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晶片级可靠性评估
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摘要
本文介绍一种晶片级可靠性(WLR)研究技术。与传统可靠性保证技术相比,WLR技术的成本低,对破坏性失效机理很敏感,工艺评价速度快。
作者
宋湘云
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1992年第2期70-73,共4页
Microelectronics
关键词
半导体
集成电路
晶片
可靠性
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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1
罗发明.
IEC/TC47及其分技术委员会的标准化工作[J]
.信息技术与标准化,2004(3):44-48.
微电子学
1992年 第2期
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