高性能硬盘基片用纳米相微晶玻璃的制备

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摘要采用X—ray衍射分析、差示扫描量热及扫描电镜等手段，研究了Li2O—MgO—Al2O3—SiO2系统中晶化剂TiO2不同添加量和晶化热处理工艺对纳米相微晶玻璃制备的影响，探讨了TiO2的晶化机理。实验结果表明：足够的TiO2含量(大于7．5％)是获得纳米相微晶玻璃的关键；TiO2含量为10．0％时，在合适的晶化热处理条件下，可制得晶粒分布均匀、数量众多、结晶分数达40％、晶粒尺寸约为80nm的尖晶石微晶玻璃，其适宜用作高性能硬盘基片。

作者廖永建张建成顾峰沈悦

机构地区上海大学电子信息材料系

出处《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第B05期99-103,共5页 半导体学报（英文版）

关键词纳米相尖晶石微晶玻璃 TIO2 基片

分类号 O171 [理学—基础数学]

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