压电陶瓷微位移机械装置的研究被引量：1

下载PDF

导出

摘要参考反射镜的位移标定,在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度.根据移相干涉的要求和压电陶瓷的特点,设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置,通过实验测量出其微位移量表明,设计的装置使反射镜移相的非线性为1.73%。

作者何勇吴栋吴子明姬会东

机构地区南京理工大学电光学院

出处《机械设计与制造》 2004年第2期94-95,共2页 Machinery Design & Manufacture

基金国防科工委国防军工计量"十五"计划重点项目(项目编号:60803134)

关键词移相法干涉仪微位移装置压电陶瓷参考反射镜位移标定移相器

参考文献5

1朱日宏,陈进榜,王青,陈磊.移相干涉术的一种新算法：重叠四步平均法[J].光学学报,1994,14(12):1288-1293. 被引量：36
2王立松,苏宝库,董申,张晶.大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究[J].机械设计与制造,2001(4):71-72. 被引量：14
3Creath K. Phase- measurement interferometry techniques, Progress in 0ptics. 1988(16): 349- 393.
4朱煜,陈进榜,朱日宏,高志山.由三个压电陶瓷堆组成的干涉仪移相器的校正与标定[J].光学学报,2001,21(4):468-471. 被引量：7
5Schwider J, et a1. Digital wave- front measuring interferometry: Some sys temaic erro source. Applied 0ptics, 1983, 22(21): 3421- 3432.

1刘景峰,李艳秋,刘克.移相式点衍射干涉仪的几个关键技术[J].仪器仪表学报,2007,28(S1):179-182. 被引量：11
2何勇,姬会东,徐永祥,吴子明.基于单管法探测相位的自适应抗振干涉技术[J].红外与激光工程,2004,33(4):409-413. 被引量：1
3欧阳航空,陆林海,华晓青.基于PMAC的精密定位系统研究[J].机电一体化,2005,11(1):30-32. 被引量：10
4陈磊,王青,朱日宏.使用红外干涉仪测量锗材料折射率均匀性[J].中国激光,2005,32(3):404-406. 被引量：11
5华晓青,欧阳航空,李鸣鸣,葛轶君,孙麟治.精密定位载物工作台的研制[J].机电一体化,2005,11(3):39-43. 被引量：3
6陈进榜,宋德真,朱日宏,王青,陈磊,陈道炯.高精度、大口径平面波像差标准──移相式数字平面干涉仪[J].光学学报,1995,15(4):480-485. 被引量：7
7武旭华,陈磊,颜加军.移相器微位移旋转误差的分析及测试[J].光子学报,2006,35(6):919-923. 被引量：1
8何勇,朱日宏,陈磊.基于区域生长理论的波面解包算法研究[J].光学技术,2006,32(4):594-597. 被引量：10
9朱日宏,陈磊,王青,高志山,何勇.移相干涉测量术及其应用[J].应用光学,2006,27(2):85-88. 被引量：38
10吴寿强.对压电陶瓷微振动干涉测量装置的研究[J].闽江学院学报,2006,27(5):62-66. 被引量：2

1刘世清.超声波马达原理及其应用[J].渭南师范学院学报,2004,19(5):13-16. 被引量：1
2刘国嵩,赵宏伟,曾平,程光明,杨志刚.新型压电步进型精密直线驱动器[J].光学精密工程,2005,13(3):291-297. 被引量：12
3夏长亮,邵桂萍,史婷娜,王香存.液体媒质超声波电机运行特性的实验研究与分析[J].中国电机工程学报,2005,25(12):138-142. 被引量：9
4王立峰,李蓓智,杨建国,王浩林.压电驱动微进给工作台设计与性能研究[J].压电与声光,2007,29(2):240-242. 被引量：5
5陈臣源.压电驱动低压水液压节流阀性能研究[D].大连:大连海事大学,2011.
6陈海初,王宣银,张蕊华,谭冲,张阳.压电陶瓷驱动精密流量阀的设计与建模[J].浙江大学学报（工学版）,2008,42(11):1936-1939. 被引量：16

机械设计与制造

2004年第2期

内容加载中请稍等...