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磁控溅射制备Fe/Ti多层膜的结构和磁性

STRUCTURE AND MAGNETISM OF DC-MAGNETRON SPUTTERING Fe / Ti PERIODICAL NANO-MULTILAYERS
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摘要 用磁控溅射技术制备了系列Fe/Ti纳米多层膜,周期调制在22—240nm:用透射电镜和小角、高角X射线衍射分别研究了样品的结构;用振动样品磁强计和Mossbauer谱研究了样品的磁性.发现铁层厚度在2nm附近时存在铁磁性面心立方γ-Fe,样品的易磁化方向平行于膜面;随调制周期增大,样品的饱和磁化强度增加,矫顽力下降且与结晶状态有关. A series of Fe/Ti periodical nano-miltilayers was prepared by DC-magnetron sputtering. The modulation period is between 2.2 and 24 nm. The structure of the specimens was examined by TEM and small-or high-angle X-ray diffraction technique. Their magnetism was also studied by the vibratory sample magnetometer and Mossbauer spectrum. The face-centred cubic Fe was found in multilayers containing thinner Fe layers nearby 2 nm. The saturation magnetization increases and the coercivity decreases with increasing modulation period.
机构地区 北京科技大学
出处 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期85-90,共6页 Acta Metallurgica Sinica
基金 国家自然科学基金
关键词 γ-Fe 磁控溅射 Fe/Ti纳米多层膜 磁性多层膜 饱和磁化强度 铁磁性 铁/钛多层膜 结构 Fe / Ti multilayer,γ-Fe, DC-magnetron sputtering
  • 相关文献

参考文献3

  • 1Gu Y S,Phys Rew,1994年,B50卷,619Structure and magnetism of dc.magnetron sputtering Fe/Ti periodical nano.multilayers页
  • 2Pan F,J Phys.Condens Matter,1993年,5卷,L507页
  • 3Bai H Y,Phys Stat Sol,1993年,125卷,125页

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