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沉积压强对非晶硅薄膜光学性能和微结构的影响 被引量：2
1
作者 丁虎 马忠权 +3 位作者 赵磊 杜汇伟 杨洁 周丽丽 《光电子技术》 CAS 北大核心 2012年第1期19-22,38,共5页
为研究沉积压强对非晶硅薄膜光学性能和结构的影响,通过改变沉积压强并采用射频磁控溅射制备a-S∶iH薄膜。借助椭偏仪、紫外可见分光光度计和拉曼光谱来分析薄膜的光学性能和微结构。研究发现,在较低沉积压强下薄膜的致密度得到提高,光... 为研究沉积压强对非晶硅薄膜光学性能和结构的影响,通过改变沉积压强并采用射频磁控溅射制备a-S∶iH薄膜。借助椭偏仪、紫外可见分光光度计和拉曼光谱来分析薄膜的光学性能和微结构。研究发现,在较低沉积压强下薄膜的致密度得到提高,光学带隙偏小,折射率和消光系数较大,短程序和中程序得到改善,体内缺陷较少。并且椭偏拟合参数A越大,意味着薄膜的质量越好。结果表明,沉积气压确实对薄膜的微结构和光学性能具有重要影响。 展开更多
关键词 a-S∶iH 椭偏 光学性能 拉曼散射 微结构
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金纳米空心半球壳膜的可调谐光学性质研究 被引量：2
2
作者 张兴坊 闫昕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期196-199,共4页
以单层聚苯乙烯微球阵列为模板,通过控制其表面金膜蒸镀时间,制备了具有不同厚度的空心半球壳结构的金纳米膜.利用扫描电子显微镜和自制光谱仪分别测量了金膜表面形貌和其透射光谱,并分析了金膜形貌与其光学性质间的关系,同时以4-巯基... 以单层聚苯乙烯微球阵列为模板,通过控制其表面金膜蒸镀时间,制备了具有不同厚度的空心半球壳结构的金纳米膜.利用扫描电子显微镜和自制光谱仪分别测量了金膜表面形貌和其透射光谱,并分析了金膜形貌与其光学性质间的关系,同时以4-巯基苯胺为探针分子测定了金膜的表面增强喇曼散射效应.结果表明,该金纳米膜的表面等离子体共振波长随膜厚度增大而发生红移,在可见与近红外波段较宽范围内可调谐,并且,当金膜共振波长与入射激发光波长较近时,探针分子可产生出较强的表面增强喇曼信号.同时,对该现象的产生机制也进行了理论解释. 展开更多
关键词 纳米结构 薄膜 半球壳 波长调谐
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脉冲激光沉积法制备ITO薄膜及性质研究 被引量：4
3
作者 杨亚军 李清山 刘宪云 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期81-82,共2页
本文采用脉冲激光沉积法（PLD）制备了ITO导电薄膜，并对其形貌、光学性质和电学性质进行了研究。结果表明，使用PLD方法制备的ITO导电薄膜在可见光区的平均透光率约为80％，方块电阻在100—200Ω／□之间。当衬底温度控制在300℃，氧... 本文采用脉冲激光沉积法（PLD）制备了ITO导电薄膜，并对其形貌、光学性质和电学性质进行了研究。结果表明，使用PLD方法制备的ITO导电薄膜在可见光区的平均透光率约为80％，方块电阻在100—200Ω／□之间。当衬底温度控制在300℃，氧压控制在1．33Pa时，可以得到具有较高透光率和电导率的ITO导电薄膜。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 ITO薄膜 透光率 方块电阻
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化学沉积法低温生长锰钴镍薄膜结晶性及红外椭偏光谱研究 被引量：1
4
作者 葛玉建 黄志明 +3 位作者 侯云 覃剑欢 李天信 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期413-416,共4页
使用化学沉积方法，在600℃温度下，成功制备锰钴镍（MnxCoyNi3-x-yO4（MCN）薄膜．传统的固熔烧结工艺合成MCN材料需要的温度条件约为1050—1200℃，这一温度相比，本文的方法使合成温度降低了许多．随着退火后处理温度从600℃升高到90... 使用化学沉积方法，在600℃温度下，成功制备锰钴镍（MnxCoyNi3-x-yO4（MCN）薄膜．传统的固熔烧结工艺合成MCN材料需要的温度条件约为1050—1200℃，这一温度相比，本文的方法使合成温度降低了许多．随着退火后处理温度从600℃升高到900℃，MCN薄膜的晶粒尺寸大小从20nm增大到50nm．同时还利用红外椭偏光谱测量获得MCN薄膜的介电常数和吸收系数． 展开更多
关键词 X射线衍射 原子力显微镜 红外椭偏光谱
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