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钾薄膜中俄歇电子的非弹性平均自由程
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作者 崔凤辉 m.a.chesters 《分析试验室》 CAS CSCD 北大核心 1991年第1期6-10,共5页
本文测定了钾薄膜中能量为65、256和921eV的俄歇电子的非弹性平均自由程(IMFP)。在室温下,钾蒸气在清洁的铜单晶(100)表面只沉积成单原子层的薄膜;当温度低至-173℃~-123℃时可沉积成多原子层薄膜,且薄膜是按原子层逐层沉积而成。根据... 本文测定了钾薄膜中能量为65、256和921eV的俄歇电子的非弹性平均自由程(IMFP)。在室温下,钾蒸气在清洁的铜单晶(100)表面只沉积成单原子层的薄膜;当温度低至-173℃~-123℃时可沉积成多原子层薄膜,且薄膜是按原子层逐层沉积而成。根据薄膜中所包含的原子层的层数可以计算出薄膜的厚度。铜衬底的俄歇信号和沉积层的俄歇信号均可用于计算钾薄膜中俄歇电子的IMFP,其结果为0.64nm(65eV)、1.01nm(256ev)和2.20nm(921eV)。 展开更多
关键词 薄膜 俄歇电子 IMFP 表面分析
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