光学纳米测量方法及发展趋势 被引量：22

1

作者 程晓辉 赵洋 李达成 《光学技术》 CAS CSCD 1999年第3期73-77,共5页

综述了光学方法中以频率跟踪方法、外差干涉仪、调频干涉仪、偏振干涉仪和光学光栅为代表的光学纳米测量方法。分析了它们的发展状况以及各自特点，指出建立适合于纳米测量的纳米环境是目前亟待解决的关键性问题。

关键词 纳米测量 纳米环境 干涉仪 发展趋势

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光栅纳米测量的研究与进展 被引量：5

2

作者 马修水 费业泰 +2 位作者 陈晓怀 李桂华 权继平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第4期53-55,共3页

概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术,重点讨论了基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。在对上述各测量系统分析研究的基础上,指出光... 概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术,重点讨论了基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。在对上述各测量系统分析研究的基础上,指出光栅纳米测量进一步研究的关键在于:研究基于新型测量原理的光栅纳米测量系统,研制光栅纳米测量系统的精密机械调整机构、光电信号处理和细分技术、误差分离和修正技术等。 展开更多

关键词 光栅纳米测量 双光栅测量系统 炫耀光栅 误差修正技术 二次莫尔条纹

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利用ZYGO干涉仪进行非球面检测技术研究 被引量：8

3

作者 龙夫年 郭秀梅 刘剑峰 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期231-233,共3页

为了能够利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面,提出了一种新的波前补偿方法,即透镜补偿与计算全息相结合. 通过设计实例表明,对于相对孔径为 1: 1. 08的大口径深度高次非球面,利用简单的 2片式透镜补偿器、并与计算全息的-1级... 为了能够利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面,提出了一种新的波前补偿方法,即透镜补偿与计算全息相结合. 通过设计实例表明,对于相对孔径为 1: 1. 08的大口径深度高次非球面,利用简单的 2片式透镜补偿器、并与计算全息的-1级衍射波相结合,系统的波前残余误差的均方根 (RMS)值可以控制在 0 .01λ以内. 结果表明,该检测方法具有通用性强,测量精度高等特点,较好的克服了以往各种检测方法的局限性. 展开更多

关键词 高次非球面 透镜补偿 计算全息

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高分辨率405nm激光显微成像系统研究 被引量：5

4

作者 刘佳 贺锋涛 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期806-809,共4页

研究了405 nm短波长激光作为照明光源、数值孔径0.65显微物镜组成的显微成像系统。采用该系统对CD-R及DVD-R盘片进行了显微成像,并对激光成像散斑进行了消除,同时利用CCD图像传感技术和图像采集技术对显微图像进行实时观察与存储,与卤... 研究了405 nm短波长激光作为照明光源、数值孔径0.65显微物镜组成的显微成像系统。采用该系统对CD-R及DVD-R盘片进行了显微成像,并对激光成像散斑进行了消除,同时利用CCD图像传感技术和图像采集技术对显微图像进行实时观察与存储,与卤素灯白光作为照明光源时的显微图像进行了比较。结果表明:该系统在卤素灯白光作为照明光源时对CD-R盘片信息点可清晰分辨,但对DVD-R盘片信息点的图像不可分辨;而在405 nm激光照明时信息点均可清晰分辨,系统分辨优于400 nm,明显高于普通卤素灯白光照明系统。 展开更多

关键词 高分辨率 405nm激光 CCD图像传感器 显微成像

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长时间活体成像的小动物固定解决方案

5

作者 戎叶 韩琴 +2 位作者 肖桂凤 林赵肖楠 吴航军 《分析测试技术与仪器》 CAS 2024年第2期67-75,共9页

为解决双光子活体显微成像试验中样本固定的问题,研制了一套适用于多种不同模式的小动物固定装置,能根据动物的大小进行灵活调整适配,可对小动物不同感兴趣区域(如脑部、腹部、四肢等)进行固定,确保成像过程中焦面的稳定,并可以对成像... 为解决双光子活体显微成像试验中样本固定的问题,研制了一套适用于多种不同模式的小动物固定装置,能根据动物的大小进行灵活调整适配,可对小动物不同感兴趣区域(如脑部、腹部、四肢等)进行固定,确保成像过程中焦面的稳定,并可以对成像的位置进行定位,保证长时间、多时间节点的稳定成像.装置简单易加工、成本低,能广泛适用,为活体成像提供了一种多功能的活体小动物固定方法,能够帮助研究人员完成大部分麻醉状态下小动物活体试验. 展开更多

关键词 活体成像 双光子成像 小动物 固定装置

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激光显微图像散斑对比度分析 被引量：2

6

作者 贺锋涛 刘佳 《西北大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期377-380,共4页

目的研究消除激光作为显微系统光源时产生的散斑。方法采用476nm蓝色激光作为光学显微系统照明光源,利用光纤振动法对激光显微图像散斑进行消除,同时采用CCD图像传感采集系统对抛光玻璃表面和DVD-R盘片进行显微成像,并对光纤在不同振动... 目的研究消除激光作为显微系统光源时产生的散斑。方法采用476nm蓝色激光作为光学显微系统照明光源,利用光纤振动法对激光显微图像散斑进行消除,同时采用CCD图像传感采集系统对抛光玻璃表面和DVD-R盘片进行显微成像,并对光纤在不同振动电压下的显微图像散斑对比度进行了分析。结果在1.1V振动电压下抛光玻璃表面的散斑对比度最小为23%,在相同条件下DVD-R盘片显微图像散斑噪声较小。在一定振动电压下散斑消除效果明显、成像较为清晰。结论比较传统方法,其优点在于不仅消除了散斑,同时光纤对激光光束也起到了匀光作用,可便于图像存储。 展开更多

关键词 光学显微系统 散斑 对比度

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动态光电显微镜 被引量：1

7

作者 杨进堂 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第3期95-99,共5页

介绍了用于检测光学度盘的动态光电显微镜的原理、光学系统、电子学系统及瞄准精度。

关键词 动态 光电显微镜 线纹检测 光电脉冲

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PDS显微密度计的性能测试及分析 被引量：1

8

作者 邢锦云 左健 +2 位作者 程庭柱 高德平 陈光华 《分析测试技术与仪器》 1994年第3期58-63,共6页

ＰＤＳ（ＰｈｏｔｏｍｅｔｒｉｃＤａｔａＡｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎＳｙｓｔｅｍ）的主要技术指标指的是该仪器的一些性能指标的极限值。由于在实际工作中，光密度精度和坐标精度与仪器的线性、噪声、速度、扫描方向、步长、孔径等参数相... ＰＤＳ（ＰｈｏｔｏｍｅｔｒｉｃＤａｔａＡｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎＳｙｓｔｅｍ）的主要技术指标指的是该仪器的一些性能指标的极限值。由于在实际工作中，光密度精度和坐标精度与仪器的线性、噪声、速度、扫描方向、步长、孔径等参数相互依赖和制约，所以必须弄清它们之间的关系，才能够获得高精度的数据。然而每台ＰＤＳ显微密度计之间，这些相互制约的性能有很大的离散性，因此使某些参数的选取无固定方式，必须因不同型号的仪器和被研究图象的特征而变。为此，我们对本室引进的精密仪器ＰＤＳ显微密度计的主要性能进行了测试及分析，获得了较为满意的测试及分析结果，可供ＰＤＳ用户操作人员参考。 展开更多

关键词 PDS显微密度计 性能测试 光度特性 机械性能 光密度精度 位置精度

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一种微型光电纤维检测仪的设计

9

作者 杨广华 高铁成 +4 位作者 安志泉 牛萍娟 苗长云 曹文洪 李全生 《天津工业大学学报》 CAS 2006年第5期7-9,共3页

为了方便在现场观测纺织纤维的形态及种类,开发了一种便携式新型光电纤维检测仪．文中详细介绍了仪器的设计原理,结构实现,并介绍了其应用实例,展示了用该检测仪所取得的图像数据．

关键词 纤维检测 CCD 光电装置

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数字式测微光电显微镜

10

作者 谢长文 蒋廷槐 曹学东 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期435-437,共3页

数字式测微光电显微镜谢长文，蒋廷槐，曹学东（中国科学院光电技术研究所）０引言随着现代科学技术的发展，用电表指示瞄准状态，调整读数鼓轮使电表指零，再从读数鼓轮上读出偏离量的光电显微镜已不能满足测量的需要，因为它只能瞄准... 数字式测微光电显微镜谢长文，蒋廷槐，曹学东（中国科学院光电技术研究所）０引言随着现代科学技术的发展，用电表指示瞄准状态，调整读数鼓轮使电表指零，再从读数鼓轮上读出偏离量的光电显微镜已不能满足测量的需要，因为它只能瞄准，用测微鼓轮读数的分辨率低，不能与... 展开更多

关键词 显微镜 测微光电显微镜 测量

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激光扫描显微镜中的OBIC成像功能

11

作者 袁雅珍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第3期111-115,共5页

扼要的介绍了激光扫描显微镜在国内外的发展状况，着重介绍了激光扫描显微镜中特殊成像功能ＯＢＩＣ成像的测量方法、基本原理、技术特色和应用前景。

关键词 激光扫描 显微镜 OBIC 成像 CCD

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光子计数技术用于SEM二次电子信号检测的理论探讨

12

作者 印建平 顾华俭 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 1990年第1期102-106,共5页

本文重点在分析比较PMT视频放大系统与PMT光子计数系统的噪声源,信噪比及探测灵敏度的基础上,就光子计数技术在扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)二次电子信号检测中的可能应用进行了初步的理论探讨。分析表明,SEM采用光... 本文重点在分析比较PMT视频放大系统与PMT光子计数系统的噪声源,信噪比及探测灵敏度的基础上,就光子计数技术在扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)二次电子信号检测中的可能应用进行了初步的理论探讨。分析表明,SEM采用光子计数技术后,信号探测灵敏度可提高一个量级以上,从而在相同的电子枪发射亮度与既定的电子光学系统下,可获得更高的图象分辩率与清晰度。 展开更多

关键词 PMT光子计数技术 SEM 二次电子信号检测 视频放大系统 扫描电子显微镜

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基于Hough变换的并行光电形状识别系统 被引量：8

13

作者 高隽 曹先彬 王煦法 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期127-128,123,共3页

本文介绍了基于Ｈｏｕｇｈ变换（ＨＴ）的并行光电形状识别系统．该系统采用ＨＴ进行形状特征提取，所提取的特征具有大小、位置不变性．为克服ＨＴ计算量大并需要很大存储空间问题，本文采用并行光学系统加以实现．所构成的系统具有并... 本文介绍了基于Ｈｏｕｇｈ变换（ＨＴ）的并行光电形状识别系统．该系统采用ＨＴ进行形状特征提取，所提取的特征具有大小、位置不变性．为克服ＨＴ计算量大并需要很大存储空间问题，本文采用并行光学系统加以实现．所构成的系统具有并行性和实时高速特性． 展开更多

关键词 HOUGH变换 形状识别 显微透镜 模式识别

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显微光密度计的维修

14

作者 邢锦云 池锦祺 《分析测试技术与仪器》 1994年第3期53-55,共3页

显微光密度计的维修邢锦云，池锦祺（中国科技大学结构分析实验室合肥２３００２６）本室的１０１０Ｍ型显微光密度计是一台以Ｍ～６８ｔｏｒｐｌｌｓ位微机控制的光机电一体化的平台式数字图象采集仪器。其辅助设备有２１ｔｏＡ型磁带... 显微光密度计的维修邢锦云，池锦祺（中国科技大学结构分析实验室合肥２３００２６）本室的１０１０Ｍ型显微光密度计是一台以Ｍ～６８ｔｏｒｐｌｌｓ位微机控制的光机电一体化的平台式数字图象采集仪器。其辅助设备有２１ｔｏＡ型磁带机及ＣＯＭＡＴＡＬ图象处理系统。该... 展开更多

关键词 1010M型显微光密度计 2100A型磁带机 COMATAL图象处理系统 故障现象 故障分析 故障排除

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牛顿环大视场显微数字测量

15

作者 魏河川 《广东教育学院学报》 2005年第5期68-70,共3页

在满足测量牛顿环的条件下,利用数码相机和计算机图像处理的功能,实现大视场显微数码测量牛顿环,测量结果的精确程度和置信度等于甚至优于用读数显微镜测量结果.

关键词 牛顿环 显微镜 数字图像处理

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大视场面阵CCD显微测量仪 被引量：2

16

作者 杜文华 王鸣 +1 位作者 马力 戚小平 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第3期266-267,271,共3页

充分利用 CCD技术和计算机的图像处理能力 ,在满足大多工业精度要求的前提下 ,研制成了一种低成本、大视场的 CCD显微测量仪 ,用于光学元件的检测。当线视场为 10 mm时 ,该系统的横向分辨率可达 12 .9μm,精度可达1μm,纵向分辨率可达... 充分利用 CCD技术和计算机的图像处理能力 ,在满足大多工业精度要求的前提下 ,研制成了一种低成本、大视场的 CCD显微测量仪 ,用于光学元件的检测。当线视场为 10 mm时 ,该系统的横向分辨率可达 12 .9μm,精度可达1μm,纵向分辨率可达λ/8。 展开更多

关键词 面阵CCD 图像处理 显微测量仪 大视场

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光子扫描隧道显微镜探测场的数值模拟计算 被引量：3

17

作者 郭宁 夏德宽 《光电工程》 CAS CSCD 1994年第2期20-26,共7页

对光子扫描隧道显微镜（ＰＳＴＭ）的显微成象机理。扫描探测模型做了较为系统的分析和论述。针对具体的探测模型，利用微机编程计算ＰＳＴＭ探测光场的空间分布，并对场分布随扫描控制参量的变化规律进行系统的研究，得到了与实际探测... 对光子扫描隧道显微镜（ＰＳＴＭ）的显微成象机理。扫描探测模型做了较为系统的分析和论述。针对具体的探测模型，利用微机编程计算ＰＳＴＭ探测光场的空间分布，并对场分布随扫描控制参量的变化规律进行系统的研究，得到了与实际探测结果一致的分布规律，最终为ＰＳＴＭ的显微成象技术提供了更为具体的理论指导。 展开更多

关键词 隧道显微镜 光子探测 光场分布 扫描隧道

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光电显微镜中隔圈设计的公差控制

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作者 张家远 《航空计测技术》 2001年第5期41-42,共2页

为了提高光电显微镜的瞄准精度 ,必须同时提高光学、机械两方面的设计水平 ,其中隔圈公差控制是保证光电显微镜精度的关键。本文详细地分析了隔圈的标注方法。

关键词 光电显微镜 隔圈 公差控制 瞄准精度 标注方法 设计方法

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剪切力模式近场扫描光学显微镜的恒幅反馈控制方法研究 被引量：1

19

作者 范晓明 王克逸 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1585-1588,共4页

剪切力模式近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的音叉探针间距控制系统中,用相位反馈控制和检测剪切力,同时采用比例+积分(PI)技术实现对音叉探针振幅的反馈控制,使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值.用... 剪切力模式近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的音叉探针间距控制系统中,用相位反馈控制和检测剪切力,同时采用比例+积分(PI)技术实现对音叉探针振幅的反馈控制,使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值.用相位信号作为探针与样品间距控制信号,分别在无振幅反馈和有振幅反馈两种情况下,以不同速率扫描得到标准CD_RW光盘光栅的两组图像,并进行了比较分析.实验表明,恒振幅反馈电路的引入有助于提高探针系统的响应速度和灵敏度,改善所得图像的质量及分辨率. 展开更多

关键词 近场扫描光学显微镜 剪切力模式 恒振幅反馈 PI控制器 双反馈控制系统

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扫描探针显微镜的研究 被引量：1

20

作者 赵政 丁建宁 许路宁 《机械制造》 2005年第2期34-37,共4页

介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程,同时对扫描探针显微镜中最常用的两种:STM、AFM作了原理和结构介绍,最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。

关键词 SPM STM AFM 探针

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