高真空阀门漏率和升压率的区别被引量：2

Difference between leak rate and rate of pressure rise of high vacuum valve

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摘要本文通过高真空气动挡板阀的数据分析来说明漏率和升压率在高真空范围内二者之间的差异。 The difference between leak rate and rate of pressure rise of high vacuum pneumatic operation baffle valve is analyzed.

作者李殿东

机构地区兰州真空设备有限责任公司

出处《真空》 CAS 北大核心 2003年第6期37-39,共3页 Vacuum

关键词高真空气动挡板阀漏率升压率真空设备密封圈 leak rate rate of pressure rise high vacuum

分类号 TB754.1 [一般工业技术—真空技术]

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