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非接触测量物体表面粗糙度的研究 被引量:2
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作者 李胜利 徐敏 +1 位作者 姚鹏 金泰义 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期43-46,49,共5页
CD机中,为跟踪盘片,其伺服系统必须能检测到盘片的微小的位移。在本论文中,将CD头的工作原理应用到物体表面粗糙度的测量当中,可使测量系统小型化。
关键词 粗糙度 激光头 CD机 光盘 测量
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圆筒内面形状的表面粗糙度测量法
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作者 中村正春 张耀宏 《国外计量》 1989年第2期 14-16,共3页
【正】 1.前言现在,常用的触针式表面粗糙度测量方法是最可靠的方法。但近年来,由于软质材料的使用,加工超精密化或高速化的要求日益提高,所以出现了用光代替触针的测量法。
关键词 圆筒 表面 粗糙度 测量
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