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快速热氮化SiO_xN_y薄介质膜的电荷特性与光学性质
1
作者
陈蒲生
s.p.wang
+2 位作者
岑洁儒
K.H.Lee
董长江
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第2期145-150,共6页
对于快速热氮化（ＲＴＮ）的ＳｉＯｘＮｙ薄膜（ＲＴＮＦ），本文不仅采用Ｂ－Ｔ处理高频Ｃ－Ｖ测试研究了它的电荷特性，而且还借用椭圆偏振谱技术和俄歇电子能谱分析研究了它的光学性质和微结构组分，同时还讨论了电学特性与光学性质...
对于快速热氮化（ＲＴＮ）的ＳｉＯｘＮｙ薄膜（ＲＴＮＦ），本文不仅采用Ｂ－Ｔ处理高频Ｃ－Ｖ测试研究了它的电荷特性，而且还借用椭圆偏振谱技术和俄歇电子能谱分析研究了它的光学性质和微结构组分，同时还讨论了电学特性与光学性质间的相关性．实验结果表明：氮化后再氧化退火是减少ＲＴＮＦ中固定电荷的有效途径，结合Ｂ－Ｔ处理高频Ｃ－Ｖ测试技术仍适用于这种薄膜中碱金属可动离子密度的测量．研究结果还给出：类似于禁带中央界面陷阱密度，该薄膜折射率随氮化时间呈现出“回转效应”变化关系．测试分析结果并初步提出一个直接与膜的微结构组分相关的多层膜模型，文中还对实验结果进行了分析和讨论．
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关键词
SIOXNY薄膜
介质膜
热氮化
电荷特性
光学性质
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职称材料
影像组学标签:术前鉴别以毛玻璃结节为表现的肺侵袭性腺癌的生物标志物
被引量：
44
2
作者
L.Fan
M.J.Fang
+5 位作者
Z.B.Li
W.T.Tu
s.p.wang
W.F.Chen
杨凯(译)
赵世华(校)
《国际医学放射学杂志》
北大核心
2019年第2期253-253,共1页
目的识别能够术前鉴别以毛玻璃结节为表现的肺侵袭性腺癌和非侵袭性病变的影像组学特征。方法回顾性纳入160例经病理证实的肺腺癌。从术前平扫CT影像中提取影像组学特征构建影像组学标签。
关键词
毛玻璃
肺腺癌
侵袭性
生物标志物
暂未订购
临床-影像组学列线图对于伴随中等大小肺结节的结直肠癌病人肺转移的术前预测
被引量：
16
3
作者
T.D.Hu
s.p.wang
+5 位作者
L.Huang
J.Z.Wang
D.B.Shi
Y.Li
李璐(译)
陈秀玉(校)
《国际医学放射学杂志》
北大核心
2019年第2期247-248,共2页
目的建立并验证临床-影像组学列线图,以期在术前预测伴随中等大小肺结节(IPN)结直肠癌(CRC)病人的肺转移。方法194例有肺结节的CRC病人被纳入研究(训练组136例,验证组58例)。
关键词
列线图
肺转移
结直肠癌
肺结节
暂未订购
题名
快速热氮化SiO_xN_y薄介质膜的电荷特性与光学性质
1
作者
陈蒲生
s.p.wang
岑洁儒
K.H.Lee
董长江
机构
华南理工大学应用物理系
DEPARTMENT OF ELECTRONIC ENGINEERING AND MATENAL TECHNOLOGY RESEARCH CENTER
中国科学院表面物理实验室
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第2期145-150,共6页
基金
国家自然科学基金
香港裘槎基金
文摘
对于快速热氮化（ＲＴＮ）的ＳｉＯｘＮｙ薄膜（ＲＴＮＦ），本文不仅采用Ｂ－Ｔ处理高频Ｃ－Ｖ测试研究了它的电荷特性，而且还借用椭圆偏振谱技术和俄歇电子能谱分析研究了它的光学性质和微结构组分，同时还讨论了电学特性与光学性质间的相关性．实验结果表明：氮化后再氧化退火是减少ＲＴＮＦ中固定电荷的有效途径，结合Ｂ－Ｔ处理高频Ｃ－Ｖ测试技术仍适用于这种薄膜中碱金属可动离子密度的测量．研究结果还给出：类似于禁带中央界面陷阱密度，该薄膜折射率随氮化时间呈现出“回转效应”变化关系．测试分析结果并初步提出一个直接与膜的微结构组分相关的多层膜模型，文中还对实验结果进行了分析和讨论．
关键词
SIOXNY薄膜
介质膜
热氮化
电荷特性
光学性质
Keywords
Dielectric films
Nitriding
Optical films
Optical properties
Silica
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
在线阅读
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职称材料
题名
影像组学标签:术前鉴别以毛玻璃结节为表现的肺侵袭性腺癌的生物标志物
被引量：
44
2
作者
L.Fan
M.J.Fang
Z.B.Li
W.T.Tu
s.p.wang
W.F.Chen
杨凯(译)
赵世华(校)
机构
Department of Radiology
不详
出处
《国际医学放射学杂志》
北大核心
2019年第2期253-253,共1页
文摘
目的识别能够术前鉴别以毛玻璃结节为表现的肺侵袭性腺癌和非侵袭性病变的影像组学特征。方法回顾性纳入160例经病理证实的肺腺癌。从术前平扫CT影像中提取影像组学特征构建影像组学标签。
关键词
毛玻璃
肺腺癌
侵袭性
生物标志物
分类号
R734.2 [医药卫生—肿瘤]
R730.44 [医药卫生—肿瘤]
暂未订购
题名
临床-影像组学列线图对于伴随中等大小肺结节的结直肠癌病人肺转移的术前预测
被引量：
16
3
作者
T.D.Hu
s.p.wang
L.Huang
J.Z.Wang
D.B.Shi
Y.Li
李璐(译)
陈秀玉(校)
机构
Department of Radiology
不详
出处
《国际医学放射学杂志》
北大核心
2019年第2期247-248,共2页
文摘
目的建立并验证临床-影像组学列线图,以期在术前预测伴随中等大小肺结节(IPN)结直肠癌(CRC)病人的肺转移。方法194例有肺结节的CRC病人被纳入研究(训练组136例,验证组58例)。
关键词
列线图
肺转移
结直肠癌
肺结节
分类号
R735.34 [医药卫生—肿瘤]
暂未订购
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
快速热氮化SiO_xN_y薄介质膜的电荷特性与光学性质
陈蒲生
s.p.wang
岑洁儒
K.H.Lee
董长江
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
影像组学标签:术前鉴别以毛玻璃结节为表现的肺侵袭性腺癌的生物标志物
L.Fan
M.J.Fang
Z.B.Li
W.T.Tu
s.p.wang
W.F.Chen
杨凯(译)
赵世华(校)
《国际医学放射学杂志》
北大核心
2019
44
暂未订购
3
临床-影像组学列线图对于伴随中等大小肺结节的结直肠癌病人肺转移的术前预测
T.D.Hu
s.p.wang
L.Huang
J.Z.Wang
D.B.Shi
Y.Li
李璐(译)
陈秀玉(校)
《国际医学放射学杂志》
北大核心
2019
16
暂未订购
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
统计分析
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