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梯度膜作为高功率激光反射膜的初步研究
被引量:
5
1
作者
邓洪祥
祖小涛
+4 位作者
郑万国
吴卫东
徐世珍
赵军普
向霞
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期58-62,共5页
对渐变折射率薄膜替代均匀膜系作为高功率激光反射膜的可行性进行了理论研究。以较容易获得的线性共蒸法制备的光学膜在中心波长为1 064 nm的激光作用为例,分析了薄膜与基体之间波长的匹配、场强分布等问题。提出了通过改变微小单元获...
对渐变折射率薄膜替代均匀膜系作为高功率激光反射膜的可行性进行了理论研究。以较容易获得的线性共蒸法制备的光学膜在中心波长为1 064 nm的激光作用为例,分析了薄膜与基体之间波长的匹配、场强分布等问题。提出了通过改变微小单元获得梯度膜匹配厚度的数值方法,将之运用在14个周期结构的梯度膜中,并由膜系计算软件验证了所获得结果。最后通过分析Maxwell方程,计算了梯度膜中与薄膜损伤密切相关的电场强度分布。结果表明:周期性结构梯度高反射膜中的电场分布与传统高反射膜具有相似性,但相对于传统高反射膜容易在界面处出现损伤的情形而言,梯度膜更容易在表面出现损伤,使梯度膜表面反射相移接近π是高功率梯度高反射膜的设计方向。
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关键词
梯度膜
高反射
高功率激光
电场分布
波长匹配
反射相移
表面损伤
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职称材料
780 nm波段高分光比消偏振分光片的制备及测试
被引量:
1
2
作者
王国超
黄光耀
+2 位作者
朱凌晓
李星辉
颜树华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第21期3088-3095,共8页
消偏振分光片是空间光学中的重要分光元件,为了实现780 nm波段激光在大分光比条件下的稳定分光输出,设计并制备了一种高分光比消偏振分光片。使用TFCalc软件仿真设计了双面消偏振分光膜系,通过离子束辅助电子束热蒸镀技术制备了消偏振...
消偏振分光片是空间光学中的重要分光元件,为了实现780 nm波段激光在大分光比条件下的稳定分光输出,设计并制备了一种高分光比消偏振分光片。使用TFCalc软件仿真设计了双面消偏振分光膜系,通过离子束辅助电子束热蒸镀技术制备了消偏振分光片样品。然后,使用透射电子显微镜、分光光度计对所制备样品进行了测量表征,得到了分光片的实际薄膜结构及透射光谱,光谱结果显示该分光片的透射率接近98%,s偏振光与p偏振光的透射率偏差小于0.3%。最后,搭建测试光路对分光片进行变偏振方向、变波长及长时间稳定性等测试。实验结果表明:该分光片在目标波段内的透射率接近98%,偏振方向大范围变化时透射率偏差小于0.2%,波长在772~792 nm内变化时透射率波动小于0.12%;10 h长时结果显示,当平均时间为100 s时,分光比与透射率的Allan方差分别为1.41×10-3和4.12×10-5。所提出的消偏振分光片具有良好的消偏振性能,可直接应用于光学测试计量和量子传感探测等精密测量领域。
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关键词
消偏振
分光片
膜系设计
高分光比
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职称材料
静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜
3
作者
闫金良
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期19-21,共3页
提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜,理论上研究了静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜的静电驱动力和变形位移与驱动电压的关系,分析了变形反射镜的驱动稳定性,比较了平板电容驱动器与纵向梳齿驱动器的驱动能力。结果表...
提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜,理论上研究了静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜的静电驱动力和变形位移与驱动电压的关系,分析了变形反射镜的驱动稳定性,比较了平板电容驱动器与纵向梳齿驱动器的驱动能力。结果表明,变形反射镜的静电驱动力和变形位移没有关系;在相同的面积下,纵向梳齿驱动器的驱动力比平板电容驱动器的驱动力大很多。
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关键词
自适应光学
薄膜变形镜
静电力驱动
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职称材料
线性共蒸法制备渐变折射率薄膜的光学特性分析
被引量:
11
4
作者
沈自才
王英剑
+1 位作者
范正修
邵建达
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期829-834,共6页
利用德鲁德理论和洛伦兹洛伦茨理论,从介电常数分析入手,探讨了混合介质膜的折射率表达式,给出利用双源共蒸法镀制的渐变折射率薄膜在混合介质膜的总沉积速率恒定、两种膜料的单分子大小近似相等和沉积速率均为线性变化时的折射率表达式...
利用德鲁德理论和洛伦兹洛伦茨理论,从介电常数分析入手,探讨了混合介质膜的折射率表达式,给出利用双源共蒸法镀制的渐变折射率薄膜在混合介质膜的总沉积速率恒定、两种膜料的单分子大小近似相等和沉积速率均为线性变化时的折射率表达式;从正变和负变、单周期和多周期、不同的周期数和不同的单周期厚度几个方面对渐变折射率薄膜的光学特性进行了模拟分析和讨论;对渐变折射率薄膜的实现、应用以及实验制备中有待进一步解决和处理的问题进行了讨论。
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关键词
薄膜
渐变折射率
共蒸法
德鲁德理论
洛伦兹-洛伦茨理论
原文传递
激光对光学薄膜损伤的热冲击效应
被引量:
15
5
作者
龚辉
李成富
王明利
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期245-248,共4页
计算了薄膜在高功率脉冲激光作用下截面温度场和应力场分布。分析了热冲击在光学薄膜激光损伤中的作用,并用调Q1.06μm脉冲激光对ZrO2单层膜损伤,讨论了不同激光强度下薄膜截面温度场与应力场分布,揭示了热冲击在ZrO2...
计算了薄膜在高功率脉冲激光作用下截面温度场和应力场分布。分析了热冲击在光学薄膜激光损伤中的作用,并用调Q1.06μm脉冲激光对ZrO2单层膜损伤,讨论了不同激光强度下薄膜截面温度场与应力场分布,揭示了热冲击在ZrO2单层膜损伤中的机理和过程。
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关键词
光学薄膜
激光损伤
热冲击效应
原文传递
题名
梯度膜作为高功率激光反射膜的初步研究
被引量:
5
1
作者
邓洪祥
祖小涛
郑万国
吴卫东
徐世珍
赵军普
向霞
机构
电子科技大学应用物理系
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期58-62,共5页
基金
国家自然科学基金委-中国工程物理研究院联合基金资助课题(10376006)
中国工程物理研究院基金资助课题(20050865)
文摘
对渐变折射率薄膜替代均匀膜系作为高功率激光反射膜的可行性进行了理论研究。以较容易获得的线性共蒸法制备的光学膜在中心波长为1 064 nm的激光作用为例,分析了薄膜与基体之间波长的匹配、场强分布等问题。提出了通过改变微小单元获得梯度膜匹配厚度的数值方法,将之运用在14个周期结构的梯度膜中,并由膜系计算软件验证了所获得结果。最后通过分析Maxwell方程,计算了梯度膜中与薄膜损伤密切相关的电场强度分布。结果表明:周期性结构梯度高反射膜中的电场分布与传统高反射膜具有相似性,但相对于传统高反射膜容易在界面处出现损伤的情形而言,梯度膜更容易在表面出现损伤,使梯度膜表面反射相移接近π是高功率梯度高反射膜的设计方向。
关键词
梯度膜
高反射
高功率激光
电场分布
波长匹配
反射相移
表面损伤
Keywords
Gradient optical film
High-reflectivity
High-power laser
Electric field distribution
Wavelength matching
Reflection-induced retardance
Surface damage
分类号
O484.21 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
780 nm波段高分光比消偏振分光片的制备及测试
被引量:
1
2
作者
王国超
黄光耀
朱凌晓
李星辉
颜树华
机构
国防科技大学智能科学学院
清华大学深圳国际研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第21期3088-3095,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.12004428)
湖南省自然科学基金资助项目(No.2021JJ30774)
+2 种基金
湖南省自然科学基金优秀青年项目(No.2021JJ20047)
清华大学深圳国际研究生院科研启动项目(No.QD2020001N)
中国博士后科学基金资助项目(No.2020M683729)。
文摘
消偏振分光片是空间光学中的重要分光元件,为了实现780 nm波段激光在大分光比条件下的稳定分光输出,设计并制备了一种高分光比消偏振分光片。使用TFCalc软件仿真设计了双面消偏振分光膜系,通过离子束辅助电子束热蒸镀技术制备了消偏振分光片样品。然后,使用透射电子显微镜、分光光度计对所制备样品进行了测量表征,得到了分光片的实际薄膜结构及透射光谱,光谱结果显示该分光片的透射率接近98%,s偏振光与p偏振光的透射率偏差小于0.3%。最后,搭建测试光路对分光片进行变偏振方向、变波长及长时间稳定性等测试。实验结果表明:该分光片在目标波段内的透射率接近98%,偏振方向大范围变化时透射率偏差小于0.2%,波长在772~792 nm内变化时透射率波动小于0.12%;10 h长时结果显示,当平均时间为100 s时,分光比与透射率的Allan方差分别为1.41×10-3和4.12×10-5。所提出的消偏振分光片具有良好的消偏振性能,可直接应用于光学测试计量和量子传感探测等精密测量领域。
关键词
消偏振
分光片
膜系设计
高分光比
Keywords
nonpolarizing
beam splitter
film system design
high splitting ratio
分类号
O484.21 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜
3
作者
闫金良
机构
烟台师范学院物理系
出处
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期19-21,共3页
基金
国家"863"计划资助项目(2001AA313090).
文摘
提出一种大冲程静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜,理论上研究了静电梳齿驱动器微机械薄膜变形反射镜的静电驱动力和变形位移与驱动电压的关系,分析了变形反射镜的驱动稳定性,比较了平板电容驱动器与纵向梳齿驱动器的驱动能力。结果表明,变形反射镜的静电驱动力和变形位移没有关系;在相同的面积下,纵向梳齿驱动器的驱动力比平板电容驱动器的驱动力大很多。
关键词
自适应光学
薄膜变形镜
静电力驱动
Keywords
adaptive optics
membrane deformable mirror
electrostatic actuation
分类号
O484.21 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
线性共蒸法制备渐变折射率薄膜的光学特性分析
被引量:
11
4
作者
沈自才
王英剑
范正修
邵建达
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期829-834,共6页
文摘
利用德鲁德理论和洛伦兹洛伦茨理论,从介电常数分析入手,探讨了混合介质膜的折射率表达式,给出利用双源共蒸法镀制的渐变折射率薄膜在混合介质膜的总沉积速率恒定、两种膜料的单分子大小近似相等和沉积速率均为线性变化时的折射率表达式;从正变和负变、单周期和多周期、不同的周期数和不同的单周期厚度几个方面对渐变折射率薄膜的光学特性进行了模拟分析和讨论;对渐变折射率薄膜的实现、应用以及实验制备中有待进一步解决和处理的问题进行了讨论。
关键词
薄膜
渐变折射率
共蒸法
德鲁德理论
洛伦兹-洛伦茨理论
Keywords
Evaporation
Film preparation
Optical properties
Refractive index
Thin films
分类号
O484.21 [理学—固体物理]
原文传递
题名
激光对光学薄膜损伤的热冲击效应
被引量:
15
5
作者
龚辉
李成富
王明利
机构
中国科学院上海光机所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期245-248,共4页
文摘
计算了薄膜在高功率脉冲激光作用下截面温度场和应力场分布。分析了热冲击在光学薄膜激光损伤中的作用,并用调Q1.06μm脉冲激光对ZrO2单层膜损伤,讨论了不同激光强度下薄膜截面温度场与应力场分布,揭示了热冲击在ZrO2单层膜损伤中的机理和过程。
关键词
光学薄膜
激光损伤
热冲击效应
Keywords
high power pulse laser
thermal shock
laser damage
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484.21 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
梯度膜作为高功率激光反射膜的初步研究
邓洪祥
祖小涛
郑万国
吴卫东
徐世珍
赵军普
向霞
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
780 nm波段高分光比消偏振分光片的制备及测试
王国超
黄光耀
朱凌晓
李星辉
颜树华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
静电梳齿驱动器薄膜变形反射镜
闫金良
《半导体光电》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
线性共蒸法制备渐变折射率薄膜的光学特性分析
沈自才
王英剑
范正修
邵建达
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
11
原文传递
5
激光对光学薄膜损伤的热冲击效应
龚辉
李成富
王明利
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
15
原文传递
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