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涡轮叶片气膜孔的激光微加工轨迹算法研究
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作者 马朝朝 田东坡 马康 《中国新技术新产品》 2026年第1期1-5,共5页
飞秒激光技术脉冲持续时间极短,瞬时功率极高,能够对航空发动机涡轮叶片气膜孔进行“冷”加工,有效解决了传统加工方法存在的热影响大、精度低等问题。本文研究飞秒激光加工技术在气膜孔轨迹填充方面的应用,并设计了5种基本填充方式算法... 飞秒激光技术脉冲持续时间极短,瞬时功率极高,能够对航空发动机涡轮叶片气膜孔进行“冷”加工,有效解决了传统加工方法存在的热影响大、精度低等问题。本文研究飞秒激光加工技术在气膜孔轨迹填充方面的应用,并设计了5种基本填充方式算法,包括圆环、螺旋线、跟随轮廓、单向和往复填充,分析了各个算法在不同孔型加工过程中的适用性。基于此,本文提出一套完整的轨迹算法。试验结果表明,本文设计的算法直圆孔加工精度为±2μm,热影响区<5μm,表面粗糙度Ra约为0.6μm,异形孔边界精度为±3μm,表面粗糙度Ra<0.8μm,能够保证加工质量,并提高了加工效率。本文算法为航空发动机涡轮叶片气膜孔的高质量制造提供技术支持。 展开更多
关键词 飞秒激光 气膜孔 轨迹算法 微加工 涡轮叶片
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等离子体刻蚀对聚苯乙烯微球尺寸缩减的工艺优化研究 被引量:1
2
作者 孙士阳 黄胜保 +4 位作者 钱远近 刘东昆 李嘉彬 任元 张文兴 《材料保护》 2025年第7期58-65,共8页
利用感应耦合等离子体刻蚀技术(Inductively Coupled Plasma, ICP)以及聚苯乙烯(PS)微球作为掩膜的刻蚀技术在硅纳米阵列的制备中应用广泛,但是PS微球的尺寸缩减过程中刻蚀往往伴随着表面质量下降的问题,同时PS微球的形貌受到多种工艺... 利用感应耦合等离子体刻蚀技术(Inductively Coupled Plasma, ICP)以及聚苯乙烯(PS)微球作为掩膜的刻蚀技术在硅纳米阵列的制备中应用广泛,但是PS微球的尺寸缩减过程中刻蚀往往伴随着表面质量下降的问题,同时PS微球的形貌受到多种工艺参数共同的影响,研究困难。为了解决这些问题,采用正交实验法对ICP工艺在粒径为10μm的PS微球尺寸缩减过程中的工艺影响进行了深入研究。结果显示:气体成分对刻蚀效果有显著影响,射频功率与微球尺寸缩减、表面粗糙度均为正相关,压强与微球表面粗糙度呈负相关,流量基本无影响。基于上述结论,最终确定最优工艺参数为:在O_(2)中添加20%的CF_(4),射频功率200 W-100 W(感应功率-直流偏置功率),压强3.0 Pa,气体流量50 mL/min(O_(2)∶CF_(4)流量比为4∶1)的工艺参数下,在不影响PS微球的刻蚀缩减效果的情况下表面粗糙度最低。采用此优化模板制备得到了高度线性化且外表面光滑的硅纳米阵列。 展开更多
关键词 等离子体刻蚀 聚苯乙烯微球 正交实验法 表面形貌
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复合喷丸强化渗碳钢缺口试样规律研究
3
作者 马泳涛 孙万顺 +2 位作者 张越江 孙宝成 刘兰荣 《重庆理工大学学报(自然科学)》 北大核心 2025年第11期176-183,共8页
为探究前混合水射流复合喷丸对渗碳淬火钢缺口试样的强化效果,通过专用的水射流喷丸系统对应力集中系数K t=2的18CrNiMo7-6渗碳淬火钢标准试样进行复合喷丸改性处理。结果表明,一次喷丸可在试样缺口底部引入较显著的残余压应力场,但会... 为探究前混合水射流复合喷丸对渗碳淬火钢缺口试样的强化效果,通过专用的水射流喷丸系统对应力集中系数K t=2的18CrNiMo7-6渗碳淬火钢标准试样进行复合喷丸改性处理。结果表明,一次喷丸可在试样缺口底部引入较显著的残余压应力场,但会导致表面粗糙度增大;在一次喷丸基础上进行的微细丸粒复合喷丸,不仅能维持一次喷丸引入的残余压应力场,还能显著降低试样的表面粗糙度。对不同喷丸参数下的试样进行旋转弯曲疲劳试验,结果表明,复合喷丸试样疲劳极限达1025 MPa,较原始试样提升28.5%,显著优于一次喷丸的22.9%增幅。 展开更多
关键词 前混合水射流 喷丸强化 残余应力 表面粗糙度 疲劳寿命
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前混合自振磨料射流喷嘴固液两相流仿真分析
4
作者 邓晓刚 黄汉杰 +2 位作者 刘长江 王晓倩 姜奇志 《科技与创新》 2025年第1期41-44,共4页
为了提高清除水下设施附着物的效率,结合前混合磨料水射流与Helmholtz自激振荡原理形成一种新型脉冲射流。分析了前混合自振磨料脉冲水射流的发生机理,对喷嘴结构进行了参数优化,对喷嘴的内部流场进行了固液两相仿真分析,得出收敛角以... 为了提高清除水下设施附着物的效率,结合前混合磨料水射流与Helmholtz自激振荡原理形成一种新型脉冲射流。分析了前混合自振磨料脉冲水射流的发生机理,对喷嘴结构进行了参数优化,对喷嘴的内部流场进行了固液两相仿真分析,得出收敛角以及振荡腔长径比对喷嘴内部湍动能和喷嘴出口速度的影响规律,以提高前混合自振磨料脉冲水射流的清除效率。 展开更多
关键词 前混合磨料射流 自激振荡 脉冲射流 喷嘴
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磨料流加工的流场压差均匀性研究
5
作者 金贵祥 文东辉 +3 位作者 王世军 韦美钧 汤炉滨 袁巧玲 《高技术通讯》 北大核心 2025年第6期630-639,共10页
剖析了磨料流流场压差不均匀性的成因,依据Preston方程推导得到了压差与材料去除量的函数关系。采用Fluent软件数值模拟了入口压力、工件直径、磨料粘度对三段区域流场压差的影响规律。研究表明:入口压力和工件直径越大,压差均匀性越差... 剖析了磨料流流场压差不均匀性的成因,依据Preston方程推导得到了压差与材料去除量的函数关系。采用Fluent软件数值模拟了入口压力、工件直径、磨料粘度对三段区域流场压差的影响规律。研究表明:入口压力和工件直径越大,压差均匀性越差;增大磨料粘度有利于压差的均匀性;工艺参数对压差均匀性影响显著程度为入口压力>磨料粘度>工件直径。进一步地,以工件直径为变量进行磨料流加工实验,分析了压差对不同加工区域材料去除/均匀性的作用机制。 展开更多
关键词 磨料流加工 流场压差 均匀性 材料去除
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面向能量转化的磨料水射流文丘里混合器结构优化
6
作者 章志强 陈满意 罗斌 《机床与液压》 北大核心 2025年第2期85-90,96,共7页
文丘里混合器是前混合磨料水射流系统的核心部件,其结构参数对液固能量转化效率有重要影响,决定了射流中的磨料冲击动能。以文丘里混合器结构参数为研究对象,运用数值模拟的方法对混合器内部流场进行研究,建立混合器物理模型、液固能量... 文丘里混合器是前混合磨料水射流系统的核心部件,其结构参数对液固能量转化效率有重要影响,决定了射流中的磨料冲击动能。以文丘里混合器结构参数为研究对象,运用数值模拟的方法对混合器内部流场进行研究,建立混合器物理模型、液固能量转化效率数学模型,模拟分析单因素影响结果,通过正交试验得到最优参数组合,采用不锈钢精铸件进行抛光试验。试验结果表明:最优的结构参数组合是磨料喷嘴与水喷嘴直径比为3,磨料入口与水喷嘴的水平距离为18 mm,水喷嘴与喉管的水平距离为3 mm,扩散角为8°;优化后的混合器液固能量转化效率从32.5761%提高到40.8053%;且抛光的表面质量也得到提高,粗糙度从0.574μm降低至0.525μm。 展开更多
关键词 磨料水射流 文丘里混合器 能量转化 正交试验 结构优化
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SED除鳞清理微细磨料分选回收技术研究
7
作者 柯熠 欧阳邓培 +2 位作者 韩德奎 毛桂庭 高波 《凿岩机械气动工具》 2025年第4期120-123,共4页
文章针对SED除鳞清理时微细磨料高效分选回收需求,以重介质旋流器为研究对象,基于正交试验法,以溢流管内径、溢流管插入深度、造浆高度为优化因素,开展了旋流器选型和结构参数优化工作,发现FX-200旋流器为最佳选型,得到最优因素水平组... 文章针对SED除鳞清理时微细磨料高效分选回收需求,以重介质旋流器为研究对象,基于正交试验法,以溢流管内径、溢流管插入深度、造浆高度为优化因素,开展了旋流器选型和结构参数优化工作,发现FX-200旋流器为最佳选型,得到最优因素水平组合为溢流管内径60 mm、溢流管插入深度235 mm、造浆高度40 mm。 展开更多
关键词 除鳞清理 旋流器 正交试验
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316L不锈钢表面二次电子发射抑制微结构的激光辅助水射流加工实验
8
作者 徐相悦 姚彦如 +1 位作者 褚东凯 刘雪飞 《光学精密工程》 北大核心 2025年第14期2206-2219,共14页
为了降低316L不锈钢表面二次电子发射率,设计了可降低不锈钢表面二次电子发射率的沟槽和网格阵列。使用激光辅助水射流技术进行所设计阵列的加工,并检测表面二次电子发射率。首先使用CASINO仿真软件设计了可降低二次电子发射数量的沟槽... 为了降低316L不锈钢表面二次电子发射率,设计了可降低不锈钢表面二次电子发射率的沟槽和网格阵列。使用激光辅助水射流技术进行所设计阵列的加工,并检测表面二次电子发射率。首先使用CASINO仿真软件设计了可降低二次电子发射数量的沟槽和网格阵列。接着使用响应面法研究激光辅助水射流工艺参数对沟槽深宽比的影响,获得沟槽深宽比回归预测模型以得到最大深宽比加工参数组合。最后进行沟槽、网格阵列的激光辅助水射流加工,并检测表面二次电子发射率。实验结果表明:沟槽、网格阵列表面二次电子发射率大幅下降,二次电子发射率峰值分别为1.48和1.25,较未加工表面二次电子发射率峰值2.33分别降低了36.50%和46.35%。沟槽阵列、网格阵列抑制316L不锈钢表面二次电子发射率性能良好。 展开更多
关键词 激光辅助水射流 316L不锈钢 二次电子发射 激光微纳加工
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离子束加工中驻留时间的求解模型及方法(英文) 被引量:29
9
作者 周林 戴一帆 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第2期107-112,共6页
驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题.通常,离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程,理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间.然而,反卷积问题是一个病态问题,所以驻留时间一般较难很好地求解出.为了解决这个问题... 驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题.通常,离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程,理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间.然而,反卷积问题是一个病态问题,所以驻留时间一般较难很好地求解出.为了解决这个问题,介绍了一个离散的线性模型——CEH模型,分析了该模型的优点.提出应用截断奇异值分解法(TSVD)来求解CEH模型;深入分析了该方法的优点,并利用“L-曲线”分析了驻留误差和加工量之间的关系以及用“L-曲线”对CEH模型中去除点和驻留点的不同取法进行了评价.仿真结果表明,CEH模型和TS-VD方法对于求解光学镜面离子束加工中的驻留时间很有效. 展开更多
关键词 离子束加工 光学零件加工 CEH模型 截断奇异值分解法(TSVD) L-曲线
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微磨料水射流加工技术研究现状 被引量:18
10
作者 李增强 赵佩杰 +1 位作者 宋雨轩 孙涛 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期134-144,共11页
现代制造技术正朝着产品小型化和加工过程微型化的方向不断发展,用于加工微型零件的材料越来越难加工,对加工精度的要求也越来越高,当前微细加工技术面临巨大挑战.近十几年来,微磨料水射流加工技术(射流直径10~100μm)快速发展,已实... 现代制造技术正朝着产品小型化和加工过程微型化的方向不断发展,用于加工微型零件的材料越来越难加工,对加工精度的要求也越来越高,当前微细加工技术面临巨大挑战.近十几年来,微磨料水射流加工技术(射流直径10~100μm)快速发展,已实现对金属、陶瓷、光学玻璃、半导体以及复合材料等难加工材料的精密微细加工,其加工精度和表面质量已达到激光加工水平,是一种具有广阔应用前景的新型微细加工技术.为进一步了解该项技术的最新发展动态,本文介绍了微磨料水射流加工技术的基本原理、研究现状以及未来的发展趋势. 展开更多
关键词 微磨料水射流 水射流切割 水射流加工 水射流抛光
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微磨料水射流技术及其应用 被引量:23
11
作者 雷玉勇 蔡黎明 +1 位作者 邴龙健 唐令波 《西华大学学报(自然科学版)》 CAS 2009年第4期1-6,共6页
介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上,提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送... 介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上,提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论。研究表明,为了产生射束直径100μm以下的微磨料水射流,必须采用湿式磨料,同时完全避免空气进入。采用300nm至8μm氧化铝浆液磨料和Ф40—50μm喷嘴,应用运载方法可以产生束径达Ф40-50μm级的微细加工磨料水射流。在同样水压力下,其切割的能量密度是普通磨料水射流的4~5倍。微磨料水射流在半导体材料加工、微型电子机械系统制造以及光学器件生产上具有广阔应用前景。 展开更多
关键词 微磨料水射流 浆液磨料 微细加工 微水射流
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基于人工神经网络的磨料水射流精密特种加工 被引量:14
12
作者 雷玉勇 贾强 +3 位作者 杨桂林 邱刚 马超 宋清俊 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期155-159,共5页
磨料水射流是一种先进的绿色加工工具。为了获得较高的表面精度,必须精确控制水射流加工的各种工艺参数。一种可行的办法是建立水射流加工过程中的主要参数之间的非线性关系,通过加工速度的补偿来间接控制工件表面质量。本文基于人工神... 磨料水射流是一种先进的绿色加工工具。为了获得较高的表面精度,必须精确控制水射流加工的各种工艺参数。一种可行的办法是建立水射流加工过程中的主要参数之间的非线性关系,通过加工速度的补偿来间接控制工件表面质量。本文基于人工神经网络理论,建立了水射流加工过程的神经网络模型。在获取大量样本数据的基础上,对网络模型进行训练。经过训练的水射流加工神经网络模型可以准确预测与给定压力、磨料流量、工件厚度、期望的表面粗糙度所对应的切割速度,实验验证获得满意结果。 展开更多
关键词 磨料射流 模型 人工神经网络
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离子束倾斜入射抛光对表面粗糙度的影响 被引量:9
13
作者 舒谊 周林 +2 位作者 解旭辉 廖文林 李圣怡 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第4期365-368,共4页
基于光学元件离子束高精度确定性抛光技术,在自行研制的离子束抛光机床上,本文研究了离子束倾斜入射抛光对光学材料熔石英表面粗糙度的影响.为了在离子束抛光中改善表面粗糙度,采用了0°~80°之间不同入射角度的离子束倾斜抛... 基于光学元件离子束高精度确定性抛光技术,在自行研制的离子束抛光机床上,本文研究了离子束倾斜入射抛光对光学材料熔石英表面粗糙度的影响.为了在离子束抛光中改善表面粗糙度,采用了0°~80°之间不同入射角度的离子束倾斜抛光和倾斜45°入射均匀去除两种实验方案进行研究,其中不同入射角度抛光实验研究结果表明:离子束垂直入射抛光较难改善表面粗糙度,倾斜入射抛光可以较好地改善表面粗糙度,入射角为30°~60°之间时抛光效果最佳,表面粗糙度得到明显改善;倾斜45°入射均匀去除抛光实验结果表明表面粗糙度的RMS值由抛光前(0.92±0.06)nm下降到(0.48±0.04)nm,提高了光学零件的表面质量,验证了离子束倾斜入射抛光可以较好地改善表面粗糙度,实现了离子束倾斜抛光超光滑表面的生成. 展开更多
关键词 离子束抛光 倾斜入射 熔石英 表面粗糙度 超光滑表面
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软性磨粒流双入口约束流场数值分析及加工试验研究 被引量:13
14
作者 计时鸣 付有志 谭大鹏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第19期177-185,共9页
针对软性磨粒流精密加工中单入口加工装置加工不均匀问题,提出一种基于流体碰撞理论的双入口加工新方法。借助计算流体力学软件,结合剪切输运(Shear stress transport,SST)k-ω湍流模型及Mixture混合模型,分析两种加工装置内磨粒流动力... 针对软性磨粒流精密加工中单入口加工装置加工不均匀问题,提出一种基于流体碰撞理论的双入口加工新方法。借助计算流体力学软件,结合剪切输运(Shear stress transport,SST)k-ω湍流模型及Mixture混合模型,分析两种加工装置内磨粒流动力学特性,数值模拟结果显示:单入口加工装置内磨粒流流场固定分布,双入口加工装置内磨粒流流场呈现周期性摆动,提高约束流道内磨粒流流动无序性。加工试验进行35 h后,单入口加工装置加工工件表面粗糙度Ra值分散,工件表面存在严重加工不均匀性;双入口加工装置工件表面各处粗糙度Ra集中且各方向粗糙度值均小于单入口加工装置,表面加工效果均匀。上述研究结果表明:双入口加工装置有效地扰乱约束流道内磨粒流流场,提高磨粒流流动的无序性,改善表面加工质量。 展开更多
关键词 软性磨粒流加工 SST k-ω 湍流模型 双入口加工装置 流体碰撞
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TC4钛合金激光搭接冲击强化的实验和数值模拟 被引量:5
15
作者 花银群 蔡峥嵘 +2 位作者 陈瑞芳 姜辉 吉光 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期632-635,639,共5页
为了研究激光搭接冲击时残余应力场的特征以及激光冲击参量对搭接区残余应力场的影响,采用高功率钕玻璃激光系统对TC4板进行了激光搭接冲击实验,同时利用有限元软件ANSYS对激光搭接冲击过程进行了模拟,残余应力场的数值模拟结果与实验... 为了研究激光搭接冲击时残余应力场的特征以及激光冲击参量对搭接区残余应力场的影响,采用高功率钕玻璃激光系统对TC4板进行了激光搭接冲击实验,同时利用有限元软件ANSYS对激光搭接冲击过程进行了模拟,残余应力场的数值模拟结果与实验结果取得较好的一致。结果表明,在不考虑各冲击参量之间交互作用的前提下,搭接区表面残余压应力值和残余压应力场深度随搭接率增加而增加,但达到一定阈值后,残压应力场深度会下降;搭接区表面残余压应力值和残余应力场深度会随着功率密度的上升而增加;在脉宽小于一定阈值条件下,搭接区表面残余压应力随脉宽增加而增加,超过阀值之后,表面残余压应力减小,但残余压应力层深度一直是随着脉宽的增加而增加。 展开更多
关键词 激光技术 激光搭接冲击强化 数值模拟 残余应力场 TC4钛合金
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Dominant Factors of Metal Jet Breakup in Micro Droplet Deposition Manufacturing Technique 被引量:6
16
作者 齐乐华 蒋小珊 +2 位作者 罗俊 候向辉 李贺军 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期495-500,共6页
For the solutions of random variations of metal jet breakup and difficulties in controlling and predicting the process parameters (e.g. jet length) in micro droplet deposition manufacturing technique, experimental m... For the solutions of random variations of metal jet breakup and difficulties in controlling and predicting the process parameters (e.g. jet length) in micro droplet deposition manufacturing technique, experimental methods combining with theoretical analyses have been developed. The jet formation, jet length and their dominant factors (oxygen concentration and disturbance frequency, etc.) are discussed. The statistical law of jet length is found that the probability density function (PDF) of jet length is a log-normal distribution. The results show that the formation and size accuracy of metal jet breakup are improved by adjusting the gas pressure and optimizing the disturbance frequency. Under this circumstance, the jet length and morphological deviation can be minimized, which provides a stable droplet stream for the subsequent manufacturing process. 展开更多
关键词 jet breakup OXIDATION jet length optimal frequency log-normal distribution
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基于拟水平正交实验法的磨料水射流切割性能研究 被引量:14
17
作者 侯交义 康旭 +3 位作者 徐凯 弓永军 宁大勇 张增猛 《机床与液压》 北大核心 2018年第3期95-98,共4页
磨料水射流切割作为一种新型的冷切割技术,凭借较强的切割能力和良好的切割质量,越来越多的应用到工程领域中。为了探究不同切割参数对磨料水射流切割性能的影响,采用拟水平法设计实验方案,进行钢板切割实验。实验结果表明:射流的切割... 磨料水射流切割作为一种新型的冷切割技术,凭借较强的切割能力和良好的切割质量,越来越多的应用到工程领域中。为了探究不同切割参数对磨料水射流切割性能的影响,采用拟水平法设计实验方案,进行钢板切割实验。实验结果表明:射流的切割能力与泵压和切割转速成正相关,喷嘴直径和切割靶距存在一个最佳范围,堆积作用和淹没状态都对切割性能有不同程度的影响。 展开更多
关键词 磨料水射流 切割性能 正交实验 拟水平法
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旋涡气流场的形成与分析 被引量:7
18
作者 贾月梅 马向阳 +1 位作者 汪鸣铮 杨世春 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期518-519,共2页
旋涡气流光整加工是以旋涡气流为载体 ,带动磨粒紧贴工件内孔表面作高速、强劲的“龙卷风”式的螺旋运动 ,实现内孔表面的光整加工。这种新工艺的关键技术是如何形成旋涡气流及研究气流速度和压力对加工效果的影响关系。为此 ,应用流体... 旋涡气流光整加工是以旋涡气流为载体 ,带动磨粒紧贴工件内孔表面作高速、强劲的“龙卷风”式的螺旋运动 ,实现内孔表面的光整加工。这种新工艺的关键技术是如何形成旋涡气流及研究气流速度和压力对加工效果的影响关系。为此 ,应用流体力学理论分析形成旋涡气流场的条件 ,研制了模拟实验用的旋涡头 ,研究气流速度和压力沿径向的分布规律 ,建立了相关的数学模型 ,为进一步研究和应用提供了理论依据。 展开更多
关键词 旋涡气流光整加工 旋涡气流场 数学模型 旋涡头
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超精密纳米胶体射流抛光试验研究 被引量:7
19
作者 宋孝宗 张勇 +1 位作者 张飞虎 栾殿荣 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第21期2521-2524,共4页
综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系... 综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光。试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm。 展开更多
关键词 超精密加工 纳米胶体射流加工 抛光 纳米颗粒
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离子束抛光热效应研究 被引量:7
20
作者 张云飞 吉方 +5 位作者 蓝河 朱建平 戴晓静 肖虹 王亚军 陈东生 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2013年第9期83-86,共4页
离子束加工时工件温升较高,由此会产生热应力和热变形,影响加工精度。基于实际抛光测试了离子束加工过程中工件表面温度场分布,利用ANSYS软件对工件热变形进行了仿真分析,采用均匀抛光的方法研究了热应力和热变形对工件面形精度的影响... 离子束加工时工件温升较高,由此会产生热应力和热变形,影响加工精度。基于实际抛光测试了离子束加工过程中工件表面温度场分布,利用ANSYS软件对工件热变形进行了仿真分析,采用均匀抛光的方法研究了热应力和热变形对工件面形精度的影响。研究结果显示:离子束抛光过程中工件的温度可能会升至200℃,工件总变形量最大可达30μm;工件装夹应力是热变形能否恢复的关键,当工件装夹应力较小时,热变形对加工精度影响很小。 展开更多
关键词 离子束抛光 热效应 热变形 装夹应力
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