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金刚石薄膜的阴极荧光特性研究
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摘要
自从Setaka等人利用CVD方法在硅等非金刚石衬底上合成出具有清晰结晶晶面的金刚石晶体及多晶金刚石薄膜以来,金刚石的合成技术在近几年取得了迅速的发展。同时,气相生长金刚石的材料性质研究及应用研究也取得了较大的进展。
作者
于三
金曾孙
吕宪义
邹广田
机构地区
吉林大学原子与分子物理研究所
出处
《科学通报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第1期86-89,共4页
Chinese Science Bulletin
关键词
薄膜
金刚石
阴极荧光
CVD法
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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2
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共引文献
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科学通报
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