美国微电子机械系统的研究计划被引量：1

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摘要美国高等研究计划局(ARPA)，制定的微电子机械系统研究计划的主要目的是开发先进的微电子机械系统(MEMS)装置和工艺。研究项目大致可分为四项，即(1)流体的测量和控制；(2)惯性测量装置；(3)光束的方向控制；(4)分散传感器网络。除了这些领域之外，或支持迄今为止研究中积累的某些项目，或帮助实施ARPA的计划及与其他部门合作进行的对各种系统的实验论证计划。

作者高晓萍

出处《光机电信息》 1995年第2期1-3,共3页 OME Information

关键词美国高等研究计划局微电子机械系统研究计划 MEMS

分类号 TH-39 [机械工程]

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