摘要
本文介绍了4117型串列加速器运行和改进。其中包括860型离子源电离器实验情况和从1988年以来高能离子注入实验情况。
This article introduces the operation and improvement of model 4117 tandetron, including the home-made ionizer for model 860 ion source and the work of high energy implantation since 1988.
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第6期358-361,共4页
Nuclear Techniques
关键词
串列加速器
离子源
高能离子注入
运行
Model 4117 tandem Ion source High energy ion implantation