准分子激光对高分子薄膜的刻蚀被引量：5

Ablation of Polymer Film by Excimer Laser

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摘要对PET材料在紫外激光作用下被刻蚀的过程进行了研究,并对其中的机理及影响刻蚀的因素做了讨论。 The ablation process of PET material by UV laser is studied. and the mechnics as wellas the influential factors are discussed.

作者方尔梯吴源相黄正宇丁明曾宪康

机构地区华东化工学院化学物理研究室

出处《应用激光》 CSCD 北大核心 1992年第6期241-244,共4页 Applied Laser

关键词紫外激光刻蚀高分子薄膜激光 UV laser Ablation PET

分类号 TQ324.721 [化学工程—合成树脂塑料工业]

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