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长波长低暗电流高速In_(0.53)Ga_(0.47)As MSM光电探测器 被引量:5
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作者 史常忻 k.heime 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第12期767-770,共4页
本文首次介绍了用低温MOVPE技术,研制成功具有非掺杂InP 肖特基势垒增强层的InCaAs金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PD).其暗电流在 1.5伏下小于 60 nA(100 ×100)微米~2;响应时间t_r小于30 ps(6伏).其灵敏度在6 V下为0.42 A/W.
关键词 INGAAS MSM 光电探测器 暗电流
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p-InGaAs/n-InGaAs MSM光电探测器研究 被引量:2
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作者 史常忻 A.Mesquida Kusters +2 位作者 A.Kohl R.Muller k.heime 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第3期194-197,共4页
本文首次对具有p-InGaAs肖特基势垒增强层的p-InGaAs/n-InGaAs MSM光电探测器做了较系统研究。实验结果表明:具有20nm厚增强层器件的暗电流为3.5×10(-11)A(5伏,30×40μm^2);而具有40nm厚增强层器件的FWHMM为350ps(6伏)。
关键词 光电探测器 p-InGaAs 肖特基势垒
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BRAQWET能带结构和优化设计参量
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作者 史常忻 k.heime 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期25-28,共4页
对 n型源区、p型势垒区和具有 δ(p+ )薄层势垒区的两种结构 BRAQWET的能带模型 ,作了严格的定量分析 ,由此可以导出设计良好器件的优化参量。这是设计
关键词 BRAQWET 化合物半导体 光调制器 电光调制 能带结构 优化设计
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Optimum Parameters of MgZnSSe/ZnSe BRAQ WET
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作者 SHIChang-xin k.heime 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2000年第4期204-206,共3页
A theoretical basis of optimally designed BRAQWET is pr esented. The optimum parameters of MgZnSSe/ZnSe BRAQWET are obtained by the ca lculation of band-structure according to the depletion approximation.
关键词 BRAQWET Ⅱ-Ⅵ semiconductors Band structure
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InGaAs/InP异质结界面层的应变研究 被引量:2
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作者 徐现刚 崔得良 +2 位作者 唐喆 郝霄鹏 k.heime 《中国科学(A辑)》 CSCD 北大核心 2001年第9期817-822,共6页
采用液态的叔丁基砷 (tertiarybularsine ,TBAs)和叔丁基磷 (tertiarybulphosphine ,TBP)为源材料 ,用有机金属气相外延 (metalorganicvaporphaseepitaxy ,MOVPE)生长了与InP衬底晶格匹配的InGaAs/InP超晶格 .高精度X射线衍射的结果表... 采用液态的叔丁基砷 (tertiarybularsine ,TBAs)和叔丁基磷 (tertiarybulphosphine ,TBP)为源材料 ,用有机金属气相外延 (metalorganicvaporphaseepitaxy ,MOVPE)生长了与InP衬底晶格匹配的InGaAs/InP超晶格 .高精度X射线衍射的结果表明 ,在In GaAs与InP单异质结界面处 ,存在一个压应变的界面层 .可利用相同的界面模型来模拟InGaAs/InP超晶格的X射线衍射实验结果 .该结果表明 ,TBAs吹扫InP表面对界面应变产生很大的影响 .为此提出了一种新的界面气体转换顺序来控制InGaAs/InP超晶格的界面应变 ,它先把Ⅲ族源转入反应室 ,以此来降低TBAs对InP表面的影响 ,由此得到的超晶格的平均应变减小 ,光致发光的峰值能量出现蓝移 . 展开更多
关键词 MOVPE InGaAs/InP异质结 界面应变 量子异质结 叔丁基砷 叔丁基磷 超晶格
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InP-to-InGaAs interfacial strain grown by using tertiarybutylarsine and tertiarybutylphosphine 被引量:1
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作者 徐现刚 崔得良 +2 位作者 唐喆 郝霄鹏 k.heime 《Science China Mathematics》 SCIE 2002年第5期655-660,共6页
Lattice-matched InGaAs/lnP heterostructures have been grown by using metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE) with tertiarybutylarsine (TBAs), tertiarybutylphosphine (TBP) as the group V sources. The results of X-ray ... Lattice-matched InGaAs/lnP heterostructures have been grown by using metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE) with tertiarybutylarsine (TBAs), tertiarybutylphosphine (TBP) as the group V sources. The results of X-ray diffraction on InGaAs/lnP single herterostructure show that there is a compressive-strained interfacial layer at the InP-to-InGaAs interface. X-ray diffraction of InGaAs/ InP superlattices is successfully simulated by using the same interfacial layer. TBAs purging of InP surface has a significant influence on the interfacial strain. A novel gas switching sequence, which switches group III to the run line earlier than TBAs, is proposed to reduce this interfacial strain. As a result, the average compressive strain of superlattices decreases, and a blue shift of photoluminescence ( PL) peak energy and narrowing in PL width are obtained. 展开更多
关键词 MOVPE InGaAs/InP strain TBAs TBP.
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