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新型霍尔硅集成传感器
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作者 C.Schott f.burger +2 位作者 H.Blanchard L.Chiesi 张健 《传感器世界》 2000年第3期10-13,共4页
本文概述了硅霍尔传感器的进展,介绍了采用微电子技术的制造工艺和高精度矢量磁探头的研制,以及已被验证的采用磁断续器增强检测灵敏度的新结构器件,并以角位移传感器和电流传感器为例介绍了其最新应用。
关键词 传感器 硅集成芯片 霍尔器件
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