扫描近场光学显微镜光纤探针的制作与分析 被引量：4

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作者 张国平 明海 +5 位作者 陈晓刚 吴云霞 乐德芬 谢建平 王克逸 黄文浩 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期20-24,共5页

描述了制作扫描近场光学显微镜光纤探针的两种简便有效的方法——带保护层的化学腐蚀法和光纤熔接机拉锥法，从实验中比较、分析了两种制作方法的优缺点，实验表明这两种方法均能制作出针尖直径为５０ｎｍ左右的光纤探针。

关键词 显微镜 光纤探针 近场光学

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扫描近场光学显微镜的光纤探针 被引量：2

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作者 刘秀梅 王佳 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期25-29,34,共6页

扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）打破了传统光学显微镜的衍射极限分辨率，自８０年代中期出现以来在１０多年的时间内获得了迅速的发展，并在很多的领域有很广阔的应用前景。扫描探针的形状及针尖的大小是影响ＳＮＯＭ分辨率的关键因素... 扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）打破了传统光学显微镜的衍射极限分辨率，自８０年代中期出现以来在１０多年的时间内获得了迅速的发展，并在很多的领域有很广阔的应用前景。扫描探针的形状及针尖的大小是影响ＳＮＯＭ分辨率的关键因素之一。本文利用自己设计的实验装置提出一种制备探针的新颖热拉法，并将热拉法和腐蚀法相结合，大大提高了实验的成功率。两种方法获得的针尖最优尺寸分别可达９６ｎｍ和７６ｎｍ。 展开更多

关键词 显微镜 扫描探针 热拉法 腐蚀法 SMOM

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表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响

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作者 梁嵘 李达成 +1 位作者 曹芒 赵洋 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期30-34,共5页

以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探... 以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探针直径的增大而增大，而Ｒｓｋ不随光探针直径单调变化。 展开更多

关键词 轮廓测量 光学探针 SPM 扫描探针显微镜

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镀膜光纤探针无透性的一种检测方法

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作者 戴宏 周庆 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第5期34-35,共2页

在近场光学显微镜的研制过程中，制备合适的探针是一个重要的环节。在腐蚀法制得的光纤尖端附近镀铝膜后，采用扫描电子显微镜中的样品充电效应可检测出探针透光点的分布情况，亦可直接用电镜观察膜表面的均匀性，这对提前剔除不良探针... 在近场光学显微镜的研制过程中，制备合适的探针是一个重要的环节。在腐蚀法制得的光纤尖端附近镀铝膜后，采用扫描电子显微镜中的样品充电效应可检测出探针透光点的分布情况，亦可直接用电镜观察膜表面的均匀性，这对提前剔除不良探针有重要作用。 展开更多

关键词 近场光学显微镜 探针 检测 NFOM

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用光栅测长及微机处理改造万工显

5

作者 刘雁蜀 《实用测试技术》 1997年第1期39-39,47,共2页

本文利用光栅和计算机技术对万能工具显微镜改造，使测量精度及工作可靠性测量效率提高了一步。实现数字显示自动记录、运算、处理结果的一体化。

关键词 光栅测长 微机处理 显微镜 技术改造 可靠性

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多功能扫描探针显微镜的研制与应用

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作者 施倪承 马颉生 《地学前缘》 EI CAS CSCD 1998年第1期40-40,共1页

多功能扫描探针显微镜的研制与应用施倪承马吉吉生（中国地质大学，北京，１０００８３）纳米科技的兴起使介于宏观与微观世界之间的介观领域的探索成为各学科研究的热点。纳米探测学的研究热潮是由１９８２年ＣｅｒｄＢｉｎｎｉｎｇ和... 多功能扫描探针显微镜的研制与应用施倪承马吉吉生（中国地质大学，北京，１０００８３）纳米科技的兴起使介于宏观与微观世界之间的介观领域的探索成为各学科研究的热点。纳米探测学的研究热潮是由１９８２年ＣｅｒｄＢｉｎｎｉｎｇ和ＨｅｉｎｒｉｃｈＲｏｈｒｅｒ研制成... 展开更多

关键词 显微镜 探针显微镜 多功能显微镜

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扫描遂道显微镜 被引量：1

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作者 张海成 《长春光学精密机械学院学报》 1993年第2期6-11,共6页

应用量子力学中的电子遂道效应而制作的、能直接观察物质表面微观性状和原子配列的现代化超高分辨率装置——扫描遂道显微镜,简称‘STM’,已开发整整十年。本文就其原理,特性,技术关键,发展现状,应用领域以及目前存在的问题作了综合评... 应用量子力学中的电子遂道效应而制作的、能直接观察物质表面微观性状和原子配列的现代化超高分辨率装置——扫描遂道显微镜,简称‘STM’,已开发整整十年。本文就其原理,特性,技术关键,发展现状,应用领域以及目前存在的问题作了综合评述。最后指出其发展趋势。 展开更多

关键词 扫描隧道显微镜 显微镜 制造 发展

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光电技术在显微镜产品质量检验中的应用 被引量：1

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作者 萧泽新 方仲彦 《仪表工业》 1991年第5期25-26,20,共3页

显微镜产品质量是否合格,要经过多种性能指标测试,其传统的检测方法是质检人员根据光学原理,借助多种检具目视进行判定。这种方法在一定程度上带有主观随意性,劳动强度大,且精度(10^(-2)mm)难以再提高。为了弥补传统方法之不足,笔者把... 显微镜产品质量是否合格,要经过多种性能指标测试,其传统的检测方法是质检人员根据光学原理,借助多种检具目视进行判定。这种方法在一定程度上带有主观随意性,劳动强度大,且精度(10^(-2)mm)难以再提高。为了弥补传统方法之不足,笔者把光电技术应用于显微镜产品质量检验之中, 展开更多

关键词 光电技术 显微镜 产品质量 检验

原文传递

带小孔零件挤压成形模具的设计

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作者 张治民 《金属成形工艺》 北大核心 1995年第4期57-58,106,共3页

就仪器、仪表等机械行业常用的带有小孔零件的成形工艺进行了分析研究,针对某光学显微镜上粗动手轮这一典型零件进行力能计算分析,提出了用镦挤成形内斜小孔取代机械加工。该成形模具结构简单紧凑,可一次成形外形及小φ7的带斜度小孔,... 就仪器、仪表等机械行业常用的带有小孔零件的成形工艺进行了分析研究,针对某光学显微镜上粗动手轮这一典型零件进行力能计算分析,提出了用镦挤成形内斜小孔取代机械加工。该成形模具结构简单紧凑,可一次成形外形及小φ7的带斜度小孔,且成形精度高,模具采用镶套结构,可一模多用,降低了模具成本,缩短了生产周期。该模具具有两个凸模,凸模1将斜孔台阶的成形、定位、顶杆等集于一体,减少或消除了壁厚差,排气孔的巧妙设计,保证了金属的充填性。凸模2主要是传递挤压力用于成形,其上没有让位孔,保证了其必要的行程和两个凸模中心的一致性,保证了产品的成形精度,通过实验和现场生产应用表明:该模具结构合理,产品精度高,材料利用率提高一倍,机加工时减少了60%以上,具有较高的经济价值和广泛的实用性。 展开更多

关键词 镦粗 挤压 挤压模 显微镜 粗动手轮

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磁力显微镜及磁性涂层表面观测

10

作者 孙克 冯远冰 +1 位作者 徐海 韩宝善 《磁记录材料》 1997年第1期10-12,共3页

利用原子力显微镜（AFM）和磁力显微镜（MFM）技术初步观测了由单畴或接近单畴的钡钴钛铁氧体BaMxFe12-xO19（M=Co，Ti；x=0．7）颗粒做成的磁性涂层的形貌和表面散磁场的分布状况。同时用振动样品磁强计（VSM）测量了该涂层的退磁曲线... 利用原子力显微镜（AFM）和磁力显微镜（MFM）技术初步观测了由单畴或接近单畴的钡钴钛铁氧体BaMxFe12-xO19（M=Co，Ti；x=0．7）颗粒做成的磁性涂层的形貌和表面散磁场的分布状况。同时用振动样品磁强计（VSM）测量了该涂层的退磁曲线。从观测照片上可以看出涂层表面颗粒分布状态和磁场分布情况。 展开更多

关键词 显微镜 磁力显微镜 磁性涂层 涂层 表面观测

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磁控溅射沉积纳米结构银薄膜及其表征 被引量：1

11

作者 吴浩 熊玉卿 +3 位作者 孙岩 郭云 杨得全 达道安 《真空电子技术》 1999年第4期43-47,共5页

本文通过利用射频磁控溅射方法，选择和控制沉积薄膜工艺参数，在石英（ｑｕａｒｔｚ）和高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）上制备出纳米尺度的银膜。利用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）对银膜的表面形貌和分布观察分析可得，纳米银颗粒的直径在３... 本文通过利用射频磁控溅射方法，选择和控制沉积薄膜工艺参数，在石英（ｑｕａｒｔｚ）和高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）上制备出纳米尺度的银膜。利用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）对银膜的表面形貌和分布观察分析可得，纳米银颗粒的直径在３ｎｍ到２０ｎｍ之间。经过紫外－可见－近红外透射光谱（ＵＶ－ＶＩＳ－ＮＩＲ）测量证明：当纳米银颗粒的粒径在此范围内时，银膜的光学特征吸收峰的位置随着粒径的增大“红移”不大，但其半峰宽却随粒径的增大而增大。 展开更多

关键词 纳米结构薄膜 光学吸收 纳米银颗粒 STM

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光切显微镜示值误差检定方法及误差分析

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作者 林伟光 《上海计量测试》 1997年第1期33-33,共1页

JJG76—80光切显微镜检定规程指出:用单刻线样板检定光切显微镜示值误差时,先将该样板置于被检仪器工作台上,并调整仪器使样板在视场出现清晰的像,借助仪器手轮移动该样板,使其应用段连同两个记号一起呈现在狭缝清晰像一边,且其刻线方... JJG76—80光切显微镜检定规程指出:用单刻线样板检定光切显微镜示值误差时,先将该样板置于被检仪器工作台上,并调整仪器使样板在视场出现清晰的像,借助仪器手轮移动该样板,使其应用段连同两个记号一起呈现在狭缝清晰像一边,且其刻线方向与狭缝像的长边垂直,转动测微目镜的十字线,使其水平线平行狭缝像的边缘后,与样板刻线表面像重合,并得到第一次读数a1,然后转动测微目镜之水平线与样板刻线底部的像重合,得到第二次读数a_2,所测得深度应为: 展开更多

关键词 光切显微镜 示值误差 检定 误差分析

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改进万能工具显微镜进行坐标测量

13

作者 季涛 姚龙根 《钟表》 1991年第11期22-24,共3页

关键词 测量 手表 工具显微镜 坐标

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用于半导体、液晶显示器检查的欧林巴斯显微镜

14

作者 翁寿松 《电子工业专用设备》 1996年第1期53-55,共3页

用于半导体、液晶显示器检查的欧林巴斯显微镜翁寿松（无锡市元件四厂无锡２１４００２）日本欧林巴斯公司是以生产各种显微镜为主的专业公司，同时还生产具有超精密机械技术的微型机器人、具有超高性能电子技术的超声波显微镜和具有超... 用于半导体、液晶显示器检查的欧林巴斯显微镜翁寿松（无锡市元件四厂无锡２１４００２）日本欧林巴斯公司是以生产各种显微镜为主的专业公司，同时还生产具有超精密机械技术的微型机器人、具有超高性能电子技术的超声波显微镜和具有超高精度光学技术的步进光刻机镜头。该... 展开更多

关键词 显微镜 检查 制造工艺

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国产显微镜的现状及市场方略浅析

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作者 冯朝东 《光机电信息》 1996年第1期24-29,共6页

本文以大量详实的数据分析了国产显微镜目前的产品类别构成比畸偏低档,智能化低,当前行业产值与国民经济总值相比,比例严重偏低且发展不同步的现状,阐述了显微镜在国内、北美、西欧、东南亚等市场的需求势头及挤占国际市场份额的机遇,... 本文以大量详实的数据分析了国产显微镜目前的产品类别构成比畸偏低档,智能化低,当前行业产值与国民经济总值相比,比例严重偏低且发展不同步的现状,阐述了显微镜在国内、北美、西欧、东南亚等市场的需求势头及挤占国际市场份额的机遇,从面凸显了“上档次、上批量、扩大出口”摆脱困境的方略. 展开更多

关键词 显微镜 制造 市场经济

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显微镜有限机械筒长测量

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作者 张斌 《光仪技术》 1993年第2期46-47,共2页

关键词 显微镜 机械筒长 测量

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利用Mirau型相关显微镜进行面型检测的研究 被引量：1

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作者 陈侦 王桂英 王之江 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期706-710,共5页

在Ｍｉｒａｕ型干涉仪的基础上，利用相关检测的原理，实现了Ｍｉｒａｕ型相关面型检测仪。通过该面型检测技术，克服了移相显微干涉（ＰＳＭＩ）面型检测系统中纵向分辨能力受衍射效应制约这一限制，正确测量了面型的纵向尺度。

关键词 相关显微镜 面型检测 纵向分辨能力 Mirau型

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