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半导瓷湿敏元件的研究

Research on the Humidity Sensor of Semiconductor Ceramics
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摘要 本文研究了ZnO-Cr_2O_3-LiCl系统的湿敏特性,结果证实该新型敏感元件具有良好的时间稳定性和感湿特性;微观结构分析表明,其结构对该湿敏元件的性能具有较大的影响。 The humidity sensitivity of the ZnO-Cr_2O_3-LiCl system has been studied, it was found that this new sensor had a good time stability and humidity sensitivity.The microstructure of the sensor has been analysed,and the properties of the sensor were influenced greatly by its microstructure.
机构地区 西北轻工业学院
出处 《陶瓷》 CAS 1992年第5期1-4,共4页 Ceramics
关键词 半导体陶瓷 湿敏元件 微观结构 semiconductor ceramics humidity sensor microstructure
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