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抛光夹具吸附面面型对碲锌镉衬底表面平整度的影响
1
作者 王琰璋 李轩 +4 位作者 柏伟 李振兴 刘江高 徐乐 侯晓敏 《微纳电子技术》 2026年第3期132-138,共7页
抛光夹具在碲锌镉(CZT)衬底的精密抛光中是影响抛光质量的主要因素。在现有的碲锌镉抛光技术中,抛光的单晶晶片大多为已经划切完成的方形衬底,衬底抛光后塌边现象较为严重,对平整度不利。探究了修整夹具的研磨盘面型对抛光夹具吸附面修... 抛光夹具在碲锌镉(CZT)衬底的精密抛光中是影响抛光质量的主要因素。在现有的碲锌镉抛光技术中,抛光的单晶晶片大多为已经划切完成的方形衬底,衬底抛光后塌边现象较为严重,对平整度不利。探究了修整夹具的研磨盘面型对抛光夹具吸附面修整后面型的影响,以及抛光夹具吸附面的面型对碲锌镉衬底抛光后表面平整度的影响。结果显示,随着研磨盘凹度增加,其修整出的抛光夹具吸附面凸度增大;将抛光夹具吸附面修整为凸型,且随着凸度增加至6μm时,碲锌镉衬底抛光后表面平整度均值从抛光前的5.11μm降至3.93μm。本文为高平整度碲锌镉衬底的加工提供了思路与方法。 展开更多
关键词 碲锌镉(CZT) 夹具 平整度 研磨盘 凸度 凹度
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晶圆减薄砂轮智能生产实践与创新
2
作者 郭垚峰 韩宝杰 +5 位作者 邵佳明 李忠华 谷春青 吴武山 钱灌文 李建星 《金属加工(冷加工)》 2026年第2期86-90,共5页
以公司智能生产线的自动化车削加工单元为例,从系统搭建、硬件和软件创新三个方面,介绍公司在减薄砂轮智能生产中的实践与创新。该创新不仅缩短了产品的生产周期,而且减少了错误率,达到了降本增效的目的。
关键词 减薄砂轮 智能生产 车削加工 IMES系统
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涡轮盘榫槽磨削用空气自冷却砂轮优化设计与气流场特性
3
作者 李光 黄永贵 +4 位作者 刘博林 张翊东 鲁辉虎 程强 梁国星 《工具技术》 北大核心 2026年第1期94-101,共8页
半封闭磨削区引起的冷却困难和磨削液成膜沸腾效应严重制约成形磨削技术在涡轮盘榫槽精密加工领域的应用。设计一种榫槽磨削用空气自冷却砂轮,空气叶轮叶片将环境空气压入砂轮基体内部流道,并从砂轮表面出风口射出,对磨削区进行射流冲... 半封闭磨削区引起的冷却困难和磨削液成膜沸腾效应严重制约成形磨削技术在涡轮盘榫槽精密加工领域的应用。设计一种榫槽磨削用空气自冷却砂轮,空气叶轮叶片将环境空气压入砂轮基体内部流道,并从砂轮表面出风口射出,对磨削区进行射流冲击强制冷却。采用CFD仿真正交试验方法优化空气叶轮的叶片入口宽度、叶片出口宽度、叶轮直径参数,空气自冷却砂轮截面下侧第3个(d3)和上侧第3个(u3)出口气流流速分别提高19.34%和21.33%。随着砂轮转速提高,砂轮出口气流流速在高转速段(>6 000 r·min^(-1))时的性能更优异。出口气流流速实验结果表明,有限元仿真结果平均误差为8.24%,研究结果为合理制定空气自冷却砂轮成形磨削涡轮盘榫槽工艺提供技术支撑。 展开更多
关键词 涡轮盘榫槽 空气自冷却砂轮 气流场 出口流速 优化设计
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基于多尺度标准差排列熵的单磨粒磨损声发射特征提取研究
4
作者 夏天 万林林 +1 位作者 张先洋 陈泽郡 《表面技术》 北大核心 2026年第3期183-195,272,共14页
目的降低砂轮磨损行为对工件表面质量的影响,开发出新的特征用于表征磨粒磨损,提升声发射监测砂轮磨损的可靠性。方法以单颗磨粒为研究对象,开展单颗磨粒磨损试验,记录磨粒的出露高度及磨耗面积的变化,根据磨粒磨损体积对磨损状态进行... 目的降低砂轮磨损行为对工件表面质量的影响,开发出新的特征用于表征磨粒磨损,提升声发射监测砂轮磨损的可靠性。方法以单颗磨粒为研究对象,开展单颗磨粒磨损试验,记录磨粒的出露高度及磨耗面积的变化,根据磨粒磨损体积对磨损状态进行划分。采集磨粒在不同状态下磨粒划擦碳化硅的声发射信号,利用增强鲸鱼优化变分模态分解(EWOAVMD)的数据处理方法,对原始声发射信号进行预处理。提取信号时域和频域特征,验证所提出的新的多尺度标准差排列熵(MSDPE)特征的可靠性。结果磨粒的磨损形式为微破碎、磨耗磨损和宏观破碎,不同形式的磨损导致了磨损体积呈现出先急速上升、又趋于平缓、最后又急速上升的趋势。将EWOA_VMD和鲸鱼优化变分模态分解(WOA_VMD)的去噪效果对比,EWOAVMD的包络熵为更低的6.8689,EWOAVMD的收敛速度更快,并且处理后的信号信噪比更高。所提出的MSDPE特征能够准确捕捉磨粒的磨损行为,尺度因子为4时的MSDPE与磨粒磨损体积的相关性系数为0.92。结论磨粒磨损可分为初期磨损、稳定磨损和严重磨损3个阶段。EWOAVMD具有收敛速度快、重构信号质量更高的优点,能有效剔除环境噪声。MSDPE特征对磨粒的磨损行为具有较高的敏感性,与磨粒磨损体积的相关性较高。MSDPE能够准确识别磨粒磨损的3个阶段,该特征可以应用于砂轮磨损的声发射监测过程中。 展开更多
关键词 单颗磨粒 磨损机制 声发射 增强鲸鱼优化算法 特征提取 多尺度标准差排列熵
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基于MSCNN-BKA-LSSVM的砂轮磨损状态识别研究
5
作者 尚连锋 王一帆 +3 位作者 周思康 张明柱 王宁宁 姚国光 《机床与液压》 北大核心 2026年第5期156-162,共7页
针对轴承套圈磨削过程中砂轮磨损状态识别精度低的问题,提出一种基于多尺度卷积神经网络(MSCNN)、黑翅鸢优化算法(BKA)和最小二乘支持向量机(LSSVM)的砂轮磨损状态识别模型。采集不同磨削工况下的砂轮全寿命周期声发射信号,使用部分集... 针对轴承套圈磨削过程中砂轮磨损状态识别精度低的问题,提出一种基于多尺度卷积神经网络(MSCNN)、黑翅鸢优化算法(BKA)和最小二乘支持向量机(LSSVM)的砂轮磨损状态识别模型。采集不同磨削工况下的砂轮全寿命周期声发射信号,使用部分集成局部特征尺度分解(PELCD)对声发射信号进行降噪处理,选取方差贡献率大于5%的本征尺度分量对信号进行重构;使用MSCNN提取信号特征,同时构建MSCNN全连接层结果特征数据集;最后,将特征集划分为训练集、验证集和测试集,使用BKA算法优化LSSVM的惩罚因子与核参数,以提升模型分类性能,并基于优化后的BKA-LSSVM实现磨损状态的识别。结果表明:经PELCD降噪后,MSCNN-BKA-LSSVM模型对砂轮初期、中期和严重磨损状态的识别准确率分别达到97.613%、96.322%和95.802%;消融实验中,在不同磨削工况下,模型的平均识别准确率达到97.309%,仅使用LSSVM的基准模型准确率为81.502%,加入BKA优化后的BKA-LSSVM模型准确率提升至88.195%。所建模型对砂轮磨损状态具有更好的泛化性能和识别效果。 展开更多
关键词 砂轮 磨损状态识别 部分集成局部特征尺度分解 多尺度卷积神经网络 黑翅鸢优化算法 最小二乘支持向量机
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钎焊金刚石线锯切割石材时的锯切性能
6
作者 姜家祥 黄辉 +1 位作者 杨浩 廖信江 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2026年第1期62-70,共9页
针对目前石材行业电镀金刚石线锯多线切割大尺寸、非均质石材时易磨损、耗线量大的问题,提出利用钎焊金刚石线锯进行石材大板切割的思路。通过自研钎焊线锯生产设备制备钎焊金刚石线锯,设计线锯锯切石材对照实验,测量石材锯切过程中的... 针对目前石材行业电镀金刚石线锯多线切割大尺寸、非均质石材时易磨损、耗线量大的问题,提出利用钎焊金刚石线锯进行石材大板切割的思路。通过自研钎焊线锯生产设备制备钎焊金刚石线锯,设计线锯锯切石材对照实验,测量石材锯切过程中的线弓角、锯切力、锯切寿命,分析钎焊和电镀金刚石线锯的锯切效率,并观察线锯加工前后形貌的变化,比较2种线锯的锯切性能。结果表明:工件向上进给至4 mm时,钎焊金刚石线锯的线弓角仅为电镀金刚石线锯的20%;钎焊金刚石线锯的切向锯切力和法向锯切力分别只有电镀金刚石线锯的38%和32%,且钎焊金刚石线锯的锯切力比小于电镀金刚石线锯。同时,钎焊金刚石线锯的锯切效率和寿命明显高于电镀金刚石线锯,线锯切割前后的形貌显示钎焊金刚石线锯和电镀金刚石线锯加工过程中的磨粒磨损行为显著不同。因此,钎焊金刚石线锯的锯切能力强于电镀金刚石线锯。 展开更多
关键词 钎焊金刚石线锯 石材多线切割 锯切能力 线弓角 锯切力
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造孔剂对镍基钎料多层钎焊金刚石孔钻自锐性的影响
7
作者 张自立 肖冰 +3 位作者 陈致理 周露露 彭龙海 赵星宇 《粉末冶金工业》 北大核心 2026年第1期32-40,共9页
为提高镍基钎料多层钎焊金刚石钻头的自锐性,选用了3种不同的造孔剂(碳酸氢铵、石墨颗粒、碳化硅颗粒)加入镍基合金钎料中,分析其对金刚石钻头自锐性的影响;改变造孔剂浓度制成不同样块,并分析样块的表面与断面形貌;通过对样块进行摩擦... 为提高镍基钎料多层钎焊金刚石钻头的自锐性,选用了3种不同的造孔剂(碳酸氢铵、石墨颗粒、碳化硅颗粒)加入镍基合金钎料中,分析其对金刚石钻头自锐性的影响;改变造孔剂浓度制成不同样块,并分析样块的表面与断面形貌;通过对样块进行摩擦磨损与三点抗弯强度实验选出合适的造孔剂浓度,然后制备出对应的钻头进行陶瓷钻孔实验。研究发现:样块的耐磨性与抗弯强度均随三种造孔剂的浓度增大而下降,且碳酸氢铵、石墨、碳化硅的浓度分别为10%、5%、5%时样块的耐磨性与抗弯强度较为理想;钻孔实验的结果表明加入10%碳酸氢铵的钻头平均单孔钻削时间最少,说明其拥有较好的自锐性。 展开更多
关键词 造孔剂 自锐性 三点抗弯强度 摩擦磨损 钻削时间
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金刚石线锯的制备及使用性能综述
8
作者 陈昌初 何文民 武作杰 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2026年第1期50-61,共12页
金刚石因其高硬度、高导热性、高耐磨性和良好的化学惰性,广泛应用于半导体材料切割领域。本研究旨在系统总结电镀、树脂结合剂和钎焊3种金刚石线锯制备技术的现状,比较3种制备工艺在母线类型、结合方式、金刚石磨粒特性、制备装置及关... 金刚石因其高硬度、高导热性、高耐磨性和良好的化学惰性,广泛应用于半导体材料切割领域。本研究旨在系统总结电镀、树脂结合剂和钎焊3种金刚石线锯制备技术的现状,比较3种制备工艺在母线类型、结合方式、金刚石磨粒特性、制备装置及关键工艺参数等方面的技术特点,分析其在性能和应用中的优势与局限,并针对存在的技术难点提出改进方向,助力提升金刚石线锯的综合性能。结果表明:电镀金刚石线锯由于其制备工艺成熟,在光伏硅晶体、蓝宝石和大理石等领域已实现大规模应用,但其结合强度较低,限制了其在高硬度材料(如SiC和蓝宝石)切割中的寿命和效率;树脂结合剂金刚石线锯具有较高的断裂强度、扭转强度和弯曲强度,且磨粒突出高度一致,可用于多种材料的切割,但其中树脂的耐热性和耐磨性不足,限制了其在高速切割中的应用;相比之下,钎焊金刚石线锯通过冶金结合显著提升了结合强度,在切割性能和耐用性方面优于前2种技术,但钎焊工艺存在金刚石石墨化损伤和母线力学性能下降等技术瓶颈,仍需进一步研究和改进。综上所述,3种金刚石线锯技术在不同应用领域各有优势,但均存在技术瓶颈。未来需进一步优化制备工艺,提升性能并拓展其应用范围。 展开更多
关键词 金刚石线锯 电镀 树脂结合剂 钎焊
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电镀砂轮加工叶片叶盆型面的磨削力预测模型及PSO优化
9
作者 张雅娟 吴强 +1 位作者 何志强 张禄 《机床与液压》 北大核心 2026年第2期83-91,105,共10页
为了解决电镀砂轮加工叶片表面时工件或刀具受力过载而发生变形,导致叶片上下厚薄不均、尺寸超差等问题,针对叶片叶盆型面的磨削加工建立磨削力预测模型并进行优化分析。在电镀砂轮磨削力预测模型的基础上,引入砂轮内圆磨削几何关系数... 为了解决电镀砂轮加工叶片表面时工件或刀具受力过载而发生变形,导致叶片上下厚薄不均、尺寸超差等问题,针对叶片叶盆型面的磨削加工建立磨削力预测模型并进行优化分析。在电镀砂轮磨削力预测模型的基础上,引入砂轮内圆磨削几何关系数学模型,构建电镀砂轮加工叶片叶盆型面的磨削力预测模型,并使用PSO算法进行模型优化;设计三因素三水平正交试验对预测模型进行验证,并对试验结果进行理论分析。结果表明:在三因素变化的情况下,法向磨削力寻优目标函数的最优值为0.8139,切向磨削力寻优目标函数的最优值为0.2326;PSO磨削力优化模型的法向和切向预测值相较于试验法分别优化了6.9%、7.5%,验证了所建立预测模型的可靠性与普适性。随着叶片曲率半径和砂轮转速增大,磨削力逐渐减小,随着磨削深度和进给速度增大,磨削力逐渐增大。在三因素中,对磨削力变化影响最大的为磨削深度,其对应的法向磨削力极差为5.275,切向磨削力极差为1.475,影响程度远大于磨削速度和进给速度。 展开更多
关键词 叶片加工 电镀砂轮 磨削力 粒子群优化算法
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基于专利视角的多孔磨具技术发展态势分析
10
作者 陈立兵 苏琦 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第5期703-716,共14页
多孔磨具的气孔结构具有容屑和散热作用,可以改善机械研磨过程。基于IncoPat专利检索平台完成了对全球多孔磨具专利的检索,并从专利的总体态势、研发主体、技术以及国内外研究现状进行分析。结果表明:中国、日本、美国和韩国是全球多孔... 多孔磨具的气孔结构具有容屑和散热作用,可以改善机械研磨过程。基于IncoPat专利检索平台完成了对全球多孔磨具专利的检索,并从专利的总体态势、研发主体、技术以及国内外研究现状进行分析。结果表明:中国、日本、美国和韩国是全球多孔磨具最主要的技术来源地和专利布局地;日本、美国开展多孔磨具技术的研发时间早于中国,也是国外在中国专利布局的主要国家;中国多孔磨具技术专利数量较多,但专利价值度相对偏低。制造具有足够强度和磨损特性且具有足够孔隙率的多孔磨具是一项持久的挑战,基于对多孔磨具的发展趋势分析,以期为中国多孔磨具的研发提供参考。 展开更多
关键词 多孔磨具 专利分析 黏结剂 致孔剂 孔隙率
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金刚石砂轮修整工艺研究进展
11
作者 卫煜 袁庆红 +1 位作者 邱云 夏国清 《超硬材料工程》 2026年第1期44-51,共8页
金刚石砂轮具有抗磨性高、使用寿命长、导热性好、适合高精密加工等特点,适用于磨削加工陶瓷、玻璃和硬质合金等加工难度大、精度要求高的材料。但随着使用时间增加,金刚石砂轮表面磨削能力会由于各种原因而导致钝化,降低磨削效率,故需... 金刚石砂轮具有抗磨性高、使用寿命长、导热性好、适合高精密加工等特点,适用于磨削加工陶瓷、玻璃和硬质合金等加工难度大、精度要求高的材料。但随着使用时间增加,金刚石砂轮表面磨削能力会由于各种原因而导致钝化,降低磨削效率,故需要对金刚石砂轮进行开刃修整处理。本文综述了金刚石砂轮开刃修锐在磨削使用中的重要作用,介绍了金刚石工具修整法、滚压修整法、磨削修整法、电解修整法、电火花修整法、激光修整法和超声修整法的工艺发展现状,并通过综述分析不同工艺在应用中存在的优势及劣势,为金刚石砂轮修整的工艺选择提供参考,也对修整工艺未来的发展方向做了展望。 展开更多
关键词 金刚石 砂轮 修整 工艺参数
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光固化制备建筑装饰APE涂层的制备及性能表征
12
作者 韩香菊 《山西化工》 2025年第3期36-38,共3页
选取高反应活性的磷酸酯、丙烯酸羟乙酯与多官能团醇类组成合成原料,通过光固化方法制备APE涂层,并进行实验测试。结果表明:涂层中已经存在氨基甲酸酯结构和嵌入聚醚三元醇,烯酸酯键已成功接枝,成功制备出了APE涂层。加入HEMA后,提升了... 选取高反应活性的磷酸酯、丙烯酸羟乙酯与多官能团醇类组成合成原料,通过光固化方法制备APE涂层,并进行实验测试。结果表明:涂层中已经存在氨基甲酸酯结构和嵌入聚醚三元醇,烯酸酯键已成功接枝,成功制备出了APE涂层。加入HEMA后,提升了涂层的疏水性和耐水性,涂层内部并未形成孔道,可达到高致密标准。增加硬段链含量后,涂层具有更高的弹性模量,降低了成膜涂层形变能力。涂层拉伸后,均能促使组织愈合。但增加拉断次数后,涂层自修复能力出现显著衰退。 展开更多
关键词 磷酸酯涂层 光固化方法 成膜性 自愈合性能
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钎焊工艺对钎焊金刚石界面组织和性能的影响 被引量：2
13
作者 崔冰 姜雪 +4 位作者 杜全斌 徐凡 严佩佩 王蕾 张黎燕 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第1期56-66,共11页
采用WC/Cu-Sn-Ti钎料对金刚石进行真空钎焊,借助扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能谱仪以及磨削试验等手段,研究钎焊温度和保温时间对钎焊金刚石形貌、界面组织和力学性能的影响。结果表明:金刚石颗粒与WC/Cu-Sn-Ti复合钎焊界面形成的化... 采用WC/Cu-Sn-Ti钎料对金刚石进行真空钎焊,借助扫描电子显微镜、X射线衍射仪、能谱仪以及磨削试验等手段,研究钎焊温度和保温时间对钎焊金刚石形貌、界面组织和力学性能的影响。结果表明:金刚石颗粒与WC/Cu-Sn-Ti复合钎焊界面形成的化合物层均匀连续且致密,且在金刚石颗粒表面形成了薄而连续的层片状TiC和少量W_(2)C相,提高了金刚石与钢基体的结合强度;随着钎焊温度升高及保温时间延长,钎焊界面缺陷逐渐减少,金刚石石墨化程度升高;在钎焊温度为980℃、保温时间为15 min的条件下,金刚石颗粒在磨削过程中的摩擦力和摩擦系数相对较小,对大理石工件的磨削体积最大,且金刚石颗粒的脱落率最低。 展开更多
关键词 Cu-Sn-Ti钎料 钎焊工艺 力学性能 金刚石磨具
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激光修整时V形超硬磨料砂轮视觉在位测量 被引量：1
14
作者 邓辉 刘超强 +3 位作者 高淑蓉 周恩怀 尉迟广智 何船 《中国表面工程》 北大核心 2025年第5期387-397,409,共12页
针对激光修整过程缺乏监控、砂轮表面测量方法较少的瓶颈,对激光修整时V形超硬磨料砂轮视觉在位测量进行研究。搭建超硬磨料成形砂轮激光修整视觉测量平台,实现对不同修整阶段砂轮轴截面图像的在位连续采集。针对传统Canny算法存在磨粒... 针对激光修整过程缺乏监控、砂轮表面测量方法较少的瓶颈,对激光修整时V形超硬磨料砂轮视觉在位测量进行研究。搭建超硬磨料成形砂轮激光修整视觉测量平台,实现对不同修整阶段砂轮轴截面图像的在位连续采集。针对传统Canny算法存在磨粒特征识别较难、图像边缘识别过度等问题,采用双边滤波、3×3 Sobel梯度计算及OTSU阈值法对其进行改进,并在此基础上提出一种基于改进Canny算法和Zernike矩的亚像素级边缘检测方法,完成对不同激光束进给次数条件下砂轮轴截面轮廓的精确提取。建立圆跳动误差、全跳动误差、直线度误差、尖端圆弧度误差、激光入射角等V形砂轮表面参数的计算方法,经测试证实能够满足激光修整过程监控对砂轮表面参数测量的速度要求。研究成果将有助于推动超硬磨料成形砂轮激光修整及表面测量技术加速朝着自动化、智能化方向发展。 展开更多
关键词 视觉测量 V形砂轮 Canny-Zernike矩边缘检测 表面参数 激光修整
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微型氧化锆全陶瓷轴承薄壁内圈内圆磨削的控形加工工艺
15
作者 高龙飞 吴玉厚 +2 位作者 孙健 李颂华 左闯 《轴承》 北大核心 2025年第11期34-41,共8页
针对某非标微型氧化锆全陶瓷轴承薄壁套圈在加工过程中出现的损坏及形位精度不达标等问题,分析了氧化锆薄壁套圈内圆加工过程中难以保障成品质量的原因及特征。通过试验研究了采用切入磨削和纵向磨削加工该类套圈的可行性,并研究了工艺... 针对某非标微型氧化锆全陶瓷轴承薄壁套圈在加工过程中出现的损坏及形位精度不达标等问题,分析了氧化锆薄壁套圈内圆加工过程中难以保障成品质量的原因及特征。通过试验研究了采用切入磨削和纵向磨削加工该类套圈的可行性,并研究了工艺参数对套圈成品率、加工精度和效率的综合影响。基于试验结果提出了一种适用于该类型薄壁氧化锆套圈内圆加工的单次混合磨削工艺:前段粗磨使用切入磨削,进给速度为0.030 mm/min,主轴转速为20000 r/min,加工量为350μm;后段精磨使用纵向磨削,进给速度为0.010 mm/min,主轴转速为20000 r/min,加工量为150μm,使壁厚0.5 mm薄壁陶瓷轴承套圈内圆圆度误差降至2μm。 展开更多
关键词 滚动轴承 陶瓷轴承 微型轴承 磨削 套圈 薄壁 尺寸精度 工艺参数
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有序排布金刚石滚轮修整砂轮过程中的修整力
16
作者 张瑞 周帅康 +3 位作者 赵华东 朱振伟 何鸿辉 刘畅 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第1期93-101,共9页
为提升滚轮的修整性能和使用寿命,明确滚轮表面磨粒的不同排布对其修整性能的影响,采用错位、阵列和叶序3种磨粒排布的金刚石滚轮修整砂轮,对修整过程进行有限元仿真,并设计修整实验验证仿真结果。结果表明:在金刚石滚轮修整砂轮的过程... 为提升滚轮的修整性能和使用寿命,明确滚轮表面磨粒的不同排布对其修整性能的影响,采用错位、阵列和叶序3种磨粒排布的金刚石滚轮修整砂轮,对修整过程进行有限元仿真,并设计修整实验验证仿真结果。结果表明:在金刚石滚轮修整砂轮的过程中,磨粒的有序排布会对修整力产生影响,其中阵列排布的滚轮修整力最大,错位排布次之,叶序排布最小;叶序排布相较于错位与阵列排布,有利于减少滚轮表面磨粒磨损,提升滚轮的修整性能与使用寿命。 展开更多
关键词 金刚石 有序排布 磨削 修整 叶序排布
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空心玻璃微珠对凝胶注模成型陶瓷结合剂金刚石砂轮的影响 被引量：1
17
作者 冯洋 尹育航 +4 位作者 肖国庆 丁冬海 赵轩 汪克敏 周浩钧 《超硬材料工程》 2025年第2期26-32,共7页
气孔数量及形态,直接影响陶瓷结合剂金刚石砂轮的力学性能。文章研究了空心玻璃微珠含量的变化对凝胶注模成型陶瓷结合剂金刚石砂轮的力学性能的影响规律。研究结果表明,随着空心玻璃微珠含量的增加,砂轮的显气孔率增加,结合剂对金刚石... 气孔数量及形态,直接影响陶瓷结合剂金刚石砂轮的力学性能。文章研究了空心玻璃微珠含量的变化对凝胶注模成型陶瓷结合剂金刚石砂轮的力学性能的影响规律。研究结果表明,随着空心玻璃微珠含量的增加,砂轮的显气孔率增加,结合剂对金刚石磨粒的把持能力减弱,抗弯强度和洛氏硬度呈下降趋势。当空心玻璃微珠含量为52 vol.%时,显气孔率达到56.2%,抗弯强度为23.5 MPa。但与此同时,砂轮的磨削效率及加工精度有所提升,砂轮磨削功率降至4000 W以下,表面粗糙度Ra降至0.022μm,这主要得益于其更大的容屑排屑空间及良好的散热能力。 展开更多
关键词 空心玻璃微珠 凝胶注模成型 金刚石砂轮 陶瓷结合剂 气孔
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掺杂元素X(B、Al、Sn、Co)对IDB-X/Diamond界面结合性能的影响
18
作者 简小刚 姚文山 +4 位作者 张毅 梁晓伟 胡吉博 陈哲 陈茂林 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第1期37-45,共9页
基于量子力学第一性原理,建立了IDB-B/Diamond、IDB-Al/Diamond、IDB-Sn/Diamond和IDB-Co/Diamond 4种膜基界面模型,计算了膜基界面结合能、差分电荷密度和布居数,以探究孕镶金刚石钻头(impregnated diamond bits,IDB)基体中的常用元素X... 基于量子力学第一性原理,建立了IDB-B/Diamond、IDB-Al/Diamond、IDB-Sn/Diamond和IDB-Co/Diamond 4种膜基界面模型,计算了膜基界面结合能、差分电荷密度和布居数,以探究孕镶金刚石钻头(impregnated diamond bits,IDB)基体中的常用元素X(X=B、Al、Sn、Co)对IDB-X/Diamond膜基结合强度的影响机制。计算结果表明:膜基界面结合能大小为W_(ad-B)>W_(ad-Al)>W_(ad-Co)>W_(ad-Sn);B、Al是增强膜基结合强度的有益元素,因为B、Al原子的电荷主要转移到掺杂位点附近的C1~C3原子,其与C1~C3原子的键合作用强;Sn、Co会削弱膜基结合强度,这是由于Sn、Co原子与C1~C3原子的键合作用弱,同时膜基界面间的其他C原子因俘获电荷而相斥。压痕对比的实验结果与仿真结论相符。 展开更多
关键词 第一性原理 金刚石涂层 膜基结合 电荷转移 布居数 压痕实验
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中间相炭微球对多层钎焊金刚石砂轮电解修整磨削性能的影响
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作者 刘伟 常佳起 +3 位作者 李博鑫 严灿 邓朝晖 万林林 《中国机械工程》 北大核心 2025年第6期1151-1158,共8页
大粒度多层钎焊金刚石砂轮在电解修整时氧化膜成膜质量差、厚度不足,进而导致磨削性能不佳,在磨料层中加入中间相炭微球(MCMB)可以改善这种状况。开展了不同MCMB含量对砂轮性能及其电解修整磨削特性影响的试验研究,结果表明:MCMB能显著... 大粒度多层钎焊金刚石砂轮在电解修整时氧化膜成膜质量差、厚度不足,进而导致磨削性能不佳,在磨料层中加入中间相炭微球(MCMB)可以改善这种状况。开展了不同MCMB含量对砂轮性能及其电解修整磨削特性影响的试验研究,结果表明:MCMB能显著改善砂轮的电解成膜能力,氧化膜厚度最大达到104μm,氧化膜的致密性与黏附性均有改善;含MCMB试验组的工件磨削表面形貌完整性更高,脆性破碎凹坑较少;当工件进给速度为40 mm/s、磨削深度为15μm时,体积分数为5%的MCMB试验组相比不含MCMB的试验组表面粗糙度Ra下降29.8%;在工件进给速度30 mm/s、磨削深度20μm时,体积分数为5%的MCMB试验组相比不含MCMB的试验组亚表面损伤深度减小47.9%。 展开更多
关键词 多层钎焊砂轮 电解修整磨削 中间相炭微球 氧化膜 亚表面损伤
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考虑相移的晶圆自旋转磨削表面纹理动态形成机理
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作者 王智斌 骆波阳 +2 位作者 郭明龙 魏兆成 田富宽 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第6期816-825,共10页
在超精密磨削加工过程中,砂轮磨粒轨迹聚集形成的磨削痕迹会降低硅晶圆的表面质量。当前,磨削表面纹理建模大多基于磨粒运动轨迹,但较少考虑相移的影响。为控制加工表面形貌,本研究对磨削表面纹理的形成机理进行探究,并揭示磨削后表面... 在超精密磨削加工过程中,砂轮磨粒轨迹聚集形成的磨削痕迹会降低硅晶圆的表面质量。当前,磨削表面纹理建模大多基于磨粒运动轨迹,但较少考虑相移的影响。为控制加工表面形貌,本研究对磨削表面纹理的形成机理进行探究,并揭示磨削后表面微波纹的分布规律及其影响因素。基于硅晶圆自旋转磨削的特点,建立砂轮磨粒在硅晶圆表面的三维磨削轨迹数学模型,分析砂轮绕坐标轴旋转一定角度后的硅晶圆磨削面型,考虑不同转速比下的相移,研究砂轮与硅晶圆转速比对硅晶圆磨削表面微波纹的影响规律,并进一步探究不同砂轮转速下相移对纳米级表面微波纹的作用机制。 展开更多
关键词 硅晶圆 磨削 超精密 表面微波纹 相移
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