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含添加剂形成相硬质合金的制备及性能研究
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作者 毛海娜 柴郡 +2 位作者 陆斌 王云香 姚立学 《真空》 2025年第6期106-111,共6页
本研究旨在探讨添加剂对硬质合金微观结构演变及其力学性能的影响。以钨钴合金为基体,加入碳化钛及其他辅料,通过制粒、压制和烧结等工艺流程制备了不同碳化钛含量(质量分数)的硬质合金样品。利用扫描电子显微镜、磁滞回线测量仪和三点... 本研究旨在探讨添加剂对硬质合金微观结构演变及其力学性能的影响。以钨钴合金为基体,加入碳化钛及其他辅料,通过制粒、压制和烧结等工艺流程制备了不同碳化钛含量(质量分数)的硬质合金样品。利用扫描电子显微镜、磁滞回线测量仪和三点弯曲试验机对合金显微组织、矫顽力和抗弯强度进行了详细分析。结果表明,添加剂的加入显著改变了硬质合金的微观结构,随着添加剂含量的增加,合金的晶粒逐渐细化且分布更加均匀。碳化钛含量为15%合金试件的矫顽力最大,为5.8 kA·m~(-1),而相同烧结条件下,碳化钛含量20%合金试件的抗弯强度最高,达到840 MPa。添加剂含量对硬质合金的微观组织和力学性能有显著调控作用,且添加剂含量与合金抗弯强度呈现正相关趋势。通过优化添加剂配比,可以有效提升硬质合金的综合性能。 展开更多
关键词 添加剂 硬质合金 碳化钛 合金制备 性能分析
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硬质合金顶锤的低氧混合料制备与脱蜡-烧结一体化工艺
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作者 李文丽 郭伟波 +7 位作者 崔建明 黄椿 李爱林 吴丽萍 张赣盛 许聪聪 钱家康 吕建国 《化工生产与技术》 2025年第3期1-5,I0002,共6页
针对大型硬质合金顶锤制备过程中易出现组织不均匀、应力集中等问题,提出了一种新型硬质合金顶锤混合料制备方法及其脱蜡-烧结一体化工艺。具体而言,采用钴铬预制合金粉末替代传统纯钴粉,球磨工艺参数优化后,混合料中氧的质量分数降低至... 针对大型硬质合金顶锤制备过程中易出现组织不均匀、应力集中等问题,提出了一种新型硬质合金顶锤混合料制备方法及其脱蜡-烧结一体化工艺。具体而言,采用钴铬预制合金粉末替代传统纯钴粉,球磨工艺参数优化后,混合料中氧的质量分数降低至0.5%以下,球磨时间由原工艺的40 h缩短至20 h。同时,开发了正压氢脱蜡和负压氩脱蜡弹性切换的脱蜡-烧结一体化工艺,脱蜡时间从5天缩短至2天以内,有效解决了大件硬质合金制品易开裂的问题。力学性能测试结果表明,最终产品的抗压强度和抗弯强度均提高了10%~15%,且组织均匀,无空隙缺陷。本研究为硬质合金顶锤的高效制备提供了新的技术途径。 展开更多
关键词 硬质合金顶锤 钴铬预制合金 球磨工艺 脱蜡-烧结一体化工艺
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SiC晶须对超细晶WC-Co硬质合金微观组织和力学性能的影响
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作者 洪梦蝶 吕皓 +2 位作者 王海滨 刘雪梅 宋晓艳 《中国钨业》 2024年第4期20-27,共8页
本文利用快速热压烧结的方法制备了含有SiC晶须的超细晶WC-12Co硬质合金,分析了添加不同体积分数的SiC晶须对WC-12Co硬质合金微观组织和力学性能的影响,并研究了SiC晶须增韧超细晶硬质合金的机理。研究结果表明:添加SiC晶须可以细化WC晶... 本文利用快速热压烧结的方法制备了含有SiC晶须的超细晶WC-12Co硬质合金,分析了添加不同体积分数的SiC晶须对WC-12Co硬质合金微观组织和力学性能的影响,并研究了SiC晶须增韧超细晶硬质合金的机理。研究结果表明:添加SiC晶须可以细化WC晶粒;随着SiC晶须含量的增加,合金的硬度先下降再上升,断裂韧性先上升再下降。合金受到外力时,SiC晶须从合金基体中拔出,并引起裂纹的偏转和桥接,从而提高合金的断裂韧性。适当延长WC-12Co粉末和SiCw的球磨时间,可以改善合金的微观组织均匀性,避免SiC晶须的团聚,在不降低合金断裂韧性的前提下提高其硬度,获得高的综合力学性能。 展开更多
关键词 超细晶硬质合金 SIC晶须 微观组织 力学性能 增韧机理
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Ti(C,N)基金属陶瓷的研究 被引量:43
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作者 贺从训 夏志华 +4 位作者 汪有明 赵伯琅 唐群 毛昌辉 余明 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期4-12,共9页
研究了合金组成及其含量、烧结工艺、热等静压等对Ti(C,N)基金属陶瓷性能的影响。氮的加入形态、N/C、钼、镍、碳对合金性能都有影响。其中,N/C比值影响粘结相、硬质相的晶格常数及钼在粘结相和SS相的溶解量。当TiN... 研究了合金组成及其含量、烧结工艺、热等静压等对Ti(C,N)基金属陶瓷性能的影响。氮的加入形态、N/C、钼、镍、碳对合金性能都有影响。其中,N/C比值影响粘结相、硬质相的晶格常数及钼在粘结相和SS相的溶解量。当TiN质量分数增加到26%或镍质量分数增加到25%时产生Ni3Mo相,缺碳则出现Ni3Ti相。真空烧结温度超过1450℃,TiN分解,造成合金收缩率下降。热等静压处理后,抗弯强度提高了70%以上,相对密度达到996%以上,硬度值(HRA)提高了09~17。 展开更多
关键词 金属陶瓷 烧结 热等静压 性能 氮化钛 碳化钛
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第二相与晶粒粗化时间及粗化温度 被引量:23
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作者 雍岐龙 李永福 +2 位作者 孙珍宝 吴宝榕 干勇 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 1993年第9期45-50,共6页
根据第二相的固溶度积公式,Ostwald熟化规律和第二相阻止晶粒长大的理论,提出了确定加热温度下奥氏体晶粒粗化时间和确定加热时间下奥氏体晶粒粗化温度的理论计算方法,并对0.04C-0.24Nb钢进行了高温金相试验和相应的理论计算,理论计算... 根据第二相的固溶度积公式,Ostwald熟化规律和第二相阻止晶粒长大的理论,提出了确定加热温度下奥氏体晶粒粗化时间和确定加热时间下奥氏体晶粒粗化温度的理论计算方法,并对0.04C-0.24Nb钢进行了高温金相试验和相应的理论计算,理论计算结果和试验结果良好吻合,这证明该理论计算方法是可行的,同时证实了高温下碳氮化铌质点的Ostwald熟化过程是受铌在钢中的体扩散所控制的。 展开更多
关键词 粗化温度 晶粒粗化 第二相 奥氏体晶粒 固溶度 晶粒长大 加热温度 吻合 高温 试验结果
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碳含量对矿用硬质合金梯度结构形成的影响 被引量:17
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作者 羊建高 王海兵 +3 位作者 刘咏 张林秋 李芳 龙郑易 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期424-428,共5页
采用两步法(预烧结渗碳处理),制备出了具有钴相梯度结构的硬质合金。研究了渗碳处理前合金中η相的形态和含量与合金中碳含量的关系,讨论了渗碳处理温度以及碳含量对矿用梯度合金梯度结构形成的影响,并对梯度硬质合金的梯度形成机理进... 采用两步法(预烧结渗碳处理),制备出了具有钴相梯度结构的硬质合金。研究了渗碳处理前合金中η相的形态和含量与合金中碳含量的关系,讨论了渗碳处理温度以及碳含量对矿用梯度合金梯度结构形成的影响,并对梯度硬质合金的梯度形成机理进行了探讨。结果表明:在本实验条件下,初始碳含量与渗碳温度是影响梯度结构的主要参数;在其它条件相同的情况下,初始碳含量越高,梯度结构越明显,厚度越大;渗碳温度越高,梯度结构越不明显。研究还发现,上述参数对梯度结构的作用主要是影响碳原子的扩散和液相的流动。 展开更多
关键词 粉末冶金 硬质合金 FGM 渗碳烧结 预烧结-渗碳处理 功能梯度材料 碳含量
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碳含量对缺碳硬质合金组织和性能的影响 被引量:27
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作者 肖逸锋 贺跃辉 +4 位作者 丰平 谢宏 张丽娟 黄自谦 黄伯云 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期39-44,共6页
通过配制不同碳含量的WC-6Co缺碳硬质合金,采用X射线衍射、光学金相、显微硬度、钴磁和TRS等分析方法,对比研究碳含量对低压烧结缺碳硬质合金的显微组织和性能的影响。结果表明:碳含量影响合金中η相的类型、含量、分布、WC的形状以及... 通过配制不同碳含量的WC-6Co缺碳硬质合金,采用X射线衍射、光学金相、显微硬度、钴磁和TRS等分析方法,对比研究碳含量对低压烧结缺碳硬质合金的显微组织和性能的影响。结果表明:碳含量影响合金中η相的类型、含量、分布、WC的形状以及合金的性能;Co3W3C相出现在缺碳程度相对较小的合金中,其含量随碳含量的增加而增大,而Co6W6C相与之相反;合金中的η相总量随碳含量的增大而减少;随着缺碳程度的增加,合金中η相的分散均匀性变差,并且η相趋向于成大块状;WC大多呈现多角特征;合金的密度和维氏硬度随着碳含量的增加,先大幅度增加后缓慢减小,碳含量为5.2%(质量分数)时均出现最大值,合金的钴磁和横向断裂强度随着碳含量的增加而增加。 展开更多
关键词 硬质合金 碳含量 Η相 显微组织
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化学包裹粉工艺制备粗晶粒WC-Co硬质合金 被引量:20
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作者 吴厚平 张立 +2 位作者 王元杰 黄伯云 程鑫 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期701-705,共5页
以费氏粒度为8.06μm的WC粉与Co(NO3)2·6H2O为原料,采用N(CH2CH2OH)3(TEA)为还原剂制备WC-12%Co(质量分数)包裹粉,以包裹粉为原料制备WC-12%Co硬质合金。采用扫描电镜观察包裹粉与合金中WC晶粒的立体形貌,采用X射线衍射仪分析粉末... 以费氏粒度为8.06μm的WC粉与Co(NO3)2·6H2O为原料,采用N(CH2CH2OH)3(TEA)为还原剂制备WC-12%Co(质量分数)包裹粉,以包裹粉为原料制备WC-12%Co硬质合金。采用扫描电镜观察包裹粉与合金中WC晶粒的立体形貌,采用X射线衍射仪分析粉末的物相组成,采用比表面积分析仪分析TEA还原产物多孔泡沫Co的比表面积,采用金相显微镜观察合金的组织结构。结果表明:包裹粉中Co为纯fcc高温相结构,呈多孔泡沫状纳米组装结构形式包裹在WC粉末表面;WC-12%Co合金组织结构均匀,平均晶粒度为4.8μm,WC晶粒结晶完整、呈规则多面体形状。 展开更多
关键词 硬质合金 粗晶粒WC 纳米Co 泡沫Co 有机物还原
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具有梯度结构的涂层硬质合金刀片 被引量:18
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作者 张武装 刘咏 +2 位作者 贺跃辉 羊建高 龙郑易 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期757-762,共6页
研究了Co和Ti(CN)含量对梯度硬质合金的力学性能、梯度结构的影响。测试了梯度硬质合金刀片的切削性能。结果表明随着合金钴含量的增多,合金梯度层厚度增厚,梯度结构越明显;合金的强度提高,磁饱和提高,磁力、硬度和密度减小。随着合金Ti... 研究了Co和Ti(CN)含量对梯度硬质合金的力学性能、梯度结构的影响。测试了梯度硬质合金刀片的切削性能。结果表明随着合金钴含量的增多,合金梯度层厚度增厚,梯度结构越明显;合金的强度提高,磁饱和提高,磁力、硬度和密度减小。随着合金Ti(CN)含量的增多,合金梯度层厚度有变薄的趋势;随合金的硬度提高,合金的强度和密度减小。切削试验表明具有梯度结构涂层硬质合金刀片的切削性能比无梯度结构涂层硬质合金刀片的切削性能优良。达到同一磨损高度hB=0.15mm时,前者的切削寿命较后者提高了近一倍。同时随着合金钴含量的增多,硬质合金刀片的切削性能提高。 展开更多
关键词 硬质合金 梯度结构 强度 硬度 切削性能
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表面无立方相层功能梯度硬质合金的研究进展 被引量:22
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作者 丰平 贺跃辉 +1 位作者 肖逸锋 谢宏 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1221-1231,共11页
综述了目前应用于涂层基体的无立方相层含氮功能梯度硬质合金的研究进展;详细介绍无立方相层的形成热力学基础、梯度结构特征、机理和动力学研究进展以及力学性能和切削性能;重点评述C、N含量以及组分对无立方相层的影响规律;提出获取... 综述了目前应用于涂层基体的无立方相层含氮功能梯度硬质合金的研究进展;详细介绍无立方相层的形成热力学基础、梯度结构特征、机理和动力学研究进展以及力学性能和切削性能;重点评述C、N含量以及组分对无立方相层的影响规律;提出获取合金系统真实的热力学相图和动力学数据是今后研究工作的重点。 展开更多
关键词 硬质合金 功能梯度材料(FGM) 无立方相层(CCFL) 机理 热力学 动力学
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硬质合金抗弯强度及其分散性的研究 被引量:35
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作者 易勇 熊继 +1 位作者 李懿 沈保罗 《工具技术》 北大核心 2002年第10期16-19,共4页
用三点弯曲法测定了硬质合金的抗弯强度σm,用两参数Weibull统计法分析了σm 的分散性。试验和分析结果表明 :硬质合金的抗弯强度与材料中WC的粒度和粒度均匀性有关 ,σm 的平均值随材料中WC颗粒平均尺寸d的增大而减小 ,随WC粒度均匀性... 用三点弯曲法测定了硬质合金的抗弯强度σm,用两参数Weibull统计法分析了σm 的分散性。试验和分析结果表明 :硬质合金的抗弯强度与材料中WC的粒度和粒度均匀性有关 ,σm 的平均值随材料中WC颗粒平均尺寸d的增大而减小 ,随WC粒度均匀性变好而增大。 展开更多
关键词 分散性 硬质合金 抗弯强度 Weibull模量 碳化钨 粒度 刀具材料
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Cr、V、RE添加剂对特粗晶与超粗晶硬质合金微观组织与性能的影响 被引量:12
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作者 张立 程鑫 +3 位作者 陈述 马鋆 吴厚平 熊湘君 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期2620-2625,共6页
利用特粗晶与超粗晶硬质合金粗大粘结相平均自由程以及粗大WC原料粉末的特性,研究单一Cr、V以及Cr-RE与V-RE添加剂对特粗晶与超粗晶WC-Co合金微观组织结构、物理力学性能以及合金中Co粘结相纳米压痕力学性能的影响。结果表明,在此合金体... 利用特粗晶与超粗晶硬质合金粗大粘结相平均自由程以及粗大WC原料粉末的特性,研究单一Cr、V以及Cr-RE与V-RE添加剂对特粗晶与超粗晶WC-Co合金微观组织结构、物理力学性能以及合金中Co粘结相纳米压痕力学性能的影响。结果表明,在此合金体系,Cr的加入可使合金保持微观组织结构均匀、WC晶粒粗大以及高韧性的特性,而且可使Co粘结相纳米压痕硬度HV2 mN提升了20.5%;V的加入使合金中WC晶粒大小出现明显两极分化,并显著降低合金韧性;微量混合稀土(RE)对V和Cr在合金中的作用行为影响不显著;合金矫顽磁力、硬度以及Co粘结相弹性模量对合金成分变化不敏感。 展开更多
关键词 特粗晶硬质合金 添加剂 钴粘结相 纳米压痕 微观组织
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硬质合金刀具车削GH2132高温合金磨损及破损试验 被引量:12
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作者 程剑兵 庞思勤 +2 位作者 王西彬 于启勋 林晨光 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期911-915,共5页
用不同含钴量的超细晶WC-Co硬质合金刀具与普通WC-Co硬质合金刀具对GH2132高温合金进行高速连续切削刀具寿命及断续切削刀具破损的对比试验.用最小二乘法进行线性回归,建立了刀具寿命与切削速度之间关系的T-v经验公式,用ZEISS体视显微... 用不同含钴量的超细晶WC-Co硬质合金刀具与普通WC-Co硬质合金刀具对GH2132高温合金进行高速连续切削刀具寿命及断续切削刀具破损的对比试验.用最小二乘法进行线性回归,建立了刀具寿命与切削速度之间关系的T-v经验公式,用ZEISS体视显微镜及显微摄影系统观察了刀具刃口、前刀面和后刀面的磨损和破损形貌.试验结果表明:WC-Co硬质合金刀具的磨损和破损的主要机制是黏接磨损;超细晶WC-Co硬质合金刀具的耐磨性明显高于普通硬质合金;适当增加钴黏接相含量有助于超细晶WC-Co硬质合金刀具获得最佳的耐磨损和抗破损性能. 展开更多
关键词 超细硬质合金 高温合金 高速切削 刀具寿命 黏接磨损
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重力分离SHS双衬陶瓷复合管耐蚀性研究 被引量:15
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作者 叶明惠 赵忠民 +2 位作者 杜心康 辛文彤 王建江 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期106-110,共5页
通过重力分离SHS技术制备双衬陶瓷复合管 ,发现复衬陶瓷层的尖晶石含量和组织形貌发生改变 ,双衬陶瓷层间存在着Al2 O3 基体和 (Al2 O3+FeO·Al2 O3)共晶组织的重熔区 ,引起底衬及复衬陶瓷裂纹密度下降。复合管的耐蚀性测试结果表... 通过重力分离SHS技术制备双衬陶瓷复合管 ,发现复衬陶瓷层的尖晶石含量和组织形貌发生改变 ,双衬陶瓷层间存在着Al2 O3 基体和 (Al2 O3+FeO·Al2 O3)共晶组织的重熔区 ,引起底衬及复衬陶瓷裂纹密度下降。复合管的耐蚀性测试结果表明 ,双衬陶瓷复合管的腐蚀失重率分别不超过 1Cr18Ni9Ti不锈钢管 0 .5%和单衬陶瓷复合管 2 .0 %。 展开更多
关键词 重力分离SHS法 陶瓷内衬复合管 双衬陶瓷 耐蚀性
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双相结构功能梯度WC-Co合金的微观组织结构与小负荷维氏硬度 被引量:11
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作者 张立 陈述 +2 位作者 熊湘君 黄伯云 张传福 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1194-1199,共6页
用光学显微镜观察了采用两步法工艺制备的双相结构功能梯度WC-Co硬质合金的微观组织结构,并测量了其小负荷维氏硬度。结果表明:合金芯部的η相呈点状弥散分布于硬质相WC颗粒之间和硬质相WC颗粒与Co粘结相之间;在3相区,由于超细η相的存... 用光学显微镜观察了采用两步法工艺制备的双相结构功能梯度WC-Co硬质合金的微观组织结构,并测量了其小负荷维氏硬度。结果表明:合金芯部的η相呈点状弥散分布于硬质相WC颗粒之间和硬质相WC颗粒与Co粘结相之间;在3相区,由于超细η相的存在,WC晶粒大部分已失去其多角特征,出现晶粒圆化现象;DP合金前驱体在后续渗碳处理过程中,合金表层的部分Co在碳势差的作用下向合金内部发生迁移,使合金中间过渡层及其附近区域中Co粘结相呈现梯度变化;合金表层与合金中间过渡层在由原来的3相组织变为两相组织的同时,合金中细小的WC晶粒明显减少,WC晶粒的均匀度明显增加;合金截面的小负荷维氏硬度出现由高变低再由低变高的规律性变化,与合金内部微观组织结构的变化相对应。 展开更多
关键词 硬质合金 双相结构 功能梯度合金 微观组织 维氏硬度
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硬质合金刀片切削过程中自润滑功能稀土氧硫化物的原位形成 被引量:11
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作者 吴厚平 张立 +2 位作者 余贤旺 陈述 熊湘君 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期670-676,共7页
考察了高活性混合稀土(RE)掺杂的WC-8%Co-0.07%RE(质量分数)硬质合金刀片对铸铁的切削试验。采用扫描电镜、能谱分析以及X射线衍射等分析方法对硬质合金烧结体表面、切削试验后刀片的前刀面、后刀面以及切削刃进行观察与分析。结果表明... 考察了高活性混合稀土(RE)掺杂的WC-8%Co-0.07%RE(质量分数)硬质合金刀片对铸铁的切削试验。采用扫描电镜、能谱分析以及X射线衍射等分析方法对硬质合金烧结体表面、切削试验后刀片的前刀面、后刀面以及切削刃进行观察与分析。结果表明,在稀土硬质合金刀片切削过程中发生了La、Ce从合金内部至刀片工作表面的非同步迁移现象,在刀具工作表面原位形成了具有自润滑功能的稀土氧硫化物。在实验观察与分析基础上,对La、Ce的定向迁移机制与稀土氧硫化物的形成机制进行了探讨。 展开更多
关键词 硬质合金 稀土 切削 非同步迁移 自润滑
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高性能超细、纳米硬质合金及其制备过程中的关键技术问题 被引量:21
17
作者 张立 陈述 +4 位作者 刘刚 杨贵彬 黄泽兰 黄伯云 张传福 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期4-7,11,共5页
介绍了超细、纳米硬质合金的国内外研究、生产以及市场情况,主要应用领域,硬度、抗弯强度、断裂韧性、热硬度、热导率等力学、热物理性能和使用性能特点,湿磨过程中的研磨与分散、混合料制备过程中的控氧、粉末成形、烧结过程中 WC 晶... 介绍了超细、纳米硬质合金的国内外研究、生产以及市场情况,主要应用领域,硬度、抗弯强度、断裂韧性、热硬度、热导率等力学、热物理性能和使用性能特点,湿磨过程中的研磨与分散、混合料制备过程中的控氧、粉末成形、烧结过程中 WC 晶粒长大的控制和粉尘控制等合金制备过程中存在的关键技术问题以及解决这些问题的主要途径。 展开更多
关键词 硬质合金 超细/纳米 性能 制备
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纳米硬质合金进展 被引量:31
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作者 张凤林 朱敏 王成勇 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期54-58,共5页
综述了机械合金化、喷射转换、原位渗碳还原、共沉淀等多种WC Co纳米硬质合金粉末的制备方法 ,指出纳米WC Co粉末烧结过程中的致密化温度有明显的降低 ,晶粒长大趋势很强 ,同时给出了致密化后合金的显微组织、力学性能研究发展概况。提... 综述了机械合金化、喷射转换、原位渗碳还原、共沉淀等多种WC Co纳米硬质合金粉末的制备方法 ,指出纳米WC Co粉末烧结过程中的致密化温度有明显的降低 ,晶粒长大趋势很强 ,同时给出了致密化后合金的显微组织、力学性能研究发展概况。提出目前存在的问题是烧结过程的晶粒长大的控制 。 展开更多
关键词 纳米硬质合金 烧结 显微组织 力学性能 纳米粉末
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金刚石工具用预合金粉末的研究动态 被引量:25
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作者 蔡方寒 唐霞辉 +2 位作者 秦应雄 李立波 朱国富 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2004年第5期77-80,共4页
本文介绍了金刚石工具用预合金粉末特点 ,重点分析了国外NEXT 、Diabase -、Cobalite系列最新预合金粉产品性能及应用特点 ,着重比较了各预合金粉产品激光焊接性能及其与加强胎体特殊应用性能元素的混合使用性能 。
关键词 金刚石工具 预合金粉 性能及应用 研究动态
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硅片精密切割多线锯研究进展 被引量:24
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作者 张凤林 袁慧 +1 位作者 周玉梅 王成勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第6期14-18,共5页
随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和生产效率的要求。本文对大直径硅片精密切割中最常使用的多线锯... 随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和生产效率的要求。本文对大直径硅片精密切割中最常使用的多线锯切割进行介绍,对游离磨料多线锯的切割机理、浆料特性、切割工艺和固着磨料多线锯锯丝制造方法、切割工艺等方面的研究现状进行了综述。 展开更多
关键词 硅片 精密切割 游离磨料多线锯 固着磨料多线锯
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