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红外热释电探测器的微图形化研究 被引量：4

Study on the micropattering of pyroelectric IR sensor
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摘要 红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成。采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化。 A critical component in the pyroelectric IR sensor is the sensing organ, which consists of the ferroelectric thin film in certain shape and its upper and bottem electrodes. In the paper, the ferro -electric thin films are micropatterned successfully by optical lithography and chemical etching. The electrodes are finally formed by lift - off techniques.
作者 李建康 姚熹 汪静 张良莹
机构地区 西安交通大学电子材料研究所 同济大学功能材料研究所
出处 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第4期448-452,共5页 Journal of Functional Materials and Devices
基金 国家重点基础研究发展计划资助(No.2002CB613304) 上海市重点学科建设项目资助
关键词 红外热释电探测器 敏感元 微图形化 光刻 剥离 铁电薄膜 pyroelectric IR sensor lithography lift - off
分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献10

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引证文献4

二级引证文献9

功能材料与器件学报
2003年 第4期

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