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微机械制造工艺及其应用 被引量:9

Micromechanical fabrication processes and applications
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摘要 介绍微机械制造工艺的特点及关键技术,阐述微机械制造工艺的新技术及其发展趋势。 The text introduces the characterizes and the key technique of the craft in the micromechanical fabrication processes. The new technology and development of the micromechanical fabrication processes are set forth.
作者 闫利文
出处 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2004年第3期83-85,共3页 Modern Manufacturing Engineering
关键词 MEMS LIGA技术 准LIGA技术 微机械 机械制造 MEMS (Micro electromechanical system) LIGA technology Quasi-LIGA technology
  • 相关文献

参考文献2

  • 1Hautling L H, Hoesslp, Hoffmann G, et al. Novel X-ray sensitive resists for the LiGAteehnique [DB/OL]. http://intl. ieeexplore. ieee. org/Xplore/Dyn Wel. jsp,2002-07-19.
  • 2荒井英辅.集成电路A[M].北京:科学出版社,2001..

同被引文献83

引证文献9

二级引证文献181

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