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等离子体刻蚀对聚苯乙烯微球尺寸缩减的工艺优化研究
1
作者 孙士阳 黄胜保 +4 位作者 钱远近 刘东昆 李嘉彬 任元 张文兴 《材料保护》 2025年第7期58-65,共8页
利用感应耦合等离子体刻蚀技术(Inductively Coupled Plasma, ICP)以及聚苯乙烯(PS)微球作为掩膜的刻蚀技术在硅纳米阵列的制备中应用广泛,但是PS微球的尺寸缩减过程中刻蚀往往伴随着表面质量下降的问题,同时PS微球的形貌受到多种工艺... 利用感应耦合等离子体刻蚀技术(Inductively Coupled Plasma, ICP)以及聚苯乙烯(PS)微球作为掩膜的刻蚀技术在硅纳米阵列的制备中应用广泛,但是PS微球的尺寸缩减过程中刻蚀往往伴随着表面质量下降的问题,同时PS微球的形貌受到多种工艺参数共同的影响,研究困难。为了解决这些问题,采用正交实验法对ICP工艺在粒径为10μm的PS微球尺寸缩减过程中的工艺影响进行了深入研究。结果显示:气体成分对刻蚀效果有显著影响,射频功率与微球尺寸缩减、表面粗糙度均为正相关,压强与微球表面粗糙度呈负相关,流量基本无影响。基于上述结论,最终确定最优工艺参数为:在O_(2)中添加20%的CF_(4),射频功率200 W-100 W(感应功率-直流偏置功率),压强3.0 Pa,气体流量50 mL/min(O_(2)∶CF_(4)流量比为4∶1)的工艺参数下,在不影响PS微球的刻蚀缩减效果的情况下表面粗糙度最低。采用此优化模板制备得到了高度线性化且外表面光滑的硅纳米阵列。 展开更多
关键词 等离子体刻蚀 聚苯乙烯微球 正交实验法 表面形貌
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前混合自振磨料射流喷嘴固液两相流仿真分析
2
作者 邓晓刚 黄汉杰 +2 位作者 刘长江 王晓倩 姜奇志 《科技与创新》 2025年第1期41-44,共4页
为了提高清除水下设施附着物的效率,结合前混合磨料水射流与Helmholtz自激振荡原理形成一种新型脉冲射流。分析了前混合自振磨料脉冲水射流的发生机理,对喷嘴结构进行了参数优化,对喷嘴的内部流场进行了固液两相仿真分析,得出收敛角以... 为了提高清除水下设施附着物的效率,结合前混合磨料水射流与Helmholtz自激振荡原理形成一种新型脉冲射流。分析了前混合自振磨料脉冲水射流的发生机理,对喷嘴结构进行了参数优化,对喷嘴的内部流场进行了固液两相仿真分析,得出收敛角以及振荡腔长径比对喷嘴内部湍动能和喷嘴出口速度的影响规律,以提高前混合自振磨料脉冲水射流的清除效率。 展开更多
关键词 前混合磨料射流 自激振荡 脉冲射流 喷嘴
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磨料流加工的流场压差均匀性研究
3
作者 金贵祥 文东辉 +3 位作者 王世军 韦美钧 汤炉滨 袁巧玲 《高技术通讯》 北大核心 2025年第6期630-639,共10页
剖析了磨料流流场压差不均匀性的成因,依据Preston方程推导得到了压差与材料去除量的函数关系。采用Fluent软件数值模拟了入口压力、工件直径、磨料粘度对三段区域流场压差的影响规律。研究表明:入口压力和工件直径越大,压差均匀性越差... 剖析了磨料流流场压差不均匀性的成因,依据Preston方程推导得到了压差与材料去除量的函数关系。采用Fluent软件数值模拟了入口压力、工件直径、磨料粘度对三段区域流场压差的影响规律。研究表明:入口压力和工件直径越大,压差均匀性越差;增大磨料粘度有利于压差的均匀性;工艺参数对压差均匀性影响显著程度为入口压力>磨料粘度>工件直径。进一步地,以工件直径为变量进行磨料流加工实验,分析了压差对不同加工区域材料去除/均匀性的作用机制。 展开更多
关键词 磨料流加工 流场压差 均匀性 材料去除
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面向能量转化的磨料水射流文丘里混合器结构优化
4
作者 章志强 陈满意 罗斌 《机床与液压》 北大核心 2025年第2期85-90,96,共7页
文丘里混合器是前混合磨料水射流系统的核心部件,其结构参数对液固能量转化效率有重要影响,决定了射流中的磨料冲击动能。以文丘里混合器结构参数为研究对象,运用数值模拟的方法对混合器内部流场进行研究,建立混合器物理模型、液固能量... 文丘里混合器是前混合磨料水射流系统的核心部件,其结构参数对液固能量转化效率有重要影响,决定了射流中的磨料冲击动能。以文丘里混合器结构参数为研究对象,运用数值模拟的方法对混合器内部流场进行研究,建立混合器物理模型、液固能量转化效率数学模型,模拟分析单因素影响结果,通过正交试验得到最优参数组合,采用不锈钢精铸件进行抛光试验。试验结果表明:最优的结构参数组合是磨料喷嘴与水喷嘴直径比为3,磨料入口与水喷嘴的水平距离为18 mm,水喷嘴与喉管的水平距离为3 mm,扩散角为8°;优化后的混合器液固能量转化效率从32.5761%提高到40.8053%;且抛光的表面质量也得到提高,粗糙度从0.574μm降低至0.525μm。 展开更多
关键词 磨料水射流 文丘里混合器 能量转化 正交试验 结构优化
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SED除鳞清理微细磨料分选回收技术研究
5
作者 柯熠 欧阳邓培 +2 位作者 韩德奎 毛桂庭 高波 《凿岩机械气动工具》 2025年第4期120-123,共4页
文章针对SED除鳞清理时微细磨料高效分选回收需求,以重介质旋流器为研究对象,基于正交试验法,以溢流管内径、溢流管插入深度、造浆高度为优化因素,开展了旋流器选型和结构参数优化工作,发现FX-200旋流器为最佳选型,得到最优因素水平组... 文章针对SED除鳞清理时微细磨料高效分选回收需求,以重介质旋流器为研究对象,基于正交试验法,以溢流管内径、溢流管插入深度、造浆高度为优化因素,开展了旋流器选型和结构参数优化工作,发现FX-200旋流器为最佳选型,得到最优因素水平组合为溢流管内径60 mm、溢流管插入深度235 mm、造浆高度40 mm。 展开更多
关键词 除鳞清理 旋流器 正交试验
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316L不锈钢表面二次电子发射抑制微结构的激光辅助水射流加工实验
6
作者 徐相悦 姚彦如 +1 位作者 褚东凯 刘雪飞 《光学精密工程》 北大核心 2025年第14期2206-2219,共14页
为了降低316L不锈钢表面二次电子发射率,设计了可降低不锈钢表面二次电子发射率的沟槽和网格阵列。使用激光辅助水射流技术进行所设计阵列的加工,并检测表面二次电子发射率。首先使用CASINO仿真软件设计了可降低二次电子发射数量的沟槽... 为了降低316L不锈钢表面二次电子发射率,设计了可降低不锈钢表面二次电子发射率的沟槽和网格阵列。使用激光辅助水射流技术进行所设计阵列的加工,并检测表面二次电子发射率。首先使用CASINO仿真软件设计了可降低二次电子发射数量的沟槽和网格阵列。接着使用响应面法研究激光辅助水射流工艺参数对沟槽深宽比的影响,获得沟槽深宽比回归预测模型以得到最大深宽比加工参数组合。最后进行沟槽、网格阵列的激光辅助水射流加工,并检测表面二次电子发射率。实验结果表明:沟槽、网格阵列表面二次电子发射率大幅下降,二次电子发射率峰值分别为1.48和1.25,较未加工表面二次电子发射率峰值2.33分别降低了36.50%和46.35%。沟槽阵列、网格阵列抑制316L不锈钢表面二次电子发射率性能良好。 展开更多
关键词 激光辅助水射流 316L不锈钢 二次电子发射 激光微纳加工
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40CrNi4Mo1V炮钢高压射流除鳞工艺
7
作者 邱德花 刘佳伟 +4 位作者 林均品 王腾 王俊伟 彭冲 刘志冠 《锻压技术》 北大核心 2025年第3期112-119,共8页
研究了加热时间、喷射高度、喷射压力及高温防氧化涂层对40CrNi4Mo1V炮钢高压射流除鳞的影响。研究结果表明,除鳞宽度随着喷射高度的降低而减少,喷射高度由130 mm降低至110 mm,除鳞宽度减少约11 mm,喷射压力对除鳞宽度的影响并不显著。... 研究了加热时间、喷射高度、喷射压力及高温防氧化涂层对40CrNi4Mo1V炮钢高压射流除鳞的影响。研究结果表明,除鳞宽度随着喷射高度的降低而减少,喷射高度由130 mm降低至110 mm,除鳞宽度减少约11 mm,喷射压力对除鳞宽度的影响并不显著。当喷射高度降低至110 mm时,相邻射流重叠区域基本消失。提高喷射压力、降低喷射高度可以增加射流打击力,在实验条件下,喷射压力高于30 MPa时,试样片表面氧化铁鳞清除干净。40CrNi4Mo1V炮钢高温下形成(Fe、Cr)氧化物相和(Fe、Ni、Mo)合金相盘错的氧化铁鳞,其与基体的结合力高,清除难度大,氧化铁鳞相连接基体中生成大量Fe_(x)O_(y)-Cr_(x)O_(y)内生氧化质点。涂覆高温防氧化涂层的试样,除鳞后表面形成低于10μm的极薄Fe_(x)O_(y)层,基体内部存在极少量内生氧化质点且深度不超过40μm。 展开更多
关键词 40CrNi4Mo1V炮钢 高压射流除鳞 加热时间 喷射高度 喷射压力
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基于磨料水射流车载动力锂电池切割的试验研究
8
作者 李敬彬 李文彬 +4 位作者 李帅霖 李根生 黄中伟 李欢 周博文 《流体机械》 CSCD 北大核心 2024年第12期2-7,30,共7页
针对传统电池分解方式存在危险系数高、耗费时间长和环境污染等问题,提出将磨料水射流切割技术应用于车载动力锂电池分解的方案。开展了磨料水射流切割磷酸铁锂电池的可行性研究试验,探究了磨料水射流切割不同电池位置的切割速率,以及... 针对传统电池分解方式存在危险系数高、耗费时间长和环境污染等问题,提出将磨料水射流切割技术应用于车载动力锂电池分解的方案。开展了磨料水射流切割磷酸铁锂电池的可行性研究试验,探究了磨料水射流切割不同电池位置的切割速率,以及电池被切割前后的电压变化情况;分析了切割电池产生的物料损失及污染物。试验结果表明,磨料水射流可在带压条件下,安全高效地切穿电池外壳、连接件、电芯、正负极片、隔膜等电池组件;针对电池不同位置,其切割速率介于4~16 mm/min之间;磷酸铁锂电池的电芯被切割时,电解液流出并与水反应,产生少量腐蚀性液体;切割后,电芯平均电压下降,但不影响电芯的梯级利用与稀有金属材料回收。研究论证了该切割技术切割锂电池的可行性,同时为潜在的电池拆解方式提供可选方案,并为推动改进动力电池回收和再资源化的循环利用体系提供理论指导。 展开更多
关键词 磨料水射流 锂电池 回收 新能源 切割
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基于Fluent的空化射流喷嘴的数值模拟研究
9
作者 刘新宇 唐清春 +3 位作者 陈逢军 杨鸿昆 潘文俊 黄文桂 《煤矿机械》 2025年第8期202-207,共6页
空化射流技术在矿业、石油及超精密制造等领域应用广泛,其中喷嘴是空化射流系统中最为关键的部件。采用Fluent软件对5种喷嘴进行数值模拟,得出各喷嘴压力、速度与空泡体积分数分布云图,并验证数值分析的可靠性。仿真结果表明,漏斗型喷... 空化射流技术在矿业、石油及超精密制造等领域应用广泛,其中喷嘴是空化射流系统中最为关键的部件。采用Fluent软件对5种喷嘴进行数值模拟,得出各喷嘴压力、速度与空泡体积分数分布云图,并验证数值分析的可靠性。仿真结果表明,漏斗型喷嘴稳定性高、喷射性能优异且空化效应显著,最大空泡体积分数达到了99.2%。采用响应面法优化喷嘴结构,其中入口圆柱段长度为9 mm,收缩段长度为15 mm,出口圆柱段长度为7.5 mm,为空化射流喷嘴装置设计和使用提供了重要参考。 展开更多
关键词 空化射流喷嘴 数值模拟 ANSYS Fluent 响应面法
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薄壳元件的磁控磁流变弹性体均匀抛光
10
作者 薛勃 朱力军 +5 位作者 苏星 陈立 周涛 张建飞 海阔 黄文 《光学精密工程》 北大核心 2025年第3期402-415,共14页
为实现薄壳元件内表面的高质量超精密抛光,基于磁控磁流变弹性体(Magnetorheological Elastomer, MRE)抛光原理提出了一种均匀抛光方法。该方法通过在薄壳元件外表面施加磁场,精确控制MRE对内表面的压力,从而实现内表面均匀抛光。利用CO... 为实现薄壳元件内表面的高质量超精密抛光,基于磁控磁流变弹性体(Magnetorheological Elastomer, MRE)抛光原理提出了一种均匀抛光方法。该方法通过在薄壳元件外表面施加磁场,精确控制MRE对内表面的压力,从而实现内表面均匀抛光。利用COMSOL Multiphysics软件对MRE进行磁-弹性耦合数值模拟,确定元件表面的抛光压力及其分布,获得抛光区域的速度分布,并基于Preston方程构建抛光去除函数模型。随后对该模型进行离散化采样,推导材料去除量向量,并采用非负最小二乘法计算抛光区域各点的驻留时间。最后,在磁场强度为0.32 T的条件下,使用磁控MRE抛光装置对尺寸为60 mm×60 mm×1 mm的熔石英玻璃工件进行了78 min的抛光实验。实验结果表明,通过控制抛光区域各驻留点的时间,磁控区域的表面材料平均去除深度为84.4 nm,去除深度波动范围为10.9%,实现了表面均匀抛光。由此证明了该方法实现薄壳元件内表面均匀抛光的有效性。 展开更多
关键词 超精密加工 均匀抛光 薄壳元件 磁流变弹性体 去除深度 磁场
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四种海工材料对射流空化作用的响应对比与分析 被引量：1
11
作者 康灿 刘海霞 +2 位作者 陈杰 闫世峰 毛宁 《流体机械》 CSCD 北大核心 2024年第12期57-63,共7页
为对比4种海洋工程材料的抗空蚀性能,采用基于ASTM G134—2023的射流空蚀试验系统,以清水为循环介质,并保持其温度恒定,对A1070,NW2200,CAC402,SUS316L这4种材料进行对比试验研究。测量试样的质量损失,观测试样表面形貌,分析晶界取向,... 为对比4种海洋工程材料的抗空蚀性能,采用基于ASTM G134—2023的射流空蚀试验系统,以清水为循环介质,并保持其温度恒定,对A1070,NW2200,CAC402,SUS316L这4种材料进行对比试验研究。测量试样的质量损失,观测试样表面形貌,分析晶界取向,并对截面硬度进行测量与分析。通过A1070试样确定最大空蚀强度对应的空化数为0.014,相应的空蚀腔进口压力为20 MPa,最佳靶距为16.0 mm。结果表明,与靶距为16.0 mm时相比,靶距为19.0 mm时,A1070试样的累积质量损失减少约14%(空化水射流作用时间为5 min);对于SUS316L,NW2200,CAC402试样,其分别经过约320,110,70 min时长的空化水射流作用后,进入空蚀稳定期,对应的累积质量损失率分别为0.14,0.30,0.45 mg/min;电子背散射衍射结果显示,射流空化在引起空蚀的同时,会导致被冲击表面附近出现小角度晶界,该处同时出现较大应力;试样表面附近的硬度值随空化作用时间延长而增大,材料的去除使硬化效应向试样内部传播。研究可为海工装备构件设计与制造提供参考。 展开更多
关键词 空化水射流 海工材料 质量损失 表面形貌 晶界取向 截面硬度
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微磨料气射流加工技术研究现状与展望
12
作者 张桂冠 赵玉刚 +4 位作者 赵国勇 高跃武 孟建兵 孙玉利 左敦稳 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第5期14-26,共13页
微磨料射流加工技术是一种基于高能流体的磨粒冲蚀磨损加工技术,已广泛应用于难加工材料、复杂三维型面、光滑表面的加工。为进一步提高磨料射流加工过程中的精准控形控性能力,国内外学者开展了诸多基础加工理论与工艺探索等方面的研究... 微磨料射流加工技术是一种基于高能流体的磨粒冲蚀磨损加工技术,已广泛应用于难加工材料、复杂三维型面、光滑表面的加工。为进一步提高磨料射流加工过程中的精准控形控性能力,国内外学者开展了诸多基础加工理论与工艺探索等方面的研究工作。本文在概述磨料射流加工技术发展的基础上,全面总结了国内外学者在微磨料气射流加工(MAJM)技术中的微磨料气射流束发散效应及其抑制策略、材料力学性能对材料冲蚀去除模式的影响、材料冲蚀加工过程磨料嵌入抑制策略、微结构冲蚀加工几何特征等方面的主要研究成果,并对微磨料射流加工技术的难点与发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微磨料气射流加工(MAJM)技术 材料冲蚀去除机理 微结构几何特征 磨料 磨料嵌入 难加工材料
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微磨料气射流加工结构化拓扑鱼鳞表面的实验研究
13
作者 智佳琦 吕玉山 +1 位作者 李兴山 陈超 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第3期391-397,共7页
为了在脆性难加工材料上制备结构化鱼鳞表面,首先提取了鱼鳞表面的拓扑特征,建立了鱼鳞单元的表面模型,并基于鱼鳞模型进行搭接,得到结构化鱼鳞表面;然后根据微磨料气射流加工原理,分析了气射流加工拓扑鱼鳞实验的可行性与影响结构化鱼... 为了在脆性难加工材料上制备结构化鱼鳞表面,首先提取了鱼鳞表面的拓扑特征,建立了鱼鳞单元的表面模型,并基于鱼鳞模型进行搭接,得到结构化鱼鳞表面;然后根据微磨料气射流加工原理,分析了气射流加工拓扑鱼鳞实验的可行性与影响结构化鱼鳞表面形貌的重要工艺参数;最后采用单因素实验法对重要加工参数进行实验分析,得到了较好的拓扑鱼鳞表面单元,并以此进行排布得到结构化表面。研究结果表明,微磨料气射流加工结构化拓扑鱼鳞表面较为合理的工艺参数组合是加工时间为10 s、气射流加工压力为0.5 MPa、靶距离为10 mm以及射流角度为30°,在此工艺条件下,鱼鳞表面的形态和尺寸可能会受到一定的影响,但鱼鳞表面的拓扑属性保持不变。 展开更多
关键词 微磨料射流加工 鱼鳞表面 拓扑特征 表面形貌
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磁性复合流体对砷化镓晶片的超精密表面抛光
14
作者 王有良 梁博 张文娟 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期377-385,共9页
研究了磁性复合流体(MCF)浆料对砷化镓(Ga As)晶片表面纳米精密抛光的影响。通过混合CS羰基铁颗粒(CIPs)、Al_(2)O_(3)磨料颗粒、α-纤维素和磁性流体制备MCF浆料。首先,通过设计用于产生旋转磁场的MCF单元,建立了抛光装置。然后,对Ga A... 研究了磁性复合流体(MCF)浆料对砷化镓(Ga As)晶片表面纳米精密抛光的影响。通过混合CS羰基铁颗粒(CIPs)、Al_(2)O_(3)磨料颗粒、α-纤维素和磁性流体制备MCF浆料。首先,通过设计用于产生旋转磁场的MCF单元,建立了抛光装置。然后,对Ga As晶片表面进行了点抛光实验,以阐明MCF成分对不同抛光位置的表面粗糙度R_(a)和材料去除(MR)的影响。最后,使用含有不同直径颗粒的水基MCF浆料进行了扫描抛光实验。结果表明,在点抛光的情况下,水基和油基MCF处理后的初始表面粗糙度从954.07 nm分别降至1.02和20.06 nm。此外,MR的深度随着抛光时间的增加而线性增加。使用水基MCF的MR深度是使用油基MCF抛光的2.5倍。同时,抛光区的横截面轮廓显示出W型,这表明点抛光工件表面的MR不均匀。通过扫描抛光,抛光区的横截面轮廓显示出U型,这表明在给定的实验条件下,无论使用何种MCF,MR都是均匀的。使用含有直径为0.3μm的磨粒的MCF能够获得R_(a)为0.82 nm的最光滑工作表面,同时MR速率为13.5μm/h。 展开更多
关键词 磁性复合流体 砷化镓晶片 抛光 表面粗糙度 材料去除
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基于Halcon的磨料水射流加工断面特征识别与分析 被引量：1
15
作者 高卫东 赵韡 +1 位作者 潘浩宇 柴子凡 《机械设计与制造工程》 2024年第1期110-114,共5页
针对加工断面特征参数测量效率低的问题,提出一种基于机器视觉的断面特征识别方法。首先对采集到的加工断面图像进行灰度形态学降噪、双边滤波等预处理;然后通过Otsu阈值分割结合形态学操作得到水射流加工断面的条痕区域;最后完成对处... 针对加工断面特征参数测量效率低的问题,提出一种基于机器视觉的断面特征识别方法。首先对采集到的加工断面图像进行灰度形态学降噪、双边滤波等预处理;然后通过Otsu阈值分割结合形态学操作得到水射流加工断面的条痕区域;最后完成对处理后条痕区域特征参数的测量。结果表明:所用方法能够有效对加工断面条痕区域进行较清晰的提取,提高了断面特征参数的测量效率。 展开更多
关键词 磨料水射流 特征参数 机器视觉 HALCON
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基于计算流体动力学的二次侧管板高压水射流喷嘴仿真
16
作者 余勤元 赵泽阳 +3 位作者 张宇 孙茂荣 赵琛 袁梦扬 《中国科技纵横》 2024年第10期100-102,共3页
本文利用混合物模型的两相流仿真了核电站蒸汽发生器二次侧冲洗需要的高压水射流喷嘴中的流场分布和压力分布。通过有限元方法计算了两相流模型,获得了流场分布和压力场分布。从流场分布可以看出,当逐渐远离高压水射流喷嘴的中轴线时,... 本文利用混合物模型的两相流仿真了核电站蒸汽发生器二次侧冲洗需要的高压水射流喷嘴中的流场分布和压力分布。通过有限元方法计算了两相流模型,获得了流场分布和压力场分布。从流场分布可以看出,当逐渐远离高压水射流喷嘴的中轴线时,高压水射流中的流场分布逐渐减小;在高压水射流喷嘴的中轴线处,流场最大;当高压水射流喷嘴的入口压力从40MPa逐渐增大到46MPa时,出口处的流场逐渐增大,从289.502m/s逐渐增大到312m/s,在一定范围内入口压力对出口流速的增加效果显著。 展开更多
关键词 高压水射流 有限元 蒸汽发生器 两相流
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离子束加工中驻留时间的求解模型及方法(英文) 被引量：29
17
作者 周林 戴一帆 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2007年第2期107-112,共6页
驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题.通常,离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程,理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间.然而,反卷积问题是一个病态问题,所以驻留时间一般较难很好地求解出.为了解决这个问题... 驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题.通常,离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程,理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间.然而,反卷积问题是一个病态问题,所以驻留时间一般较难很好地求解出.为了解决这个问题,介绍了一个离散的线性模型——CEH模型,分析了该模型的优点.提出应用截断奇异值分解法(TSVD)来求解CEH模型;深入分析了该方法的优点,并利用“L-曲线”分析了驻留误差和加工量之间的关系以及用“L-曲线”对CEH模型中去除点和驻留点的不同取法进行了评价.仿真结果表明,CEH模型和TS-VD方法对于求解光学镜面离子束加工中的驻留时间很有效. 展开更多
关键词 离子束加工 光学零件加工 CEH模型 截断奇异值分解法(TSVD) L-曲线
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微磨料水射流加工技术研究现状 被引量：18
18
作者 李增强 赵佩杰 +1 位作者 宋雨轩 孙涛 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期134-144,共11页
现代制造技术正朝着产品小型化和加工过程微型化的方向不断发展,用于加工微型零件的材料越来越难加工,对加工精度的要求也越来越高,当前微细加工技术面临巨大挑战.近十几年来,微磨料水射流加工技术（射流直径10~100μm）快速发展,已实... 现代制造技术正朝着产品小型化和加工过程微型化的方向不断发展,用于加工微型零件的材料越来越难加工,对加工精度的要求也越来越高,当前微细加工技术面临巨大挑战.近十几年来,微磨料水射流加工技术（射流直径10~100μm）快速发展,已实现对金属、陶瓷、光学玻璃、半导体以及复合材料等难加工材料的精密微细加工,其加工精度和表面质量已达到激光加工水平,是一种具有广阔应用前景的新型微细加工技术.为进一步了解该项技术的最新发展动态,本文介绍了微磨料水射流加工技术的基本原理、研究现状以及未来的发展趋势. 展开更多
关键词 微磨料水射流 水射流切割 水射流加工 水射流抛光
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微磨料水射流技术及其应用 被引量：23
19
作者 雷玉勇 蔡黎明 +1 位作者 邴龙健 唐令波 《西华大学学报（自然科学版）》 CAS 2009年第4期1-6,共6页
介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上，提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送... 介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上，提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论。研究表明，为了产生射束直径100μm以下的微磨料水射流，必须采用湿式磨料，同时完全避免空气进入。采用300nm至8μm氧化铝浆液磨料和Ф40—50μm喷嘴，应用运载方法可以产生束径达Ф40-50μm级的微细加工磨料水射流。在同样水压力下，其切割的能量密度是普通磨料水射流的4～5倍。微磨料水射流在半导体材料加工、微型电子机械系统制造以及光学器件生产上具有广阔应用前景。 展开更多
关键词 微磨料水射流 浆液磨料 微细加工 微水射流
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基于人工神经网络的磨料水射流精密特种加工 被引量：14
20
作者 雷玉勇 贾强 +3 位作者 杨桂林 邱刚 马超 宋清俊 《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期155-159,共5页
磨料水射流是一种先进的绿色加工工具。为了获得较高的表面精度,必须精确控制水射流加工的各种工艺参数。一种可行的办法是建立水射流加工过程中的主要参数之间的非线性关系,通过加工速度的补偿来间接控制工件表面质量。本文基于人工神... 磨料水射流是一种先进的绿色加工工具。为了获得较高的表面精度,必须精确控制水射流加工的各种工艺参数。一种可行的办法是建立水射流加工过程中的主要参数之间的非线性关系,通过加工速度的补偿来间接控制工件表面质量。本文基于人工神经网络理论,建立了水射流加工过程的神经网络模型。在获取大量样本数据的基础上,对网络模型进行训练。经过训练的水射流加工神经网络模型可以准确预测与给定压力、磨料流量、工件厚度、期望的表面粗糙度所对应的切割速度,实验验证获得满意结果。 展开更多
关键词 磨料射流 模型 人工神经网络
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