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多层非晶硅结构研究的新方法——电子显微术
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作者 温树林 冯景伟 +1 位作者 程如光 h.fritzsche 《科学通报》 1985年第20期1588-1589,共2页
由非晶硅氢(a-Si:H)和硅氮氢(a-SiN_(x):H)交替超薄层构成的多层结构,是一种二维半导体材料,在物理上,是极为有趣的。更有趣的是,当a-Si:H很薄时,该材料的光隙明显地增加,还发现,电荷载流子从低功函数层向高功函数层流动时产生空间电荷... 由非晶硅氢(a-Si:H)和硅氮氢(a-SiN_(x):H)交替超薄层构成的多层结构,是一种二维半导体材料,在物理上,是极为有趣的。更有趣的是,当a-Si:H很薄时,该材料的光隙明显地增加,还发现,电荷载流子从低功函数层向高功函数层流动时产生空间电荷掺杂效应。 展开更多
关键词 多层非晶硅结构 电子显微术 A-SI:H
原文传递
A NEW METHOD OF STRUCTURALLY STUDYING MULTILAYER AMORPHOUS SILICON-ELECTRON MICROSCOPY
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作者 温树林 冯景伟 +1 位作者 程如光 h.fritzsche 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1986年第17期1217-1219,共3页
Ⅰ. INTRODUCTION Ultrathin film consisting of amorphous hydrogenated silicon (a-Si: H) and silicon nitride (a-SiN_x:H) alternating layers is a kind of two dimensional semiconductors which are interesting in physics. W... Ⅰ. INTRODUCTION Ultrathin film consisting of amorphous hydrogenated silicon (a-Si: H) and silicon nitride (a-SiN_x:H) alternating layers is a kind of two dimensional semiconductors which are interesting in physics. What is more interesting is that while a-Si:H layer is thin enough, an increase in the optical gap can be observed. Moreover, space charge 展开更多
关键词 NITRIDE amorphous doping ENOUGH MULTILAYER ALTERNATING perfect REALLY 如石
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