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氧化镍薄膜气体传感器性能提升 被引量：1
1
作者 李佳言 张金龙 +2 位作者 戴昌贤 林秋丰 傅龙明 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期394-398,共5页
本文的目的在于优化甲醛气体传感器。微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材,白金(Pt)被当作微型加热器电阻来加热感测层,并以氧化镍(NiO)薄膜作为感测层。当环境内有甲醛气体存在时,NiO薄膜层上导电度会增加,因而导致感测层电阻... 本文的目的在于优化甲醛气体传感器。微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材,白金(Pt)被当作微型加热器电阻来加热感测层,并以氧化镍(NiO)薄膜作为感测层。当环境内有甲醛气体存在时,NiO薄膜层上导电度会增加,因而导致感测层电阻值降低。此微传感器,膜厚为0.34μm,在300℃反应时间只需6秒,灵敏度可达13.5 kΩ/ppb,最低侦测限度可以量测到40 ppb。而本研究中针对不同的甲醛气体浓度,分别添加金当其催化剂、玻璃基材上共溅镀氧化镍与氧化铝、并比较有无指叉电极、改变基材温度…等,以提升其氧化镍薄膜感测性能。 展开更多
关键词 甲醛 氧化镍薄膜 微传感器
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泵类企业竞争力分析及其模糊综合评判
2
作者 马汉武 《排灌机械》 1998年第4期47-50,共4页
对PPM战略进行了改进并引人模糊教学，以制泵业为例，建立竞争力分析模糊数学模型并进行模糊综合评判，为分析企业竞争力提供了新方法。
关键词 PPM战略 泵 竞争力 模糊数学 企业
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电动试压泵的安全技术
3
作者 李世军 《劳动保护》 1997年第3期36-38,共3页
关键词 电动试压泵 安全技术
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