冷等离子体表面改性设备的研制被引量：9

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摘要本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．

作者胡建芳郭淑静李和利马岩钱露茜

机构地区中央民族学院物理系

出处《物理》 CAS 北大核心 1992年第10期614-618,共5页 Physics

基金国家自然科学基金资助项目.

关键词冷等离子体表面变性设备

分类号 O539 [理学—等离子体物理]

引文网络
相关文献

参考文献3

1Zhang Kai，1990年
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3高树香，气体导电，1988年

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引证文献9

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物理

1992年第10期

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