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晶片级可靠性评估

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摘要 本文介绍一种晶片级可靠性(WLR)研究技术。与传统可靠性保证技术相比,WLR技术的成本低,对破坏性失效机理很敏感,工艺评价速度快。
作者 宋湘云
出处 《微电子学》 CAS CSCD 1992年第2期70-73,共4页 Microelectronics

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