种非常有效的工艺手段,能有效提高管屏的使用寿命和耐用性。管屏在堆焊后,需要对管屏进行厚度检测验收,目前采用人工检... 管屏长期处于一种恶劣的环境中运行(腐蚀、高温等),管屏的使用寿命不长,维修率高。通过堆焊对管屏进行表面改性是一种非常有效的工艺手段,能有效提高管屏的使用寿命和耐用性。管屏在堆焊后,需要对管屏进行厚度检测验收,目前采用人工检测的方法检测管屏厚度,费时费力。为解决这一难题,本文设计了一种基于多轴运动平台的管屏用检测探头装置,重点研究其滑台运动模块、管屏夹持结构与支撑机架的结构配置与协调运行方式。该装置通过三轴联动加旋转控制,实现检测探头在空间内的多自由度精准运动,配合自定心夹持机构与视觉定位系统,完成复杂管屏的自动化检测,旨在提升检测装置的灵活性与检测精度,为检测设备的优化设计提供参考。 展开更多
关键词 多轴运动平台 检测探头 管屏检测设备 结构设计
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激光跟踪干涉仪在坐标测量机直线度测量中的应用
11
作者 郭文波 《计量与测试技术》 2025年第3期45-47,共3页
坐标测量机直线度的测量通常使用激光干涉仪或自准直仪。本文采用激光跟踪干涉仪进行测量,并进行实验验证。结果表明:该干涉仪具有可行性和可靠性。
关键词 激光跟踪干涉仪 直线度 坐标测量机
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五轴数控机床旋转轴综合误差测量与辨识 被引量:1
12
作者 杨桂娟 张岩 赵红美 《机械设计与制造》 北大核心 2024年第2期193-197,共5页
针对五轴数控机床旋转轴的运动误差和几何误差的综合评估问题,在不考虑直线轴运动误差影响的情况下,提出了一种采用R-test测量仪的测量及其辨识方法。首先,测量过程按照参考球的两种不同高度设置进行,仅移动旋转轴,而不移动直线轴。其次... 针对五轴数控机床旋转轴的运动误差和几何误差的综合评估问题,在不考虑直线轴运动误差影响的情况下,提出了一种采用R-test测量仪的测量及其辨识方法。首先,测量过程按照参考球的两种不同高度设置进行,仅移动旋转轴,而不移动直线轴。其次,利用R-test测量仪对旋转轴的运动精度进行了测量。此外,假设旋转轴位置几何误差和工作台上参考球的设置误差是影响测量结果的因素,并通过最小二乘法对这些因素进行分离。采用IBS公司的R-test测量仪,对米克朗公司UCP800Duro立式五轴加工中心C轴的运动误差和几何误差进行了测量实验。研究结果表明,该方法能够正确识别旋转轴的运动误差和几何误差,可以有效地综合评估旋转轴的运动精度,并有助于进一步提高旋转工作台的精度。 展开更多
关键词 五轴数控机床 旋转轴 运动误差 几何误差 R-test测量仪
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基于自适应极值的白光干涉信号解调算法研究 被引量:1
13
作者 祖洪飞 陈宁 +3 位作者 郭钢祥 朱靖 张翔 陈章位 《轻工机械》 CAS 2024年第2期8-14,22,共8页
针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将... 针对传统时域解调算法等光程点定位稳定性差、抗干扰能力弱,而频域解调算法效率低且部分方法受扫描采样步长限制等问题,课题组提出一种基于自适应极值的白光干涉解调算法。从干涉信号统计学规律出发,通过对干涉信号包络曲线加权平均,将它修正为高斯型包络曲线;然后,通过对包络曲线高斯拟合插值得到等光程点,进而得到测量方向的深度信息以及三维形貌;最后,以高度为20μm标准台阶样块为测量对象进行多次实验。结果表明:与传统算法相比,课题组所提出算法的测量重复性和精度均有显著提升。该算法为白光干涉中信号解调提供了一种重复性更好、误差更小的方法。 展开更多
关键词 白光干涉测量系统 解调算法 自适应极值 高斯包络 干涉信号解调
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光栅干涉精密纳米测量技术 被引量:6
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作者 李星辉 崔璨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期2591-2611,共21页
光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数... 光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数,阐述了光栅干涉测量中的零差和外差两种技术原理,并在此基础上分析了光栅干涉仪的国内外发展动态,包括代表性的设备厂商,和近年来国内外在纳米及亚纳米精度的单、多自由度系统方面的研究开发情况。进一步地,对光栅干涉测量的精度和误差进行了分析与讨论,介绍了误差来源、分类及针对性的补偿方法。最后,对光栅干涉仪的发展现状及未来前景进行了讨论,期望为光栅干涉仪系统的开发和优化提供参考。 展开更多
关键词 精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿
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Interferometers Utilizing Reversible X-ray-induced Chemical Changes in Poly(N-isopropylacrylamide)Microgels 被引量:1
15
作者 Ya-Jie Wang Ping Zhang +2 位作者 Michael J Serpe Hong Chen Liang Hu 《Chinese Journal of Polymer Science》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第12期1915-1924,I0008,共11页
Photonic materials,which react to light,have garnered interest due to their capability to exhibit adjustable structural colors.Typically,light targets the UV,visible,or near-IR spectrums.In this study,microgel-based p... Photonic materials,which react to light,have garnered interest due to their capability to exhibit adjustable structural colors.Typically,light targets the UV,visible,or near-IR spectrums.In this study,microgel-based photonic materials that are capable of reversibly responding to Xrays have been engineered.To accomplish this,azobenzene(Azo)-containing poly(N-isopropylacrylamide)(pNiPAm)-based microgels are synthesized.Subsequently,ZnS scintillator and Cr/Au are applied on each side of the poly(methyl methacrylate(PMMA)substrate.Subsequently,the Azo MG monolayer is deposited onto the Au surface,followed by the deposition of an additional layer of Cr/Au.This process generates ZnS/PMMA/Cr/Au/Azo MG/Cr/Au or ZnS/Au-Azo MG-Au structure.Functioning as a typical interferometer,ZnS/Au-Azo MG-Au demonstrates tunable colors based on the separation distance between the two Au layers.The ZnS scintillator can absorb and convert X-rays into Uv light,initiating the transition of the Azo groups from a trans to a cis state.Consequently,this transition causes the Azo MG to swell.As Azo MG swells,the distance between the two Au layers increases,resulting in a red-shift of approximately 350 nm in the optical signal of the ZnS/Au-Azo MG-Au interferometer.Remarkably,this X-ray responsivity of the interferometer is reversible,as it returns to its initial state after being stored in the dark for 24 h.To demonstrate its capabilities,the ZnS/Au-Azo MG-Au interferometer successfully releases a drug when triggered by X-ray stimulation,thus validating its potential.The microgel-based interferometers hold significant promise for applications in chemoradiotherapy,radiobiology,and actuators in space. 展开更多
关键词 N-ISOPROPYLACRYLAMIDE Microgels INTERFEROMETERS X-rays SCINTILLATORS
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具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪
16
作者 龚柯安 付天坤 +3 位作者 何晨嵩 张成悌 付宁 李华 《中国测试》 CAS 北大核心 2024年第S01期106-109,共4页
本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差... 本文利用具有F-P标准具的管状基准的等倾干涉原理,设计了两种具有管状基准照明系统的斐索平面相移式干涉仪。这两种干涉仪通过气泵来增压或者减压管状基准主体内的气压,从而改变管状基准内介质折射率,进一步改变参考光和测量光的光程差,以此实现相移技术,完成对平晶平面度的测量。两种干涉仪分为立式和卧式,分别对应不同使用场景。相较于等倾干涉仪测量系统,本文设计的干涉仪系统改善了热交换的环境,测量点数增多,可给出被测平晶平面地形图;相较于利用压电陶瓷实现相移技术的菲索平面干涉仪,本文设计的干涉仪系统在测量中没有机械运动的移相,且造价更低,安全性更高。 展开更多
关键词 管状基准 斐索干涉仪 相移技术 平面度测量
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基于光学干涉原理的温度传感研究(特邀)
17
作者 仇立强 杨策 +7 位作者 张临夏 刘琳 葛宪莹 陈萍萍 孙雨婷 赵昌迪 冉雪婷 倪亮 《光电技术应用》 2024年第1期46-52,共7页
提出一种基于光学干涉原理的温度传感器。通过在参考光路中引入单模光纤产生高斯光束;在测量光路中引入光纤光栅结构,使入射光通过光纤光栅、准直器产生平行的高斯光束,经螺旋相位板产生带有轨道角动量的拉盖尔-高斯光束,两束光将在合... 提出一种基于光学干涉原理的温度传感器。通过在参考光路中引入单模光纤产生高斯光束;在测量光路中引入光纤光栅结构,使入射光通过光纤光栅、准直器产生平行的高斯光束,经螺旋相位板产生带有轨道角动量的拉盖尔-高斯光束,两束光将在合束器上发生干涉,产生螺旋式干涉图像。在测量光路中引入光纤光栅结构,主要是利用光纤光栅的光延迟特性。当环境温度变化时,光在光纤光栅中的传播产生相位延迟,导致测量光路和参考光路之间相位差发生变化,使螺旋干涉图像发生旋转。通过高分辨率相机实时检测干涉图像的变化,并对干涉图像进行图像处理,准确提取干涉图像的变化信息。通过上述方法,使传感器的温度灵敏度达到4.08°/℃,这将在温度传感领域具有重要的应用价值。 展开更多
关键词 光学干涉原理 参考光路 测量光路 干涉图像 温度灵敏度
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基于激光干涉仪的轮径测量器检具测量装置 被引量:1
18
作者 张庆华 梁英奇 刘薇 《上海计量测试》 2024年第4期53-57,共5页
以组合量块式轮径测量器检具为对象,分析了目前常用方法中存在的问题,提出了一种新的测量思路,并开发了基于激光干涉仪的测量方法和测量装置。通过测量不确定度的分析评定和实验的比对验证,证明该装置的测量能力是满足相关要求的,能够... 以组合量块式轮径测量器检具为对象,分析了目前常用方法中存在的问题,提出了一种新的测量思路,并开发了基于激光干涉仪的测量方法和测量装置。通过测量不确定度的分析评定和实验的比对验证,证明该装置的测量能力是满足相关要求的,能够对组合量块式轮径测量器检具进行有效测量。 展开更多
关键词 组合量块式 激光干涉仪 测量不确定度 测量能力
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双路信号相位同步测量系统设计与实现 被引量:27
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作者 杜志广 颜树华 +2 位作者 林存宝 王国超 魏春华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期315-319,共5页
为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统... 为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统在100k Hz载波频率下测量分辨率可以达到0.18°,双路信号下的相位同步测量误差同样为0.18°。结果表明,该系统实现了整小数相位的精确测量,确保了双路信号相位的实时同步探测,能够满足各种2维外差干涉位移测量系统对相位同步测量的需求。 展开更多
关键词 测量与计量 相位测量 双路同步 脉冲填充 外差干涉
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基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 被引量:36
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作者 吕强 李文昊 +3 位作者 巴音贺希格 柏杨 刘兆武 王玮 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第1期39-50,共12页
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测... 介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度
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