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溶胶—凝胶工艺提拉法制备二氧化硅增透膜 被引量：26
1
作者 刘晓林 张伟清 +2 位作者 唐永兴 乐月琴 梁培辉 《光子学报》 EI CAS CSCD 1998年第1期29-33,共5页
采用溶胶-凝胶工艺用提拉法在石英基片上制备了具有优良的光学特性、高激光损伤阈值和均匀性良好的多孔二氧化硅单层增透膜和“有机硅-SiO2”双层增透膜系．考察了提拉速率对透射特性的影响，并比较了提拉法和液面下降法对所制备膜层的... 采用溶胶-凝胶工艺用提拉法在石英基片上制备了具有优良的光学特性、高激光损伤阈值和均匀性良好的多孔二氧化硅单层增透膜和“有机硅-SiO2”双层增透膜系．考察了提拉速率对透射特性的影响，并比较了提拉法和液面下降法对所制备膜层的厚度的影响．透射光谱测量表明，在钕玻璃高功率激光的基频（1060um）、倍频和三倍频等重要激光波长处均得到较为理想的增透，透射率达到99％以上． 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 提拉法 增透膜 二氧化硅 光学元件
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数控抛光中不同运动方式下小抛光盘抛光特性之比较 被引量：28
2
作者 王权陡 余景池 +1 位作者 张峰 刘民才 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第5期73-79,共7页
阐述行星运动与平转动两种运动方式下数控抛光中小抛光盘的工作函数，论述了抛光盘本身在不同运动方式下的材料磨损情况。通过采用计算机对抛光盘工作函数及磨损曲线的模拟将抛光盘的两种运动方式进行了分析与比较。
关键词 数控抛光 工作函数 行星运动 光学元件 小抛光盘
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磁流变抛光数学模型的建立 被引量：40
3
作者 张峰 张学军 +2 位作者 余景池 王权陡 郭培基 《光学技术》 CAS CSCD 2000年第2期190-192,共3页
介绍了近年来的一种新兴的光学加工技术———磁流变抛光 (MRF)。以Preston方程为依据建立了这种抛光方法的数学模型。利用该数学模型详细分析了被加工工件表面材料去除率与压力参数P成正比的关系 ,指出了工件表面所受的压力P主要是由... 介绍了近年来的一种新兴的光学加工技术———磁流变抛光 (MRF)。以Preston方程为依据建立了这种抛光方法的数学模型。利用该数学模型详细分析了被加工工件表面材料去除率与压力参数P成正比的关系 ,指出了工件表面所受的压力P主要是由流体动压力Pd 和磁化压力Pm 两部分组成的。以用磁流变抛光方法加工凸球面工件为例 ,具体推导出流体动压力Pd 和磁化压力Pm 的数学表达式 ,并通过实验对压力P的数学表达式及抛光模型的合理性进行了验证。 展开更多
关键词 磁流变抛光 抛光区 磁化强度 数学模型
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线列熔融石英微透镜阵列的光刻和氩离子束刻蚀制备 被引量：11
4
作者 张新宇 易新建 +3 位作者 赵兴荣 麦志洪 何苗 刘鲁勤 《量子电子学报》 CAS CSCD 1998年第1期66-73,共8页
采用光刻和熔融成形法制备线列长方形供面光致抗蚀剂微透镜图形，采用固化技术对其作重整化处理，采用氩离子（Ar＋）束刻蚀有效地实现线列长方形拱面光致抗蚀剂微透镜图形阵列向熔融石英（SiO2）基片上转移。所制单元熔融石英微透镜底... 采用光刻和熔融成形法制备线列长方形供面光致抗蚀剂微透镜图形，采用固化技术对其作重整化处理，采用氩离子（Ar＋）束刻蚀有效地实现线列长方形拱面光致抗蚀剂微透镜图形阵列向熔融石英（SiO2）基片上转移。所制单元熔融石英微透镜底部的外形尺寸为300×95μm2，平均冠高14．3μm，平均曲率半径为86μm，平均焦距为258．1μm平均F／数2.7,平均大T／数2．9；平均光焦度5．8×10(－3)折光度。扫描电子显微镜（SEM）和表面探针测试表明，所制成的线列熔融石英微透镜阵列的图形整齐均匀，每个单元长方形拱面熔融石英微透镜的轮廓清晰，表面光滑平整。实验结果证实，光刻／氩离子束刻蚀技术适用于制备具有良好的均匀性和光学质量的单片熔融石英微透镜阵列器件，此技术对于制备与大面阵凝视焦平面成像探测器相匹配的大面降微透镜阵列具有重要意义。 展开更多
关键词 光刻 氩离子束刻蚀 微透镜 制备 微光学元件
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计算机控制光学表面成形驻留时间算法研究 被引量：23
5
作者 李全胜 成晔 +2 位作者 蔡复之 冯之敬 张伯鹏 《光学技术》 EI CAS CSCD 1999年第3期56-59,共4页
光学非球面的使用可以提高光学系统的性能、简化系统结构、减小系统体积，减轻系统重量，计算机控制光学表面成形（ＣＣＯＳ）方法是加工光学非球面的重要方法。介绍了ＣＣＯＳ原理，给出了ＣＣＯＳ中关键技术驻留时间计算的三种算法—... 光学非球面的使用可以提高光学系统的性能、简化系统结构、减小系统体积，减轻系统重量，计算机控制光学表面成形（ＣＣＯＳ）方法是加工光学非球面的重要方法。介绍了ＣＣＯＳ原理，给出了ＣＣＯＳ中关键技术驻留时间计算的三种算法———基于加工仿真的算法、基于傅立叶变换的算法和基于滑动平均与傅立叶变换的算法。基于加工仿真的驻留时间算法需要做大量的卷积计算，计算时间较长，残余误差较大；基于傅立叶变换的驻留时间算法与基于滑动平均和傅立叶变换的驻留时间算法计算时间短，计算后的残余误差小。磨头单位去除函数形状与磨头大小对误差的去除也有明显的影响，小的磨头和陡峭的单位去除函数对于去除局部误差更为有利。 展开更多
关键词 计算机控制 光学表面成形 驻留时间算法
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光学自由曲面数控化加工方法 被引量：17
6
作者 李全胜 成晔 +1 位作者 张伯鹏 冯之敬 《光学技术》 EI CAS CSCD 1998年第6期77-81,共5页
在光学系统中，为了满足特殊的成像要求，需要使用自由曲面光学零件，但由于自由曲面是一类非常复杂的曲面，用传统的光学加工方法很难加工。本文概要介绍了光学非球面的多种加工方法，探索了这些方法加工光学自由曲面的可能性，提出了... 在光学系统中，为了满足特殊的成像要求，需要使用自由曲面光学零件，但由于自由曲面是一类非常复杂的曲面，用传统的光学加工方法很难加工。本文概要介绍了光学非球面的多种加工方法，探索了这些方法加工光学自由曲面的可能性，提出了用数控化加工方法加工光学自由曲面，并利用这种方法加工了一块自由曲面透镜。 展开更多
关键词 光学非球面 光学自由曲面 数控加工
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超精密气浮工件台的微振动及其抑制 被引量：14
7
作者 张鸣 朱煜 段广洪 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2005年第11期47-49,共3页
超精密气浮工件台系统是当前主流光刻机中的核心子系统,要求具有纳米级的重复定位精度和同步运动精度。这种系统所采用的气浮轴承如果设计不当,会导致系统发生微幅振动,从而影响系统精度。文章通过分析微振动的成因和影响因素,提出了相... 超精密气浮工件台系统是当前主流光刻机中的核心子系统,要求具有纳米级的重复定位精度和同步运动精度。这种系统所采用的气浮轴承如果设计不当,会导致系统发生微幅振动,从而影响系统精度。文章通过分析微振动的成因和影响因素,提出了相应的抑制措施,保障了超精密气浮工件台系统的精度实现。 展开更多
关键词 扫描型光刻机 工件台 气浮轴承 微振动
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双焦干涉表面微观轮廓检测 被引量：7
8
作者 卓永模 杨甬英 +1 位作者 徐敏 张为权 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期148-153,共6页
本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触针式表面轮廓仪对... 本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触针式表面轮廓仪对同一样品表面测试结果进行了比对,获得了满意的结果。 展开更多
关键词 双焦透镜 干涉 轮廓 检测
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光学透镜中心厚度自动检测仪 被引量：5
9
作者 何家祥 张大卫 +1 位作者 程荫梧 李贺桥 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期143-148,共6页
本文给出了一种新研制的非接触式透镜中心厚度自动检测仪,并就仪器的设计原理、技术性能、机械结构和测量电路、控制系统的软硬件分别进行了讨论和研究。实际工程应用表明,仪器是成功的,并具有很高的实用价值。
关键词 光学透镜 厚度 自动检测仪 透镜
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改善塑料光学零件成型质量的几个问题 被引量：6
10
作者 辛企明 伍保锋 蒋月娟 《光学技术》 EI CAS CSCD 1998年第3期86-87,81,共3页
从改进注射成型技术和模具制造技术的角度介绍了提高塑料光学零件的质量所采取的措施。在抑制变形的成型技术中所采用的注射压缩成型方法中，用机械的方法对熔融塑料均匀加压以减小塑件的变形及残余应力。也可采用适当的补偿方法修正模... 从改进注射成型技术和模具制造技术的角度介绍了提高塑料光学零件的质量所采取的措施。在抑制变形的成型技术中所采用的注射压缩成型方法中，用机械的方法对熔融塑料均匀加压以减小塑件的变形及残余应力。也可采用适当的补偿方法修正模具以补偿塑件的变形。在模具制造中可以在模芯表面镀一层非电镀镍，然后用金刚石车削机床加工，而获得很好的表面粗糙度和表面面形精度。 展开更多
关键词 注塑成型 塑料 光学零件 成型质量 模具
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Φ420mm离轴抛物面反射镜的制造 被引量：6
11
作者 杨力 吴时彬 +1 位作者 高平起 姜书宗 《光学技术》 CAS CSCD 1998年第3期44-46,52,共4页
本文报告Φ４２０ｍｍ大口径离轴抛物面反射镜的加工与检测技术。给出了加工方案的确定原则，起始球面的选择，离轴抛物面非球面度的计算。讨论了在母抛物面加工过程中，以离轴镜面位置做为子孔径检验来控制母抛物面面形，从而最终保证... 本文报告Φ４２０ｍｍ大口径离轴抛物面反射镜的加工与检测技术。给出了加工方案的确定原则，起始球面的选择，离轴抛物面非球面度的计算。讨论了在母抛物面加工过程中，以离轴镜面位置做为子孔径检验来控制母抛物面面形，从而最终保证离轴镜面形的子孔径立式检验方法。并对加工检验中各元件之间的相互位置精度要求作了分析与估算。报告了离轴镜从母体镜上套挖的工艺方法。给出了离轴镜的检测结果。 展开更多
关键词 离轴 抛物面 反射镜 立式子孔径检验 光学元件
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高温全息光栅的制作工艺研究 被引量：13
12
作者 谢惠民 袁杰 戴福隆 《光学技术》 CAS CSCD 1993年第3期14-16,共3页
本文提出了应用双镀层光刻法制作高温全息光栅的新工艺。此工艺范围广,制栅对象可选择陶瓷、石英等耐高温的非金属材料,也可选择耐高温合金等金属材料。高温实验结果表明.双镀层高温全息光栅具有较好的抗氧化能力,可作为高温变形测量的... 本文提出了应用双镀层光刻法制作高温全息光栅的新工艺。此工艺范围广,制栅对象可选择陶瓷、石英等耐高温的非金属材料,也可选择耐高温合金等金属材料。高温实验结果表明.双镀层高温全息光栅具有较好的抗氧化能力,可作为高温变形测量的基本元件使用。 展开更多
关键词 全息光栅 云纹干涉法 网格法
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高陡度精密光学非球面CAM系统 被引量：6
13
作者 郑为民 曹天宁 +2 位作者 卢华云 江树木 朱小清 《光学技术》 EI CAS CSCD 1997年第4期35-40,共6页
本文提出了采用计算机控制光学表面成型（ＣＣＯＳ）技术用于高陡度精密光学非球面成型的一种方法，并阐述了ＣＣＯＳ的工艺流程，设计了相应的ＣＡＭ系统。该系统具有五个运动自由度，通过使一个小磨盘作三维平动并同时摆动，旋转工件... 本文提出了采用计算机控制光学表面成型（ＣＣＯＳ）技术用于高陡度精密光学非球面成型的一种方法，并阐述了ＣＣＯＳ的工艺流程，设计了相应的ＣＡＭ系统。该系统具有五个运动自由度，通过使一个小磨盘作三维平动并同时摆动，旋转工件而使磨头能始终垂直于加工点表面，以利加工高陡度非球面。此系统的加工口径可达φ３００ｍｍ，相对孔径Ｆ＝１．５。 展开更多
关键词 非球面 高陡度 光学表面 自动成型 CAM CCOS
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中等精度塑料光学透镜的批量生产技术 被引量：3
14
作者 杨相利 凌小静 +1 位作者 骆有桂 何慧娟 《光学技术》 EI CAS CSCD 1998年第3期82-85,共4页
提高批量生产中塑料光学透镜的质量及稳定性，需采取综合的技术和管理措施。如提高模具的精度，特别是型芯、型腔的精度；在模具上采用特种浇注系统、控温系统；选择合适的设备；采用合理的工艺及参数；加强生产时的在线质量监控等等。... 提高批量生产中塑料光学透镜的质量及稳定性，需采取综合的技术和管理措施。如提高模具的精度，特别是型芯、型腔的精度；在模具上采用特种浇注系统、控温系统；选择合适的设备；采用合理的工艺及参数；加强生产时的在线质量监控等等。通过二种较典型的塑料光学透镜的生产，证明只要措施得当，就能大批量、稳定地生产出较高合格率的产品。 展开更多
关键词 中等精度 塑料透镜 模具 工艺参数 光学透镜
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国内外非球面光学零件加工技术的现状及新进展 被引量：8
15
作者 朴承镐 蔡立 《光学技术》 CAS CSCD 1993年第5期7-13,共7页
本文较全面地介绍了国内外非球面光学零件加工技术的现状、新进展及今后研究方向。
关键词 非球面 光学元件 加工技术
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300mm硅片超精密磨床设计与开发 被引量：3
16
作者 朱祥龙 康仁科 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期192-192,共1页
硅片的超精密磨削技术主要用于硅片制备中的硅片平整化和Ic后道制程中的背面减薄。随着硅片直径的增大和厚度的减小，硅片超精密磨削技术及设备面临新的挑战：大的进给速度调速范围和高的进给稳定性，对磨床进给系统的结构特性和运动性... 硅片的超精密磨削技术主要用于硅片制备中的硅片平整化和Ic后道制程中的背面减薄。随着硅片直径的增大和厚度的减小，硅片超精密磨削技术及设备面临新的挑战：大的进给速度调速范围和高的进给稳定性，对磨床进给系统的结构特性和运动性能提出了较高要求；硅片在磨削中容易翘曲变形，磨削面型精度难以保证；硅片原始厚度的增大和芯片磨后厚度的减小趋势，使硅片表面磨削的材料去除量增大，提高加工效率成为一个亟待解决的问题；硅片减薄后，其表面质量和加工变形对磨削力的变化更加敏感，监控磨削力以提高成品率的问题亟待解决。面向大尺寸薄硅片的超精密磨削技术及设备的需求， 展开更多
关键词 磨床设计 超精密 硅片 磨削技术 开发 原始厚度 进给速度 调速范围
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一种利用傅立叶频谱测量透镜焦距的新方法 被引量：5
17
作者 孙桂林 刘振山 《光学技术》 CAS CSCD 1992年第2期31-33,共3页
本文介绍了一种利用傅立叶频谱测量球面透镜、柱面透镜及环曲面透镜单色光焦距的新方法,这种新方法不需要高精度的平行光管,用激光器作为光源,仪器调式简单,测量结果可靠,测量精度可达0.3%。如果采用光电扫描及微机处理,这种方法还可以... 本文介绍了一种利用傅立叶频谱测量球面透镜、柱面透镜及环曲面透镜单色光焦距的新方法,这种新方法不需要高精度的平行光管,用激光器作为光源,仪器调式简单,测量结果可靠,测量精度可达0.3%。如果采用光电扫描及微机处理,这种方法还可以实现自动化测量,而且可以测量不可见光工作情况下的透镜焦距。 展开更多
关键词 傅立叶频谱 光学系统 焦距 透镜
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一种基于人操作行为的抛光系统控制器的设计 被引量：2
18
作者 王馨 王磊 +1 位作者 杨林森 姚伟荣 《信息与控制》 CSCD 北大核心 1993年第1期36-39,共4页
本文以JPl2·6型光学透镜磨抛机为研究对象,作者基于抛光过程磨抛工的操作经验,并应用模糊控制理论和计算机技术,设计出模糊控制器,实验证明,该控制器可代替以往人工控制操作,显著提高了抛光效率和抛光质量的稳定性。
关键词 模糊控制 抛光系统 控制器 设计
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准λ/4波片的精确标定 被引量：3
19
作者 李国华 薛庆文 +1 位作者 李继忠 家连科 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1991年第3期121-122,127,共3页
本文介绍了一种精确标定准λ/4波片的方法。利用波片推迟量与准λ/4波片光轴方位角及检偏镜透偏方位角的灵敏函数关系,精确地测量出波片的推迟量,进而对准λ/4波片精确标定。
关键词 λ/4波片 推迟量 标定 精度 波片
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空间相机中与大口径透镜有关的结构设计分析 被引量：5
20
作者 项卫国 常宁华 《航天返回与遥感》 2006年第1期32-35,共4页
某空间相机镜头在光学设计时,因透过率、吸收率等原因,为了满足光学系统要求,经过各方面平衡后,其中有一片透镜比正常径厚比设计的偏薄些。在镜头总体结构设计时,单独对该镜片及与之相配的结构件进行了有限元分析和实验检测,发现不同的... 某空间相机镜头在光学设计时,因透过率、吸收率等原因,为了满足光学系统要求,经过各方面平衡后,其中有一片透镜比正常径厚比设计的偏薄些。在镜头总体结构设计时,单独对该镜片及与之相配的结构件进行了有限元分析和实验检测,发现不同的结构形式对镜片面形影响不同。为了解决这一问题,在实验中进行了探讨,以保证整个相机系统满足空间相机的实用要求。 展开更多
关键词 空间相机 结构设计 镜片 面形
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